フィルターの再生とリサイクル

• フィルター精度: 2nm～0.1um

• 材質：PTFEフィルター膜/PFA素材

• 形状: 使い捨て、カートリッジ

• 清潔さ:

• 総金属量 < 2ug/デバイス (10インチ)

• NVR < 0.2mg/デバイス

• 用途: 高級PTFEフィルターエレメントの小型化、プレフィルターエレメント、追加シリーズフィルターとしての使用、価格に敏感な非PTFEプロセスの置き換え

• その他: ITRIとの共同開発