濾心再生與回收

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Etch,Dissolve
decompose,and break interactions by
Chemical Reactions and Molecular Interactions.

Improved Penetration into smaller pores with
less viscous and high diffusivity liquid.

Etch,Dissolve
decompose,and break interactions by
Chemical Reactions and Molecular Interactions.

• 濾心精度 : 2nm 至 0.1 um

• 材質 : PTFE濾膜 / PFA 材料

• 形式 : 拋棄式 (Disposable)、濾心式 (Cartridge)

• 潔淨度 :

• Total metals < 2ug/device (10”)

• NVR < 0.2mg/device

• 應用 : 高規PTFE濾心降規、用作前置濾心、額外增設串聯濾心、取代價格敏感非PTFE製程

• 其他 : 與工研院合作開發