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PTFE nano-grade filter

此系列是專門為先進CMP應用設計的囊式濾心,尤其適用於SiO2,CeO2,Al2O3研磨劑的slurry。此囊式濾心可配合多種不同接頭使用,以滿足不同應用之需求

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PTFE nano-grade filter

CMPL 系列濾心由多種梯度的聚丙烯濾膜連續捲繞而製成,由於其多層的結構,使其擁有比普通熔噴和摺疊濾心更高的效率,合理的梯度孔徑配置,形成深層納污結構,使其具有較好的流速和使用壽命,最高精度可以達到0.05μm,對凝膠和顆粒都具有良好的去除效果。

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PTFE nano-grade filter

由折疊的多層漸層聚丙烯膜和聚丙烯骨架組成。此系列是化學機械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)液大顆粒和膠體去除的理想選擇,特別適用於氧化物、金屬鎢和金屬銅CMP製程中所使用的研磨液的過濾。可有效去除slurry中的團聚顆粒和膠體雜質。此外,濾芯採用的寬幅深層折疊設計大幅提高了過濾面積和納污容量,使其具備超低的壓損和更長的使用壽命。

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