浚淵科技

產品特色:

• 極微量金屬溶出分析 (Trace Metal Leaching): 使用高純度酸液 (如 HCl, HNO3) 進行模擬萃取，搭配感應耦合電漿質譜儀 (ICP-MS)，檢測極限可達 PPT (ng/L) 等級，精準抓出 Na, Fe, Ca, Al 等 60 多種金屬元素。

• 有機汙染物鑑定 (Organic Contaminants): 針對有機溶劑 (如 IPA, Methanol) 環境，利用 GC-MS 與 LC-MS 分析濾心釋出的寡聚合物 (Oligomers)、塑化劑、抗氧化劑等微量有機分子。

• 非揮發性殘留物測試 (NVR Analysis): 透過精密重量法 (Gravimetric) 測定濾心在特定溶劑浸泡後的 NVR 總量，這是評估半導體濾心潔淨度的關鍵指標。

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產品介紹: 在半導體先進製程與高純度化學品製造中，濾心是用來去除雜質的，但若濾心本身品質不佳，反而會成為「汙染源」。濾材中的未反應單體、製程助劑或金屬殘留，在接觸酸鹼或有機溶劑時可能溶出，導致晶圓缺陷或化學品純度下降。

Ultra-trace Analytics 提供全方位的 濾心溶出物/析出物檢測服務 (E&L Testing)。我們不只提供標準的純水 (UPW) 測試，更專精於模擬實際製程環境的 化學相容性萃取。無論是評估濾心在強酸 (HCl) 下的金屬溶出風險，還是在異丙醇 (IPA) 中的有機物釋出狀況，我們都能設計客製化的靜態浸泡 (Static Soak) 或動態循環 (Dynamic Circulation) 實驗，為您提供最真實的潔淨度數據。

技術規格表 Spec:

• 金屬溶出測試 (Metal Extractables):

  • 萃取溶劑: UPW, 5% HCl, HNO3, H2SO4 或其他客製化學品

  • 分析儀器: ICP-MS / ICP-OES

  • 報告數據: 60+ 種金屬元素濃度 (單位: ppt 或 ppb)

• 有機溶出測試 (Organic Extractables):

  • 萃取溶劑: IPA (Isopropyl Alcohol), OK73, Methanol, Acetonitrile, Cyclohexane 等

  • 分析儀器: GC-MS (揮發/半揮發性有機物), LC-MS (非揮發性有機物), TOC (總有機碳)

  • 報告數據: 總有機碳濃度、特定有機物定性/定量分析

• 非揮發性殘留物 (NVR):

  • 萃取溶劑: IPA, Hexane 等高揮發性溶劑

  • 測試方法: 溶劑揮發後之精密稱重 (Gravimetric Analysis)

  • 偵測極限: < 0.1 mg (依樣品體積而定)

• 萃取模式 (Extraction Mode): 靜態浸泡 (Soak) / 動態沖洗 (Flush) / 循環萃取 (Recirculation)

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優勢:

• 半導體級偵測極限: 我們的實驗室背景值控制極嚴，能準確區分是「濾心溶出」還是「環境汙染」，提供 PPT 級別的可信數據。

• 未知物鑑定能力: 對於 GC-MS 跑出的不明有機峰 (Unknown Peaks)，我們擁有強大的質譜資料庫與化學專家團隊，能協助推斷汙染物結構與來源 (如：光起始劑殘留、脫模劑)。

• 客製化情境模擬: 可依照客戶實際使用的化學品 (如光阻液、剝離液) 或製程溫度 (如 80°C 熱酸) 進行破壞性溶出測試，預判濾心上機後的風險。

• 無需鉅額設備投資，即刻擁有半導體級分析實驗室。透過專業委測服務，大幅降低營運成本，精準數據觸手可及。

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Target Applications (應用場景):

• 濾心原廠品管 (IQC/OQC): 驗證新批次濾材 (Membrane/Cage) 的原材料純度，確保無異常金屬或油汙殘留。

• 半導體使用者導入評估 (Qualification): 在導入新品牌濾心前，執行酸/溶劑溶出測試，比較不同供應商的潔淨度 (Benchmarking)。

• 化學品汙染異常分析 (Troubleshooting): 當產線化學品金屬或微粒突然升高時，測試濾心是否為汙染源頭 (例如：O-ring 溶脹釋出 NVR)。

• 生技製藥 E&L 研究: 執行符合 USP <665> 或 BPOG 指引的可萃取物與浸出物評估，確保藥品安全性。

• 先進黃光微影製程 (Advanced Lithography): 針對光阻液 (Photoresist) 與削減液 (Thinner) 過濾，檢測濾心是否釋出會造成晶圓 Defect 的寡聚合物 (Oligomers) 或光起始劑殘留。

• 高溫化學槽模擬 (High-Temp Bath Simulation): 模擬 SPM (硫酸+雙氧水) 或高溫磷酸製程環境，評估 PFA 濾心在高溫下是否發生氟離子析出 (Fluoride Leaching) 或金屬溶出增加的風險。

• 電子級化學品製造 (Electronic Grade Chemical Mfg): 協助化學品供應商驗證其充填端 (Filling Point) 濾心，確保出貨給半導體廠的高純度試劑 (EL Grade) 不會在最後一關受到濾材二次汙染。

• O-ring 與密封材相容性研究: 針對特定強溶劑（如 NMP, Cyclohexane），測試不同材質 O-ring (FKM, EPDM, FFKM) 的溶脹率 (Swelling) 與 NVR 析出量，預防因密封材變質導致的汙染洩漏。

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