浚淵科技

產品特色:

• 多元化測試粒子 (Multi-Type Challenge Particles): 提供金奈米粒子 (Au)、聚苯乙烯 (PSL)、二氧化矽 (SiO2) 等多種材質標準品，可模擬金屬、有機物或無機膠體等不同類型的汙染源。

• 真實的奈米級驗證 (True Nanoscale Verification): 突破光學顆粒計數器 (LPC) 的偵測極限，利用質譜或高階計數技術，驗證 5nm、10nm 等極微小粒徑的截留效率。

• 客製化測試方案 (Customized Protocol): 可依據客戶的製程流體條件（水相、化學溶劑）與目標粒徑，設計專屬的單次通過 (Single Pass) 或循環挑戰測試。

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產品介紹:

在半導體先進製程 (5nm/3nm) 與高階生技過濾中，濾心的「公稱孔徑 (Nominal Rating)」往往與「實際截留能力 (Retention Efficiency)」存在落差。標示 0.02 µm 的濾心，真的能 100% 攔截 20nm 的微粒嗎？

浚淵科技 提供高階的 濾心攔截效率 (Particle removal efficiency) 測試服務。我們不依賴單一標準，而是建立了一套完整的奈米粒子挑戰平台。針對半導體濕製程，我們推薦使用背景值極低、易於以 ICP-MS 定量的 金奈米粒子 (Gold Nanoparticles)；針對 CMP 製程模擬，提供 二氧化矽 (SiO2) 膠體；而針對一般標準驗證，則使用 NIST 追溯的 PSL 微球。透過量測過濾前後 (Upstream/Downstream) 的粒子濃度變化，我們能為您計算出精確的 LRV (Log Reduction Value)，讓過濾效能不再是紙上數據，而是經得起驗證的科學事實。

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技術規格表 Spec:

• 金奈米粒子 (Gold Nanoparticles, AuNP):

  • 粒徑規格: 5nm, 10nm, 20nm, 30nm, 50nm (及其他客製粒徑)

  • 特點: 單分散性佳，適合使用 ICP-MS 進行超微量質量平衡計算，偵測下限極低。

• 聚苯乙烯微球 (Polystyrene Latex, PSL):

  • 粒徑規格: 20nm, 30nm, 40nm, 50nm, 60nm (及更大粒徑)

  • 特點: 業界標準校正粒子，折射率穩定，適合用於驗證濾膜孔徑分佈。

• 二氧化矽粒子 (Silica Nanoparticles, SiO2):

  • 粒徑規格: 15nm, 20nm, 30nm (及其他客製粒徑)

  • 特點: 模擬 CMP Slurry 或天然水體中的膠體矽汙染。

• ​其他客製化粒子標準品

  • ​與具公信力的第三方研究機構共同開發屬於您的標準粒子及方法

• 測試指標: 截留效率 (Retention Efficiency %), 對數去除率 (LRV)

• 適用濾心: 平板膜 (Flat Sheet), 折疊濾心 (Cartridge), 囊式濾心 (Capsule), 濾膜 (Filter membrane/coupon)

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優勢:

• 突破偵測極限: 一般光學計數器難以準確測量 20nm 以下微粒，我們結合高階分析儀器，將驗證能力下探至 5nm，滿足先進半導體節點需求。

• 模擬真實汙染: 透過選擇不同材質的粒子 (如親水性的 SiO2 vs 疏水性的 PSL)，更能貼近客戶實際製程中遇到的汙染物特性。

• 第三方公正驗證: 提供客觀的測試報告，協助濾心製造商進行新品研發 (R&D) 驗收，或協助終端使用者 (End User) 進行不同廠牌濾心的效能評比 (Benchmarking)。

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Target Applications (應用場景):

• 濾心原廠研發 (R&D): 開發新型 UPE/PTFE/Nylon 濾膜時的孔徑確認與效能確效。

• 半導體廠務 (Facility): 評估廠務純水 (UPW) 系統終端濾心的實際除微粒能力，選擇最佳性價比產品。

• CMP 製程監控: 使用 SiO2 粒子模擬研磨液，測試 POU (Point-of-Use) 濾心對過大粒子 (LPC) 的攔截效果。

• 藥廠除菌驗證: 使用特定粒徑微球模擬微生物大小，進行替代性的物理截留測試。

• 病毒清除模擬研究 (Viral Clearance Surrogate): 利用 20nm 金奈米粒子 (AuNP) 模擬細小病毒 (如 Parvovirus) 的物理尺寸，在不涉及生物危害 (Biohazard) 的情況下，驗證除病毒濾膜 (Virus Filter) 的截留 LRV 值。

• 先進黃光微影 (Photolithography): 使用 PSL 微球 模擬光阻劑中的軟質膠體 (Gel) 或有機聚集體，評估過濾介質在有機溶劑環境下對 Defect 來源的攔截效率。

• 異常失效分析 (Failure Analysis): 當產線良率下降或發生微汙染事件 (Excursion) 時，針對同批號庫存濾心進行挑戰測試，科學釐清是否因濾心孔徑偏移或製程瑕疵導致。

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