浚淵科技

親水性 PTFE 奈米摺疊式濾芯：20nm 頂級精度與免預潤濕，半導體濕製程的極致純淨方案

產品特色:

• 奈米級超高精密過濾 (Nano-Scale Precision): 採用先進的奈米濾材，專為高精密過濾設計。提供 20, 30, 50 nm 三種極致精度選擇。濾材開孔極度均勻，能確保微粒攔截的一致性，並長期保持流量穩定。

• 極低金屬離子溶出 (Ultra-Low Metal Extractables): 針對半導體對金屬汙染的「零容忍」標準，本產品經過 11 種金屬的嚴格測試 (Testing conducted for 11 metals)，確保總金屬離子溶出量 to < 3μg/device，杜絕微量金屬導致的晶圓缺陷。

• 最高規格無塵室製程 (Cleanroom Manufactured): 標準品皆於 Class 1,000 無塵室等級生產。針對極高潔淨度需求，另可在 Class 100 無塵室等級進行沖洗、烘乾、包裝，確保出廠時的絕對純淨。

• 免預潤濕親水技術 (Ready-to-Use Hydrophilic): 採用 親水性 PTFE 材質，克服了傳統 PTFE 處理水性溶液時需要先使用異丙醇 (IPA) 浸泡的問題，大幅縮減上線預備時間，降低揮發性有機物 (VOC) 風險。

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產品介紹:

在半導體先進節點 (Advanced Nodes) 製程中，化學藥液與超純水中的極微小缺陷 (Defect) 與金屬離子，都會導致良率的大幅下降。傳統的微米級濾芯已無法滿足這些嚴苛要求，而普通的疏水性奈米 PTFE 濾芯又需要耗時的預潤濕步驟。

親水性 PTFE 奈米摺疊式濾芯 完美解決了這個兩難。它以化學惰性極佳的 PTFE 為基材，能耐受幾乎所有的強酸、強鹼及化學藥劑。即使在 4.8 bar at 25°C 或是高溫 90°C (2.1 bar) 的高壓差下，依然能維持極佳的結構完整性與出色的液體通量。我們提供 5 到 40 inch 的長度選擇，能輕鬆安裝於廠內現有的各類濾殼系統中。

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技術規格表 Spec:

• 主濾材: 親水性 PTFE (Hydrophilic Polytetrafluoroethylene)

• 過濾精度規格 (Filtration Rating):

  • 20, 30, 50 nm

• 金屬離子溶出量:

  • < 3μg/device (Testing conducted for 11 metals)

• 操作範圍 (Max ΔP):

  • 4.8 bar at 25°C

  • 2.1 bar at 90°C

• 硬體規格參數:

  • 長度規格 (Length) : 5, 10, 20, 30, 40 inch

  • 濾芯外徑 (Outer Diameter) : Ø65mm, Ø69mm, Ø83mm

  • 端蓋型式 (End Caps) : 雙開口, 2-222平尾, 2-222火箭尾, 2-226平尾, 2-226火箭尾

  • 密封材質 (O-rings/Gaskets) : Silicone, EPDM, Viton, PTFE Encapsulated Viton, PTFE

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優勢:

• 挑戰製程極限: 20nm 的親水性攔截孔徑，能有效濾除高階光阻劑與顯影液中的奈米級微粒，確保晶片線寬的完美成像。

• 提升產線稼動率: 隨插即用的親水特性，省去了預潤濕所需的溶劑成本與沖洗時間，設備復機更快速。

• 雙重潔淨保障: 除了極低的金屬析出保證，更有 Class 100 等級的沖洗包裝選項，確保濾芯從拆封到安裝，都不會將外部環境微粒帶入系統。

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Target Applications (應用場景):

• 半導體 (Semiconductor): 高階晶圓清洗液、蝕刻液與顯影液的奈米級缺陷濾除。

• 化學品製程 (Chemical Processes): 電子級高純度化學品 (Electronic Grade Chemicals) 與酸鹼水性溶液的提純過濾。

• 超純水 (Ultrapure Water): 半導體廠 18.2 MΩ.cm 超純水系統的終端奈米級精密防護。

• 製藥業 (Pharmaceutical): 高敏感度水性生物製劑與 API 原料藥液的精密澄清。

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