浚淵科技

產品特色:

• 奈米級高精密過濾 (Nano-Scale Precision): 採用先進的奈米濾材，提供 20nm、30nm、50nm 三種極致精度選擇。濾材開孔極度均勻，能確保微粒攔截的絕對一致性，並在長週期運行中 保持流量穩定。

• 極低金屬離子溶出 (Ultra-Low Metal Extractables): 針對半導體對金屬汙染的「零容忍」標準，本產品經過嚴格的 11 種金屬離子溶出測試，確保總金屬溶出量 < 3μg/device，杜絕製程良率因微量金屬汙染而受損。

• 最高規格無塵室製程 (Cleanroom Manufactured): 標準品皆於 Class 1,000 無塵室等級生產。針對極高潔淨度需求，另可升級在 Class 100 無塵室等級進行沖洗、烘乾與包裝。

• 客製化預潤服務 (Pre-wetting Option): 雖然主濾材為疏水性 PTFE，但我們提供貼心的預潤服務。疏水濾芯可選擇預潤，有效縮減上機預備時間，讓廠務人員能實現真正的「隨插即用」。

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產品介紹: 在半導體先進節點 (Advanced Nodes) 製程或高階顯示器生產中，化學藥液與超純水中的極微小缺陷 (Defect) 與金屬離子，都會導致晶圓報廢。傳統的微米級濾芯已無法滿足這些嚴苛要求。

疏水性 PTFE 奈米摺疊式濾芯 是跨入奈米級防護的關鍵組件。它以化學惰性極佳的 PTFE 為基材，能耐受幾乎所有的強酸、強鹼及有機溶劑。結合奈米級的精密製膜工藝，即便在 4.8 bar (25°C) 或高溫 90°C (2.1 bar) 的高壓差下，依然能維持極佳的結構完整性與出色的液體通量。其靈活的尺寸規格 (5 ~ 40 inch) 可無縫接軌您現有的各式濾殼。

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技術規格表 Spec:

• 主濾材: 疏水性 PTFE (Hydrophobic Polytetrafluoroethylene)

• 過濾精度規格 (Filtration Rating):

  • 20, 30, 50 nm

• 金屬離子溶出量:

  • < 3μg/device (Testing conducted for 11 metals)

• 操作範圍 (Max ΔP):

  • 4.8 bar at 25°C

  • 2.1 bar at 90°C

• 硬體規格參數:

  • 長度規格 (Length): 5, 10, 20, 30, 40 inch

  • 濾芯外徑 (Outer Diameter): Ø65mm, Ø69mm, Ø83mm

  • 端蓋型式 (End Caps): 雙開口, 2-222平尾, 2-222火箭尾, 2-226平尾, 2-226火箭尾

  • 密封材質 (O-rings/Gaskets): Silicone, EPDM, Viton, PTFE Encapsulated Viton, PTFE

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優勢:

• 挑戰製程極限: 20nm 的攔截孔徑是目前業界最高標準之一，能有效濾除光阻劑、顯影液中的奈米級微粒，確保晶片線寬的完美成像。

• 雙重潔淨保障: 除了極低的金屬析出保證，更有 Class 100 等級的沖洗包裝選項，確保濾芯從拆封到安裝，都不會將外部環境微粒帶入系統。

• 穩定的水力學表現: 由流量圖可見，均勻的開孔技術讓 50nm 甚至 20nm 規格的濾芯，依然保有順暢的壓差-流量斜率，不會因為孔徑變小而造成系統頻繁憋壓。

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Target Applications (應用場景):

• 半導體 (Semiconductor): 光阻劑 (Photoresist)、蝕刻液、顯影液的奈米級缺陷濾除。

• 超純水 (Ultrapure Water): 半導體廠 18.2 MΩ.cm 超純水系統的終端精密防護。

• 化學品製程 (Chemical Processes): 電子級高純度化學品 (Electronic Grade Chemicals) 的提純過濾。

• 製藥業 (Pharmaceutical): 高敏感度生物製劑與 API 原料藥的精密澄清。

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