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​超微量 ICP-MS 元素分析服務：挑戰 ppq 級偵測極限，先進半導體與高純化學品的絕對品管核心

產品特色:

  • 突破極限的靈敏度 (Sub-ppt to ppq Detection): 採用最新世代的 ICP-MS 8900 串聯質譜 (ICP-QQQ) 技術，靈敏度遠勝傳統光學發射光譜 (ICP-OES)。能精準定量流體中兆分之一 (ppt) 甚至千萬億分之一 (ppq) 等級的微量金屬離子，符合半導體 3nm/2nm 先進製程的嚴苛規範。

  • 高階無塵室樣品前處理 (Cleanroom Sample Preparation): 偵測極微量元素的成敗在於「汙染控制」。我們的樣品前處理區全數建置於 Class 100 至 Class 1000 無塵室 內，並使用超純水 (UPW) 與高純度電子級試劑進行樣品消化與稀釋，徹底杜絕環境背景汙染。

  • 強效消除多原子干擾 (Interference Removal): 面對複雜的有機溶劑（如 PGMEA、IPA）或特殊酸鹼液，獨家的碰撞/反應池技術 (CRC) 與三重四極桿設計，能完美消除氬氣基質與碳氧化物產生的多原子干擾，確保 Zn, S, P, Si, B 等難測元素的絕對準確度。

  • 複雜基質方法開發 (Custom Matrix Development): 擁有經驗豐富的微量分析化學團隊，能針對高黏度聚合物、光阻劑、特殊電池電解液等「難搞基質」，提供專屬的樣品前處理與分析方法開發 (Method Development) 服務。

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產品介紹:

在先進半導體製造與光電產業中，化學藥液與超純水中的微量金屬離子（如 Na, Fe, Cu, Zn）是導致晶圓漏電流與良率下降的致命殺手。當供應商將化學品純度提升至電子級 (Electronic Grade)，傳統的檢測設備已無法看見那些隱藏在暗處的「奈米級殺手」。

我們團隊提供的不僅僅是數據，而是製程安全的保證。我們的 ICP-MS 分析服務 是驗證各類精密濾芯（如 PTFE 奈米濾芯、純化樹脂）過濾效能的黃金標準。無論您是要提交產品出廠證明 (COA)、進行供應商原物料稽核，還是調查產線良率異常的根本原因，我們高準確度的 ICP-MS 檢測報告，都能成為您最堅實的技術後盾。

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技術規格表 Spec:

  • 分析技術: 串聯質譜 (Agilent ICPMS 8900, ICP-QQQ)

  • 分析元素清單: 可同步分析最高達 70 種金屬與半金屬元素 (包含 SEMI 規範之 Alkali, Alkaline earth, Transition metals 及重金屬)

  • 檢測極限 (LOD): 依樣品基質而定，最佳可達 sub-ppt (ng/L) 至 ppq (pg/L) 級別

  • 可處理樣品基質 (Sample Matrix):

    • 超純水: UPW

      • 終端水質監控、清洗液微量金屬確認​

    • 無機酸鹼試劑: 硫酸, 硝酸, 鹽酸, 氫氟酸 (HF), 顯影液(TMAH), 雙氧水 (H2O2), 氨水 (NH4OH)

      • 半導體蝕刻與顯影液純度把關​

    • 有機溶劑: IPA, 丙酮, PGME, PGMEA, OK73, nBA, GBL

      • 直接進樣或揮發濃縮技術，消除碳干擾​

    • 高分子與特殊材料: 光阻劑 (Photoresist), 樹脂, 電池正負極材料

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優勢:

  • 極致偵測極限: 挑戰產業最低偵測極限。偵測<1ppt汙染物。

  • 過濾與檢測的「一站式解決方案」: 我們不僅提供頂級過濾耗材，更具備自主的 ICP-MS 檢測能力。能為客戶提供「濾芯導入前/後」的微量金屬攔截比對報告，用最真實的數據證明過濾價值。

  • 急件對應與快速交期 (Fast TAT): 深刻理解產線停機帶來的巨大損失。針對異常分析與急單需求，提供特急件 (24-48小時) 報告服務，協助客戶搶下除錯先機。

  • 國際法規與標準接軌: 檢測流程符合 SEMI 國際半導體產業協會標準，並可針對醫藥品提供符合 USP等規範的元素不純物檢測。

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Target Applications (應用場景):

  • 半導體與微電子 (Semiconductor): 電子級化學品 (Electronic Grade Chemicals)、晶圓表面金屬汙染分析 (VPD-ICP-MS)、光阻劑與剝膜液品管。

  • 特用化學品 (Specialty Chemicals): 高純度溶劑精製後的金屬殘留驗證、樹脂材料微量元素分析。

  • 新能源與電池 (New Energy): 鋰離子電池電解液、正負極材料中影響電池壽命的雜質金屬定性定量。

  • 生技醫藥 (Pharmaceutical): 原料藥 (API)、賦形劑與醫療器材的金屬溶出測試與重金屬殘留檢驗。

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Email: service@jyfiltec.com​

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