浚淵科技

產品特色:

• 100% 全氟素結構 (All-Fluoropolymer Construction): 不同於一般 PTFE 濾心使用 PP 或 PVDF 骨架，J-AllFluoro 從濾膜 (PTFE) 到支撐層、中心桿與端蓋皆採用超高純度 PFA 樹脂，提供業界最強的化學相容性。

• 極致的耐高溫性能 (High Temperature Resistance): 受益於 PFA 的優異熱穩定性，本濾心可於 170°C 的高溫化學槽中連續運作，是高溫硫酸、磷酸與臭氧水製程的唯一選擇。

• 超低金屬溶出 (Ultra-Low Extractables): 全程於無塵室生產並使用 18.2 MΩ.cm 超純水沖洗，無黏著劑與界面活性劑，確保金屬離子與有機溶出物降至 PPT (Parts Per Trillion) 級別。

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產品介紹:
在半導體先進製程 (7nm/5nm/3nm) 與光電面板製造中，高純度化學品 (High Purity Chemicals) 的潔淨度直接決定良率。然而，傳統的濾心材質 (PP/PVDF) 往往無法承受高溫酸洗或剝離液 (Stripper) 的侵蝕，甚至會因材料降解而釋出微量汙染物。

​電子級 All PTFE 全氟摺疊濾心 是 浚淵科技 針對這些「最嚴苛製程」開發的終極過濾方案。我們採用 PFA (Perfluoroalkoxy) 作為結構骨架，並利用高溫熱熔技術 (Thermal Bonding) 封裝疏水性 PTFE 濾膜。這意味著 電子級 All PTFE 全氟摺疊濾心 能像玻璃一樣惰性，無論是 180°C 的熱硫酸、強氧化性的臭氧水 (Ozonated Water)，或是高腐蝕性的氫氟酸 (HF)，它都能在攔截微粒的同時，維持自身的結構完整與化學純度，是保護您高價值產品或晶圓的最後一道防線。

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技術規格表 Spec:

• 濾膜材質: 疏水性 PTFE (Polytetrafluoroethylene)

• 支撐層/導流層: PFA (Perfluoroalkoxy)

• 核心/外罩/端蓋: PFA (Perfluoroalkoxy)

• O 型環材質: FEP 包覆 FKM / FEP 包覆 Silicone

• 過濾精度 (Pore Size):

  • 微濾級(奈米過濾): 0.02 µm, 0.03 µm, 0.05 µm

  • 標準級: 0.1 µm, 0.2 µm, 0.45 µm, 1.0 µm, 5.0 µm, 10.0 µm

• 有效過濾面積: ≥ 0.62 m² (每 10 英吋)

• 最高操作溫度: 170°C (低壓差條件下可短時更高)

• 最大正向壓差: 4.3 bar @ 25°C / 0.5 bar @ 170°C

• 清潔度處理: 可選購預濕潤包裝 (Pre-wet Packaging) 或 電子級超純水沖洗

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優勢:

• 真．全氟 PFA 骨架: 市面上許多號稱「全氟」的濾心其實混用了 ECTFE 或 PVDF，而 電子級 All PTFE 全氟摺疊濾心 堅持使用 PFA，徹底杜絕在高溫強酸環境下的溶脹與脆化風險。

• 奈米級微粒控制: 提供低至 0.02 µm (20nm) 的過濾精度，有效攔截化學品中的膠體與奈米微粒，符合先進節點 (Advanced Node) 的 Defect 控制要求。

• 廣泛的化學適用性: 幾乎對所有化學溶劑惰性，一支濾心即可標準化應用於廠內所有酸、鹼、溶劑管路，簡化庫存管理 (SKU)。

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Target Applications (應用場景):

• 半導體濕製程 (Wet Bench): SPM (硫酸/雙氧水), H3PO4 (熱磷酸), HF (氫氟酸), SC1/SC2 清洗液循環過濾。

• 面板與光電產業: 高溫剝離液 (Stripper)、蝕刻液 (Etchant) 過濾。

• 電子級化學品製造: 超高純度試劑 (EL Grade) 的充填前終端過濾。

• 超純水系統: 臭氧水 (O3 Water) 殺菌迴路過濾 (一般 PP 濾心會被氧化降解)。

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