產品特色:

• PPT 等級超高潔淨度 (Ultra Clean ppt Grade): 採用最高等級 PFA (Perfluoroalkoxy) 原料製造，金屬離子析出極低，專為滿足 7nm/5nm/3nm 等先進製程對極致純淨的需求而設計。

• 零接觸濾心更換 (No-Touch Cartridge Changeout): 獨特的 Lock 設計將濾心鎖定在濾筒 (Bowl) 中，拆卸時可將濾筒與濾心作為一個單元整體移除。操作人員無需直接接觸濕潤的濾心，將汙染風險與化學品接觸降至最低。

• 極致的空間節省 (Tremendous Tool Space Savings): 緊湊的直立式設計，相比傳統濾殼大幅縮減了安裝體積，為寸土寸金的半導體機台 (Wet Bench) 提供出色的空間節約方案。

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產品介紹: 在半導體濕製程中，高純度化學品（如氫氟酸、硫酸、光阻液）的過濾不僅要求濾殼材質絕對惰性，更對「更換安全性」與「空間利用率」提出嚴苛挑戰。傳統濾殼更換濾心時，往往需要手動取出吸滿化學液的濾心，這不僅增加了微汙染 (Micro-contamination) 的風險，也威脅操作人員的安全。

PFA 全氟過濾器濾殼 提供了革命性的解決方案。它採用全氟 PFA 結構，耐受高溫與強腐蝕性化學品。其核心優勢在於「濾心鎖定技術」濾心被牢固地鎖在濾筒內，安裝與拆卸時如同更換燈泡般簡單，無需接觸濾材本身。這種「傻瓜式」安裝 (Fool-Proof Installation) 設計，不僅杜絕了安裝偏差，更確保了製程流體的 PPT 級純淨度。
 

技術規格表 Spec:

• 材質: 高純度 PFA (Perfluoroalkoxy)

• 潔淨度等級: Ultra Clean ppt Grade (兆分之一等級)

• 相容性: 兼容通用型濾心型號 (Universal Filter Cartridge Compatibility)

• 更換方式: 零接觸更換 (No-Touch Changeout) / 濾心與濾筒一體式拆裝

• 安裝特性: 節省空間設計 (Space-saving solution)

• 應用流體: 強酸、強鹼、有機溶劑、光阻液、CMP 研磨液

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優勢:

• 人員與製程雙重保護: 透過「零接觸」更換機制，最大程度減少了操作員接觸危險化學品的機會，同時避免人體皮屑或手套粉塵汙染高純度藥液。

• 機台空間最佳化: 對於半導體廠務與設備商 (OEM) 而言，Lock 的緊湊設計釋放了寶貴的機台內部空間，有利於更靈活的管路配置。

• 廣泛的濾心相容性: 雖然是特殊設計的濾殼，但它兼容通用的濾心型號，讓您在濾耗材的選擇上保有彈性，不受限於單一供應商。

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​Target Applications (應用場景):

• 半導體濕製程 (Wet Etch & Clean): 氫氟酸 (HF)、熱磷酸 (H3PO4)、RCA 清洗製程的循環過濾。

• 化學品供應系統 (CDS): 中央供液系統 (Bulk Chemical Delivery) 的終端過濾。

• 黃光微影製程: 光阻液 (Photoresist) 與顯影液 (Developer) 的精密過濾，避免金屬析出影響良率。

• 超高純度試劑製造: EL Grade 化學品的充填過濾。

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