產品特色:

• 親水性 PES 膜技術 (Hydrophilic PES Membrane): 核心採用 PES (聚醚碸) 濾膜，天生親水且孔隙率高，能提供比 PTFE 濾芯更高的水相流速 (High Flux) 與更低的初始壓差，特別適合水基 (Water-based) 化學品過濾。

• 極致的 5nm 攔截精度 (5nm Precision): 針對先進製程對純水的嚴苛要求，提供低至 5nm 的過濾精度選項，有效去除水中的膠體矽、細菌碎片與微細顆粒。

• 快速沖洗與低析出 (Fast Flush-up & Low Extractables): 經過特殊處理的 半導體級 PES/HDPE 摺疊濾芯，具備極低的金屬溶出率，且上機後的沖洗時間 (Pre-operation time) 極短，能迅速達到 TOC 與電阻率標準，減少停機時間。

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產品介紹:

在半導體與面板廠的濕製程中，超純水 (DI Water) 與 稀釋化學品 的用量巨大。使用昂貴的全氟濾芯不僅成本過高，且疏水性材質往往會限制水相流體的通量。

半導體級 PES/HDPE 摺疊濾芯 是專為此類「水基應用」開發的高性價比方案。它結合了 PES 濾膜 的高親水性與 HDPE (高密度聚乙烯) 骨架的化學穩定性。在常溫 (Ambient Temperature) 環境下，半導體級 PES/HDPE 摺疊濾芯 能完美兼容各種稀酸、稀鹼以及清洗溶液。其優異的非對稱膜結構設計，不僅大幅提升了納汙量與使用壽命，更能確保在處理大量超純水時，維持穩定的低壓差運作。

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技術規格表 Spec:

• 濾膜材質: PES (Polyethersulfone)

• 支撐層/核心/外罩: HDPE (High-Density Polyethylene)

• 密封圈 (O-ring): EPDM / TEV

• 過濾精度 (Removal Rating): 5nm, 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1µm

• 有效過濾面積 (每10英吋):

  • 0.8 m²

  • 1.2 m²

  • 1.8 m²

• 最大正向壓差: 0.34 MPa (49 psi) @ 25°C

• 最高使用溫度: 40°C (104°F)

• 包裝方式: 乾式包裝 (Dry) 或 超純水預濕潤 (Pre-wet by UPW)

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優勢:

• 縮短設備預運轉時間: 憑藉 PES 的低吸附與高潔淨特性，半導體級 PES/HDPE 摺疊濾芯 能大幅縮短更換濾芯後的沖洗時間 (Flush down time)，讓機台更快恢復生產。

• 5nm 超微細過濾: 相比一般 0.02µm (20nm) 濾芯，半導體級 PES/HDPE 摺疊濾芯提供的 5nm/10nm 規格能更有效地攔截純水系統中的 "Killer Particles"。

• 專為電子級純水優化: 極低的金屬溶出 (Very low metal extractables) 表現，確保不會對高阻值的超純水造成二次金屬汙染。

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Target Applications (應用場景):

• 超純水系統 (Ultra-pure DI Water): 終端精過濾 (Final Polishing) 與循環迴路過濾。

• 濕式清洗 (Wet Cleaning): 常溫下的 SC1, SC2 稀釋液與 RCA 清洗液。

• 稀酸/稀鹼過濾: 弱酸 (Weak Acids) 與弱鹼 (Bases) 的去除微粒過濾。

• 面板與光電產業: 玻璃基板清洗製程用水過濾。

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