浚淵科技

產品特色:

• 緊湊的 POU 設計 (Compact POU Design): 專為安裝空間受限 (Space-limited situation) 的先進 CMP 機台設計，體積輕巧，可直接安裝於使用點 (Point-of-Use)，解決機台內部管路擁擠的問題。

• PSD 穩定控制 (Unchanged PSD): 內部選用特殊的熔噴或深層折疊濾材，能精確去除造成劃傷的大顆粒與膠體 (Gels)，同時讓有效的研磨顆粒 (Valid Abrasive) 通過，保持研磨液的粒徑分佈 (Particle Size Distribution) 不變。

• 拋棄式安全更換 (Disposable & Safe): 採用一體成型的拋棄式設計 (Disposable design)，更換時無需拆卸濾殼，大幅減少操作人員接觸化學研磨液 (Exposure to slurries) 的風險，並具備熱熔焊接、無 O-ring (O-ring free) 的結構優勢。

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產品介紹:

在半導體 CMP (化學機械研磨) 製程中，隨著機台功能日益複雜，內部的過濾安裝空間被極度壓縮。傳統的大型濾殼往往無法安裝於最佳的 POU 位置，導致過濾迴路過長或死角產生。

半導體級 PP CMP 終端濾心 是專為解決此「空間與安全」痛點而生的緊湊型濾芯。它採用 全聚丙烯 (All-polypropylene) 結構，成本低廉且化學相容性佳。我們提供 深層式 (Depth Type) 與 折疊式 (Pleated Type) 兩種濾材選擇，以滿足不同 Slurry 濃度與過濾精度的需求。半導體級 PP CMP 終端濾心 的低壓損設計確保了流體穩定性，是您在有限空間內實現高品質 CMP 過濾的最佳方案。

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技術規格表 Spec:

• 材質: 全聚丙烯 (All-Polypropylene) - 濾層/支撐/外殼/中心桿/端蓋

• 結構類型 (Filter Media Type):

  • 深層式 (Depth Type): 熔噴結構，納汙量大

  • 折疊式 (Pleated Type): 折疊結構，流速高

• 過濾精度 (Removal Rating):

  • Depth Type: 70nm, 0.1µm, 0.2µm, 0.3µm, 0.5µm, 0.7µm, 1.0µm

  • Pleated Type: 1.5µm, 3.0µm, 5.0µm

• 接口形式 (Connections):

  • 進出口: 3/8" Flaretek, 1/4" NPT

  • 排氣/排液口: 1/4" Flaretek, 1/8" NPT

• 尺寸規格 (Dimensions):

  • 長度: 2.5 inch, 5 inch

  • 外徑: 83.8mm (Depth Type) / 71mm (Pleated Type)

• 最大使用條件:

  • 最大正向壓差: 0.5 MPa (75 psi) @ 25°C

  • 最高使用溫度: 80°C (176°F)

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優勢:

• 極致的空間利用: 提供 2.5 吋與 5 吋的短版規格，能輕鬆塞入其他濾心無法安裝的狹窄管路間隙。

• 人員防護升級: 拋棄式囊式設計徹底消除了清洗濾殼的步驟，將 Slurry 洩漏與人員接觸的危害降至最低。

• 靈活的過濾選項: 同時提供去除凝膠能力強的「深層式」與高流速的「折疊式」濾材，涵蓋從精細拋光到粗研磨的各種應用。

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Target Applications (應用場景):

• CMP 終端過濾 (POU Filtration): Oxide, Cu, Tungsten 等研磨液在入料噴嘴前的最後一道把關。

• 研磨液供應系統 (R&D/Pilot): 實驗室或小規模試產線的 Slurry 過濾。

• 空間受限機台: 任何內部空間不足以安裝標準 10 吋濾殼的半導體濕製程設備。

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