製程定位
CMP 漿料過濾的主力機種。連續梯度結構有效攔截造成缺陷的大顆粒,同時不改變漿料製造商設定的平均粒徑與粒徑分佈。可放在終端濾心之前延長其壽命,也可直接作為漿料分配前的最後一道防線。
核心特色
連續梯度結構
濾材密度由外而內連續遞增,大顆粒在外層被留住、細顆粒進到內層才被攔下。污染物分佈在整個濾材厚度而不是堆在表面,納污量因此遠高於同精度的表面過濾。
兩種工法可選
熔噴深層式(料號 D)納污量最大;繞捲式(料號 R)攔截效率最高、壓差較低。建議兩種都送樣,比較實際刮傷數與換心週期後再定案。
精度範圍最廣
50nm 到 150µm 全覆蓋,從最精密的終端過濾到最粗的前段攔截都在同一個材質平台上,簡化庫存與驗證。
漿料相容性
全 PP 結構與大多數漿料相容,包含 STI、鎢與銅製程。出廠前以超純水沖洗,確保低微粒釋出。

