專為空間受限的先進 CMP 製程設計的 POU 濾芯。採用全聚丙烯 (PP) 材質與拋棄式囊式結構，具備體積小、成本低與更換安全的優勢。能有效去除 Slurry 中的團聚顆粒與膠體，同時保留有效研磨粒子，維持粒徑分佈 (PSD) 不變，防止晶圓刮傷。
| 型式 | 膠囊外徑 | 內部濾芯直徑 | 精度範圍 |
|---|---|---|---|
| 深層熔噴 Depth | Ø80 / Ø83.8 mm | Ø69 mm | 50 nm – 1.0 µm |
| 摺疊 Pleated | Ø67.5 / Ø71.0 mm | Ø56 mm | 1.5 – 10 µm |
| Slurry 專用深層 Depth | Ø93.0 mm | Ø69 mm | 70 nm – 1.0 µm |
Slurry 專用款針對膠體二氧化矽、氧化鈰與超細氧化鋁研磨液最佳化，只有 5" 一種長度（總長 212.0 ± 2.0 mm；免工具快接款 202.0 ± 2.0 mm）。
註：實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響，建議以實際製程條件進行樣品驗證。
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| 64 | Ø64 mm |
| 70 | Ø70 mm |
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| R50 | 50 nm |
| R70 | 70 nm |
| P10 | 0.1 µm |
| P20 | 0.2 µm |
| P30 | 0.3 µm |
| P50 | 0.5 µm |
| M001 | 1 µm |
| M003 | 3 µm |
| M005 | 5 µm |
| M010 | 10 µm |
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| 02 | 2" |
| 05 | 5" |
| 10 | 10" |
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| CP | 膠囊一體式接頭 |
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| V | TEV（乙丙橡膠改質） |
| E | EPDM |
並非所有組合皆為常備品，罕見組合為訂製交期。下單前請與浚淵業務確認。
| 型式 / 標稱長度 | A（總長） | Ø（本體 / 最大） |
|---|---|---|
| 深層 Depth 2.5" | 154.0 ± 2.0 mm | Ø80 ± 1.0 / Ø83.8 ± 1.0 mm |
| 深層 Depth 5" | 214.0 ± 2.0 mm | Ø80 ± 1.0 / Ø83.8 ± 1.0 mm |
| 摺疊 Pleated 2.5" | 139.0 ± 2.0 mm | Ø67.5 ± 1.0 / Ø71.0 ± 1.0 mm |
| 摺疊 Pleated 5" | 210.0 ± 2.0 mm | Ø67.5 ± 1.0 / Ø71.0 ± 1.0 mm |
A = 含進出口接頭的總長；Ø 前者為本體外徑、後者為量到端蓋凸緣的最大外徑。膠囊是熱熔一體成型，沒有密封面間距與可分離的濾材段，所以圖上的 B、C 標註對本型式不適用。
超純水 25 °C、2.5" 深層熔噴型膠囊（總長 154 mm）、3/8" 接口、乾淨初始壓差 右軸為同一數值的 psi 讀數。
0.1 µm 未畫入圖中：它的斜率約 102 kPa 每 L/min，在 1.2 L/min 就用掉整張圖的壓差，實務上以低流量或多支並聯運轉。5" 款在同流量下的壓降約為 2.5" 的一半。
| L/min / GPM | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 0.7 µm | 1.0 µm |
|---|---|---|---|---|---|
| 0.50 / 0.13 | 18.1 | 15.2 | 9.89 | 6.80 | 4.16 |
| 1.00 / 0.26 | 36.3 | 30.5 | 19.8 | 13.6 | 8.32 |
| 1.50 / 0.40 | 54.4 | 45.7 | 29.7 | 20.4 | 12.5 |
| 2.00 / 0.53 | 72.6 | 61.0 | 39.6 | 27.2 | 16.6 |
| 2.50 / 0.66 | 90.7 | 76.2 | 49.5 | 34.0 | 20.8 |
| 3.00 / 0.79 | 109 | 91.4 | 59.4 | 40.8 | 25.0 |
| 化學品 | PP | EPDM |
|---|---|---|
| — 酸 — | ||
| 冰醋酸 | R | R |
| 濃鹽酸 | R | NR |
| 鹽酸 6N | R | NR |
| 濃硝酸 | R | NR |
| 硝酸 6N | R | NR |
| 濃磷酸 | R | R |
| 濃硫酸 | R | NR |
| 氫氟酸 6N | NR | NR |
| — 鹼 — | ||
| 氫氧化銨 1N | R | R |
| 氫氧化銨 3N | R | LR |
| 氫氧化鉀 3N | R | R |
| 氫氧化鈉 3N | R | R |
| 氫氧化鈉 6N | R | R |
| — 醇類 — | ||
| 戊醇 | R | R |
| 苯甲醇 | R | R |
| 丁醇 | R | R |
| 異丙醇（IPA） | R | R |
| 甲醇 | R | R |
| — 酮類 — | ||
| 丙酮 | R | R |
| 環己酮 | R | NR |
| 甲基乙基酮（MEK） | R | R |
| 甲基異丁基酮（MIBK） | R | R |
| — 油類 — | ||
| 棉籽油 | R | R |
| 潤滑油 | R | R |
| 花生油 | R | R |
| 芝麻油 | R | R |
| — 芳香烴 — | ||
| 苯 | NR | NR |
| 甲苯 | NR | NR |
| 二甲苯 | NR | NR |
| — 鹵代烴 — | ||
| 四氯化碳 | LR | NR |
| 三氯甲烷 | LR | NR |
| 二氯乙烷 | LR | NR |
| 氟利昂 TF | LR | NR |
| 氟利昂 TMC | LR | NR |
| 二氯甲烷 | LR | NR |
| 全氯乙烯 | LR | NR |
| 三氯乙烯 | LR | NR |
| — 二醇類 — | ||
| 乙二醇 | R | R |
| 甘油 | R | R |
| 丙二醇 | R | R |
| — 醚類 — | ||
| 乙醚 | LR | NR |
| 異丙醚 | R | NR |
| 二噁烷 | R | NR |
| 四氫呋喃（THF） | LR | NR |
| — 酯類 — | ||
| 醋酸戊酯 | R | R |
| 醋酸丁酯 | LR | R |
| 醋酸溶纖劑酯 | R | R |
| 醋酸乙酯 | LR | R |
| 醋酸甲酯 | R | R |
| 醋酸異丙酯 | R | R |
| — 其他 — | ||
| 苯胺 | LR | R |
| 二甲基甲醯胺（DMF） | R | R |
| 甲醛 37% | R | R |
| 汽油 | LR | R |
| 己烷（無水） | LR | NR |
| 煤油 | R | NR |
| 苯酚 | R | NR |
| 吡啶 | LR | R |
| 水 | R | R |
| 乙腈 | LR | R |
本表為材質層級的通則性建議，非保證值。實際濃度、溫度、暴露時間與機械應力都會影響結果，導入前請以實際製程條件送樣驗證。
先進 CMP 製程的機台旁終端（POU）過濾。膠囊一體式設計省去濾殼，體積小、可裝在機台內部空間受限的位置，是刮傷控制的最後一道防線。
濾芯與外殼一體成型，不需要另配濾殼與配管，安裝彈性大。對於原本沒有預留過濾位置的機台，這往往是唯一裝得下的方案。
整顆拆換，操作人員不接觸漿料，也不需要清洗濾殼，避免殘留漿料造成的批次間交叉污染。
有效去除漿料中的團聚顆粒與膠體，同時讓有效研磨粒子通過，維持粒徑分佈（PSD）不變，避免影響研磨速率與均勻度。
全 PP 結構、出廠前超純水沖洗，降低濾心本身在上線初期釋出的微粒。
一片 12 吋晶圓 USD 1200，一支壞濾心可以毀掉一整批。本篇講解濾心害良率掉的 5 條路徑、真實案例（HF 蝕刻線災難）、ROI 計算（USD 8000 vs USD 2M），以及預防 SOP。
半導體超純水（UPW）的品質門檻遠超醫療用水：ASTM D5127 Type E-1 要求電阻率 ≥18 MΩ·cm、TOC <2 ppb、顆粒數 <0.1 個/mL（≥0.05 µm）。多階段設計是必要的—…
從 100 µm 到 1 nm 的過濾精度地圖、5 步驟反推法、多級過濾架構──別直接買最高精度（壓差大、流量低、成本高）。本篇用 10 個典型應用場景幫你找到剛剛好的那一檔。
