半導體級 PP CMP 終端濾心

專為空間受限的先進 CMP 製程設計的 POU 濾芯。採用全聚丙烯 (PP) 材質與拋棄式囊式結構，具備體積小、成本低與更換安全的優勢。能有效去除 Slurry 中的團聚顆粒與膠體，同時保留有效研磨粒子，維持粒徑分佈 (PSD) 不變，防止晶圓刮傷。