驗證與服務(Validation & Reclaim Services)涵蓋濾心濾效驗證、潔淨度分析與舊濾心再生回收三大專業領域,是浚淵科技除產品銷售外的核心技術服務能量。每份報告皆採可追溯標準操作程序(SOP)執行,可作為客戶內部品保、客戶稽核與法規驗證的官方文件。
濾心濾效驗證以微粒挑戰測試(Particle Challenge Test)量測 LRV(Log Reduction Value)與 β-Ratio,依 ASTM F838、ASTM F795 或客戶自訂測試條件進行。萃取測試(Extractables)採 GC-MS 與 LC-MS 量測有機釋出物,金屬離子釋出採 ICP-MS 量測 35 項目以上,符合半導體 UPW 與製藥 USP <232>/<233> 規範。PTFE 濾心再生服務透過特殊洗淨與熱再生工藝,恢復原濾心 80% 以上效能,每只濾心減碳達 4.2 kg CO₂e。
典型對象:半導體新製程濾心選型驗證、製藥 cGMP 法規認證前驗證、新建工廠 UPW 系統驗收、舊濾心再生降低 OPEX、客戶內部品保稽核、ESG 永續報告書數據佐證。
常見問題
濾心驗證服務涵蓋哪些測試項目?
PTFE 濾心再生服務可以恢復多少效能?
驗證報告可以用在 GMP 法規認證嗎?
本類別技術文章
選型前先看懂原理與規格判讀,比較不會買錯。
5 nm PP 濾心濾效 99.41% 怎麼測?金奈米粒子挑戰測試數據解讀
標示 5 nm 的濾心,真的攔得住 5 nm 嗎?浚淵先進 PP 薄膜式濾心經工研院第三方認證,5 nm 金奈米粒子濾效 99.41%、20 nm 為 99.08%。本文拆解這組數據的測試條件、如何換算穿透率與 LRV、為什麼 20 nm 反而略低,以及比較不同濾心濾效數字前該先問的 6 個問題。
PTFE 濾心再生後還能用嗎?10 nm 濾心新品與再生品實測對照
用過的 PTFE 濾心清洗再生後,數據能回到新品水準嗎?以 10 nm PTFE 濾心實測:5 nm 金奈米粒子濾效 99.4%→99.3%、NVR 3.5→1.8 mg/device、23 種金屬 330.5→353.2 ng/device。本文逐項解讀數據、說明四模組九步驟清洗各在處理什麼,以及哪些濾心適合再生、再生後放在哪裡最划算。
濾心金屬溶出物怎麼測?ICP-MS 如何評估濾心潔淨度
ICP-MS 偵測極限到 ppt 等級,是濾心金屬萃出測試的黃金標準。本篇講解 ICP-MS / ICP-OES / AAS 差異、測試流程、PP 到 UPE 的金屬萃出實測對比,以及採購時必盯的 5 個元素。
濾心有機析出物怎麼分析?NVR 與 TOC 的測試方法與差異
NVR 用「秤的」量不揮發殘留物、TOC 用「燒的」量總碳含量。兩者抓的東西完全不同。本篇講解兩種測試的原理、流程、規範,以及 PP 到 UPE 在 NVR/TOC 表現的數量級差距。
濾心顆粒析出怎麼分析?LPC 如何評估潔淨度
一片晶圓的命運可能斷送在 30 nm 的小灰塵身上。本篇用 LPC(液體微粒計數器)的雷射散射原理、顆粒釋放曲線、半導體 fab 接受標準,告訴你為什麼濾心啟用前必須做 pre-flush。
液體濾心濾效怎麼定義?從常規到奈米級的測試方法差異
同一支濾心可以說 99.9% 也可以說 99.99%──關鍵在 β-ratio、LRV 與 challenge particle。本篇從名義/絕對精度、bubble point、bacterial challenge 一路講到 EUV gold sol challenge,告訴你濾效數字背後的真相。






