製程定位
這是六項服務裡唯一不以濾心為對象的一項：高純化學品、製程藥液、電池材料與濾心萃取液都可以送驗。典型的使用時機是先進製程的金屬潔淨度查核、良率異常的汙染追蹤，或是替其他確效實驗補上金屬背景數據。
核心特色
涵蓋常見 30 種金屬元素，並可量測矽（Si）、硼（B）、硫（S）、磷（P）等難測元素。以 ICP-QQQ 串聯質譜模式消除多原子與基質干擾 —— 超微量分析的可信度往往不是輸在儀器的標稱靈敏度，而是輸在干擾沒有處理乾淨。
偵測極限為 1 ppt 等級；實際能達到的極限依元素與基質而異，會在方法確認時提供，而不是拿一個通用數字含糊帶過。針對異丙醇（IPA）、PGMEA 與強酸強鹼這類複雜基質，會先做專屬方法開發與確認，再據以定量目標元素清單。
樣品前處理在 Class 100／1000 無塵室內完成。在 ppt 等級，環境背景本身就可能大於樣品的訊號，前處理環境不控制，量到的其實是實驗室而不是樣品。
選型要點
與另外兩項含金屬檢測的服務，差別在對象與輸出：
| 服務 | 對象 | 涵蓋項目 | 輸出 |
|---|---|---|---|
| 超微量 ICP-MS 分析（本項） | 液態樣品，不限濾心 | 常見 30 種金屬 ＋ 矽／硼／硫／磷 | 元素別濃度表與各元素偵測極限 |
| 濾心潔淨度測試 | 濾心（建議新舊成對） | 有機溶出 ＋ 金屬溶出 ＋ 顆粒落出 | 以每支濾心（device）為單位 |
| 溶出物／析出物檢測 | 濾心、管材、包材等接液元件 | 金屬 ＋ 有機物種 ＋ NVR | 各溶出物種的鑑定與定量 |
使用與更換
送樣須知：液態樣品以原包裝或潔淨容器送樣。請提供基質組成（例如超純水、IPA、PGMEA、強酸強鹼）、目標元素清單與期望的偵測等級；基質特殊或首次委測者，建議先安排方法開發再進批量分析。晶圓表面金屬（VPD-ICP-MS）等延伸項目由自有實驗室與全國各大分析實驗室協同執行。交期依委測項目與樣品數量於報價時確認。
有多批次比對需求時請在報價階段就說明：同一組方法與同一批標準品跑完全部樣品，批次之間的差異才是樣品的差異；分次委託、方法各自確認，數據不見得可以直接放在同一張圖上比。