Glass Fiber 微孔摺疊式濾芯
親水性 PTFE 奈米摺疊式濾芯
親水性 PTFE 微孔摺疊式濾芯
半導體級 PTFE 薄膜式濾心
疏水性 PTFE 微孔摺疊式濾芯
半導體級全氟素折疊濾心 (All-Fluoropolymer PTFE/PFA Filter)
滅菌級 PTFE 疏水性折疊濾心 (符合 GMP/FDA 標準)
滅菌級高通量 PES 折疊濾心 (0.1 µm / 0.2 µm / 0.45 µm)
PES 微孔摺疊式濾芯
不鏽鋼編織網摺疊濾芯
PS 微孔摺疊式濾芯
PP 微孔摺疊式濾芯
PVDF 微孔摺疊式濾芯
半導體級 全氟 PTFE 濾芯
半導體級 Nylon 66 摺疊濾芯
半導體級 PES摺疊濾芯
半導體級 PES/PP 折疊濾芯
半導體級 PTFE HDPE 混合濾芯
半導體級 PTFE/PP 摺疊濾芯
半導體級 UPE 摺疊濾芯
半導體級 PP 薄膜式濾心
Product Lines
濾心產品線
浚淵提供完整的濾心產品線，技術團隊早期諮詢協助選擇最適合產品。
01
PTFE 濾心產品
- 濾材
- 親水性 PTFE 及 疏水性 PTFE
- 過濾精度
- 10nm、20nm、30nm、50nm（奈米級）；0.1μm、0.2μm（次微米級）
- 尺寸規格
- 10inch、20inch、30inch、40inch，及其他
- 濾心外徑
- Ø68mm、Ø83mm，及其他
- 端蓋
- 2-222 平尾，及其他
- O-ring
- TEV、FFKM、Viton，及其他
適用製程
強酸、強鹼與各式濕式蝕刻液
UPW、H₂SO₄、H₃PO₄、HNO₃、HCl、氟化銨 (NH₄F)、H₂O₂、TMAH、NH₄OH、DIO3 等
溶劑製程化學品
異丙醇 (IPA)、丁醇 (NBA)、環己酮、OK73、PGMEA、PGME，以及高溶劑含量之 BEOL 剝離化學品
02
PP 濾心產品
- 濾材
- PP
- 過濾精度
- 1nm、3nm、5nm、10nm、20nm、50nm（奈米級）；0.1μm、0.2μm（次微米級）
- 尺寸規格
- 10inch、20inch、30inch、40inch，及其他
- 濾心外徑
- Ø68mm、Ø83mm，及其他
- 端蓋
- 2-222 平尾，及其他
- O-ring
- EPDM、TEV、FFKM、Viton，及其他
適用製程
純水與各式稀酸／稀鹼
UPW、TMAH、NH₄OH、d-HCl
有機溶劑製程化學品（醇醚類、酯類、醛酮類）
光阻 (PR)、異丙醇 (IPA)、丁醇 (NBA)、環己酮、OK73、PGMEA、PGME
03
其他濾心產品
- 濾材
- PTFE、PP、PS、PES、Nylon
- 過濾精度
- 30nm 至 <0.1μm（奈米級）；0.1μm 至 1.2μm（次微米級、微米級）
- 尺寸規格
- 10inch、20inch、30inch、40inch，及其他
- 濾心外徑
- Ø68mm、Ø83mm，及其他
- 端蓋
- 2-222 平尾，及其他
- O-ring
- EPDM、TEV、FFKM、Viton，及其他
適用製程
各式化學品製程
請洽詢浚淵業務。
Compatibility
濾膜化學品選用表
化學相容性參考表如下。實際應用狀況、其他化學品需求，請諮詢浚淵業務。
| 膜材 | DI／UPW | 弱酸 HCl、HF < 1% | 強酸／氧化混酸 SPM、HNO₃ | 鹼液 NH₄OH、KOH、TMAH | 有機溶劑 IPA、PGMEA、NMP | > 100 °C |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PTFE | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| PP | ◎ | ○ | △ | ○ | ○ | ✕ |
| HDPE / UPE | ◎ | ○ | △ | ○ | △ | ✕ |
| PVDF | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ | ○ |
| PS／PES | ◎ | ○ | △ | ○ | ○ | ○ |
| PI | ◎ | ○ | △ | △ | ○ | ◎ |
- ◎ ＝ 長期相容；可直接選用
- ○ ＝ 一般相容；注意濃度／溫度
- △ ＝ 有限或條件性相容；需先做 soak-test
- ✕ ＝ 明顯不相容或失去機械強度