半導體製程過濾10

首頁/產品列表/摺疊濾心/半導體級 PTFE 薄膜式濾心

摺疊濾心

半導體級 PTFE 薄膜式濾心

產品編號: hydrophobic-ptfe-nano-filter|PTFE 薄膜

專為半導體高腐蝕性濕製程與高潔淨化學品過濾設計的 PTFE 薄膜式濾心。採用專有氟聚合物薄膜微結構控制平台，建立高度連通、均勻且穩定的奈米級孔隙網絡，協助客戶在 SPM、SC1、SC2、TMAH、29% NH4OH、35% HCl、70% HNO3、磷酸、PAN、混酸蝕刻液與 NBA 等製程中取得更高濾效、更低溶出、更快清洗至 production ready。提供 10nm、20nm、30nm、50nm、0.1µm 等精度，222 Flat Cartridge 規格，樣品 ready。

專有氟聚合物薄膜微結構控制平台，高度連通且均勻的奈米級孔隙網絡
PTFE 材質耐強酸、強鹼與高腐蝕性製程化學品
業界少見超薄 PTFE 薄膜微結構（<35µm），更快清洗至 production ready
實測 GNP 10nm 濾效 95%（超純水條件），奈米級污染物控制
超低溶出：NVR <20 mg/device、金屬 Metal <5 µg/device
10nm / 20nm / 30nm / 50nm / 0.1µm 多精度，222 Flat Cartridge，樣品 ready

過濾精度: 10 nm / 20 nm / 30 nm / 50 nm / 0.1 µm
最高操作溫度: 70 °C
有效過濾面積: Ø68 mm：1.2 m²／10"
長度規格: 4" / 10" / 20"

SPM / 70% HNO3 / 混酸蝕刻液強氧化製程

SC1 / SC2 / TMAH / 29% NH4OH 清洗與鹼性製程

35% HCl / PAN 酸性製程

磷酸高溫製程過濾

丁醇（NBA）等高耐化學性製程化學品

半導體化學品供應、終端過濾與回收預過濾

濾材 / 濾膜: PTFE 微孔膜，天然疏水；孔徑分布均勻，在有機溶劑與強腐蝕藥液中不溶脹、不掉屑
支撐層 / 導流層: PP 支撐層與導流層
外殼・中心杆・端蓋: PP 外殼、中心杆與端蓋
密封件 / O-ring: EPDM 或 TEV 改質乙丙橡膠 O-ring（222 型）
過濾精度: 10 nm / 20 nm / 30 nm / 50 nm / 0.1 µm
有效過濾面積: Ø68 mm：1.2 m²／10"；Ø83 mm：1.8 / 2.2 / 2.8 m²／10"
標稱外徑: Ø68 mm / Ø83 mm
長度規格: 4" / 10" / 20"
端蓋 / 接口型式: 222 平頭（單開口）
最高操作溫度: 70 °C
最大正向壓差: 0.4 MPa（58 psi）@ 25 °C；0.2 MPa（29 psi）@ 70 °C
最大反向壓差: 0.3 MPa（43 psi）@ 25 °C
潤濕與沖洗: 疏水膜不會被水自發潤濕：以水系藥液使用時，請選超純水預潤濕型號或依 SOP 完成潤濕，否則量測到的壓降會遠高於曲線值
萃出物與潔淨度: 金屬潔淨度可選 < 25 µg/device，另有電子級規格；溶出物含量低
完整性測試: 每支濾心出廠前 100% 完整性測試
包裝方式: 乾式包裝；超純水預潤濕包裝

型號	外徑	膜面積（10"）
SX	Ø68 mm	1.2 m²
MX	Ø83 mm	1.8 m²
MY	Ø83 mm	2.2 m²
MZ	Ø83 mm	2.8 m²

註：實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響，建議以實際製程條件進行樣品驗證。

料號建構JY-WE26

-WE26

JY: 浚淵科技
WE26: 天然疏水 PTFE 微孔膜、PP 骨架，溶劑與強腐蝕藥液不溶脹不掉屑
68: Ø68 mm
R20: 20 nm
10: 10"
E5D: EPDM O-ring｜潔淨 5 級（< 25 µg/device）｜乾式

逐段可選規格

外徑

代碼	規格
68	Ø68 mm
83	Ø83 mm

過濾精度

代碼	規格
R10	10 nm
R20	20 nm
R30	30 nm
R50	50 nm
P10	0.1 µm

長度

代碼	規格
04	4"
10	10"
20	20"

O-ring 材質

代碼	規格
E	EPDM
V	TEV（乙丙橡膠改質）

潔淨等級

代碼	規格
5	< 25 µg/device

型錄只開放 < 25 µg/device 一級（代碼 5），另有電子級規格請洽業務取得代碼。

包裝方式

代碼	規格
D	乾式包裝
W	UPW 預濕包裝

疏水膜不會被水自發潤濕：水系藥液請選 W（UPW 預濕），否則實際壓降會遠高於流量曲線值。

並非所有組合皆為常備品，罕見組合為訂製交期。下單前請與浚淵業務確認。

尺寸圖

單開口 222 平頭圖示為代表型號，實際外徑與長度以下方尺寸表為準。

外徑 / 標稱長度	A	B	C
Ø68 mm　4"	131.5 ± 2 mm	117.0 ± 2 mm	115.0 ± 2 mm
Ø68 mm　10"	249.5 ± 2 mm	235.0 ± 2 mm	233.0 ± 2 mm
Ø68 mm　20"	488.5 ± 2 mm	474.0 ± 2 mm	472.0 ± 2 mm
Ø83 mm　4"	118.0 ± 2 mm	103.0 ± 2 mm	101.0 ± 2 mm
Ø83 mm　10"	238.0 ± 2 mm	223.0 ± 2 mm	221.0 ± 2 mm
Ø83 mm　20"	460.0 ± 2 mm	445.0 ± 2 mm	443.0 ± 2 mm

A = 總長；B = 端蓋密封面間距；C = 有效濾材長度。

流量－壓差曲線

超純水 25 °C、Ø83 mm 單支 10" 濾心（2.8 m²）、乾淨初始壓差、濾膜已完成潤濕　右軸為同一數值的 psi 讀數。

多支並聯時，單支流量 = 總流量 ÷ 支數；20" 濾心的壓降約為 10" 的一半。

查看數據表

GPM / LPM	20 nm	30 nm	50 nm	0.1 µm
2.00 / 7.57	8.11	7.16	4.48	2.41
4.00 / 15.1	16.2	14.3	8.96	4.82
6.00 / 22.7	24.3	21.5	13.4	7.23
8.00 / 30.3	32.4	28.6	17.9	9.64
10.0 / 37.9	40.6	35.8	22.4	12.1

化學相容性

化學品	PTFE	EPDM	FKM / Viton
— 酸 —
冰醋酸	R	R	NR
濃鹽酸	R	NR	NR
鹽酸 6N	R	NR	R
濃硝酸	R	NR	R
硝酸 6N	R	NR	R
濃磷酸	R	R	R
濃硫酸	R	NR	R
氫氟酸 6N	R	NR	—
— 鹼 —
氫氧化銨 1N	R	R	R
氫氧化銨 3N	R	LR	LR
氫氧化鉀 3N	R	R	R
氫氧化鈉 3N	R	R	R
氫氧化鈉 6N	R	R	R
— 醇類 —
戊醇	R	R	R
苯甲醇	R	R	R
丁醇	R	R	LR
異丙醇（IPA）	R	R	R
甲醇	R	R	NR
— 酮類 —
丙酮	R	R	NR
環己酮	R	NR	NR
甲基乙基酮（MEK）	R	R	NR
甲基異丁基酮（MIBK）	R	R	NR
— 油類 —
棉籽油	R	R	R
潤滑油	R	R	R
花生油	R	R	R
芝麻油	R	R	R
— 芳香烴 —
苯	R	NR	R
甲苯	R	NR	R
二甲苯	R	NR	R
— 鹵代烴 —
四氯化碳	R	NR	R
三氯甲烷	R	NR	R
二氯乙烷	R	NR	LR
氟利昂 TF	R	NR	R
氟利昂 TMC	R	NR	LR
二氯甲烷	R	NR	LR
全氯乙烯	R	NR	R
三氯乙烯	R	NR	R
— 二醇類 —
乙二醇	R	R	R
甘油	R	R	R
丙二醇	R	R	R
— 醚類 —
乙醚	R	NR	NR
異丙醚	R	NR	NR
二噁烷	R	NR	NR
四氫呋喃（THF）	R	NR	NR
— 酯類 —
醋酸戊酯	R	R	NR
醋酸丁酯	R	R	R
醋酸溶纖劑酯	R	R	NR
醋酸乙酯	R	R	R
醋酸甲酯	R	R	R
醋酸異丙酯	R	R	NR
— 其他 —
苯胺	R	R	R
二甲基甲醯胺（DMF）	R	R	NR
甲醛 37%	R	R	NR
汽油	LR	R	R
己烷（無水）	LR	NR	R
煤油	R	NR	R
苯酚	R	NR	R
吡啶	R	R	NR
水	R	R	R
乙腈	R	R	NR

R ＝可耐受
LR ＝有限度耐受，建議實測
NR ＝不可耐受
— ＝無資料

本表為材質層級的通則性建議，非保證值。實際濃度、溫度、暴露時間與機械應力都會影響結果，導入前請以實際製程條件送樣驗證。

詳細說明

製程定位

為什麼半導體製程需要 PTFE 薄膜式濾心？在 SPM、SC1、SC2、TMAH、HCl、HNO3、磷酸、PAN 與混酸蝕刻液等高腐蝕製程中，濾心除了要能承受化學品本身，還必須在奈米級污染物截留、低金屬溶出、低有機溶出、壓差與沖洗時間之間取得平衡。

半導體級 PTFE 薄膜式濾心以高度均勻的薄膜微孔網絡，提供穩定的奈米級截留與較可預期的流體通道表現，特別適合需要高潔淨度、高耐化學性與快速導入 production ready 的濕製程化學品過濾。

核心特色

專有氟聚合物薄膜微結構控制平台

核心產品特色。不同於一般纖維深層攔截濾材，本產品以高階氟聚合物薄膜微結構工程為核心，建立更均勻、更連通且更可控的奈米級孔隙網絡。

半導體級 PTFE 薄膜式濾心 SEM 微結構影像 — PTFE 薄膜微結構 SEM 影像——高度連通的奈米級孔隙網絡

業界特有薄膜式 PTFE 濾心

以 PTFE 材質結合薄膜式微孔結構，兼具對強酸、強鹼與高腐蝕性製程化學品的相容性，以及薄膜濾材在高精度截留上的穩定表現。

業界少見超薄 PTFE 薄膜微結構

更薄、更精密的 PTFE 薄膜微結構（<35µm），有助於降低沖洗負擔與初期釋出風險，使濾心更快清洗至 production ready，縮短導入、換線與量產等待時間。

超高孔隙率與孔隙均勻度

高孔隙率設計提供更多有效流體通道，兼顧奈米級截留與可用流量、降低高精度濾心常見的高壓差痛點；均勻且連續的微孔網絡可降低局部流速差異、旁流與過早堵塞風險，使過濾表現更穩定、更可預期。

✓

實測數據：金奈米粒子 GNP 10nm 濾效 = 95%（超純水條件）；超低有機溶出 NVR <20 mg/device、超低金屬溶出 Metal <5 µg/device。

選型要點

與一般 PTFE 摺疊濾心的差異。

比較項目	一般 PTFE 摺疊濾心	半導體級 PTFE 薄膜式濾心
產品定位	一般氣體、液體或高腐蝕性應用	半導體高腐蝕濕製程與高潔淨化學品過濾
技術敘事	強調 PTFE 化學相容性與疏水性	強調氟聚合物薄膜微結構、奈米級孔隙均勻度與低溶出
過濾精度	常見為 0.1µm 以上與氣體除菌等用途	10nm、20nm、30nm、50nm、0.1µm 及其他選項
導入指標	依規格與相容性選購	同時強調濾效、壓差、NVR、Metal、production ready 時間
應用情境	一般工業、氣體、生技或腐蝕性液體	SPM、SC1、SC2、TMAH、HCl、HNO3、PAN、混酸蝕刻液

常見問題

這款濾心與一般 PTFE 摺疊濾心有什麼不同？

一般 PTFE 摺疊濾心多強調耐化學性、疏水性或氣體過濾；半導體級 PTFE 薄膜式濾心則主打 10nm、20nm、30nm、50nm、0.1µm 等奈米級選項，並強調薄膜微孔結構、孔隙均勻度、低 NVR、低金屬溶出與快速 production ready。

可以用在 SPM、SC1、SC2、TMAH 嗎？

可評估用於各式酸鹼與半導體濕製程，包括 SPM、SC1、SC2、TMAH、29% NH4OH、35% HCl、70% HNO3、磷酸、PAN 與混酸蝕刻液。實際導入仍建議依濃度、溫度、流量與壓差條件進行樣品驗證。

可以提供 10nm 或 20nm 濾心樣品嗎？

樣品 ready。可洽詢 10nm、20nm、30nm、50nm、0.1µm 及其他精度選項，並依製程需求安排樣品測試與規格確認。

Bubble Point >400 kPa 代表什麼？

Bubble Point 可作為膜完整性與孔徑相關性的參考指標之一。實際驗證方式建議依濾心規格、濕潤液、測試方法與客戶內部標準確認。

如果我需要低壓差或高流量，應該怎麼選？

68mm type 參考流量壓差為 0.5 kg/cm² @ 1 LPM。若需低壓差（高流量）選項，請提供目標流量、壓差上限、濾心長度與濾殼規格，我們可協助推薦合適選項。

O-ring 可以選 FFKM 或 EPDM 嗎？

可提供 FFKM、EPDM、TEV 及其他 O-ring 選項。建議依化學品、溫度與製程相容性選擇材質。

如何開始測試？

請來信 service@jyfiltec.com，提供化學品、操作溫度、流量、壓差、目前使用濾心規格與目標污染物。我們可協助確認樣品、規格與初步測試方向。

同分類其他產品

半導體級 PTFE 薄膜式濾心

外徑

過濾精度

長度

O-ring 材質

潔淨等級

包裝方式

製程定位

核心特色

專有氟聚合物薄膜微結構控制平台

業界特有薄膜式 PTFE 濾心

業界少見超薄 PTFE 薄膜微結構

超高孔隙率與孔隙均勻度

選型要點

Glass Fiber 微孔摺疊式濾芯

親水性 PTFE 奈米摺疊式濾芯

親水性 PTFE 微孔摺疊式濾芯

延伸閱讀

PTFE 濾心怎麼選？親水型與疏水型選型指南

液體濾心選型不當，會如何影響晶圓良率？

化學品該選哪種濾心材質？相容性與選型指南