取代 SP7 離線檢測一瓶樣品，看見 10 nm 顆粒
把化學品滴上晶圓、鍍一層膜，奈米顆粒就自己亮起來。不必建整套晶圓測試實驗室，也能拿到與晶圓廠 SP 系列檢測機台對得上的顆粒數據，還能看出顆粒是什麼成分、從哪裡來。
- 先進製程晶圓廠已導入
- 一線化學品廠已導入（A16／N2）
- 與 SPx 關聯性 70–90%
微汙染控制及分析設備，處理的是濾心攔不到、也看不到的那一層問題：化學品裡奈米級的顆粒，到底有多少、多大、是什麼成分、從哪裡來。先進製程的線寬已經進入 2 奈米世代，一顆 10 nm 的顆粒就足以造成缺陷，而高階液體微粒計數器的偵測下限約在 20 nm，晶圓廠真正採信的是「化學品塗到晶圓上之後，留下多少顆粒」。
主力產品 UNISERS Lab Suite 是晶圓級的化學品顆粒量測系統：化學品旋塗到監控晶圓上，真空鍍膜讓每顆顆粒長出光學天線，再以光學掃描讀出數量、大小（SEPS）與化學指紋（SERS）。可測到 10 nm 的 SiO₂ 顆粒，與 SPx 的晶圓圖關聯性達 70–90%，可取代以 Litho Track、濕製程機台與 SP7 建置的離線晶圓測試實驗室，人力從 5 人以上降到 1 人、空間從 60 m² 降到 8 m² 以內、樣品從 40–100 公升降到 100–500 mL。
適用對象：濕電子化學品廠的出貨驗證、晶圓廠化學品進料檢驗（IQC）與供應商變更評估、配方液與 CMP 研磨液／CMP 後清洗液的潔淨度管控，以及濾材、管閥件與包材的潔淨度驗證。已有先進製程晶圓廠與一線 IPA、配方化學品大廠導入，用於 A16／N2 製程。現階段主推中國大陸市場，大陸化學品廠與晶圓廠可直接洽詢浚淵送樣測試。
SP7 的離線檢測，Lab Suite 取代的是哪一段？
SP7 在晶圓廠做兩種工作：產線上的線上監控，以及實驗室裡的化學品晶圓測試。Lab Suite 接手的是後者。
為了驗證化學品潔淨度而建的「離線晶圓測試實驗室」：塗佈顯影機（Litho Track）＋濕製程機台＋SP7 晶圓顆粒檢測機，把化學品塗到監控晶圓上，再用 SP7 數顆粒。
- 化學品廠出貨前的晶圓級顆粒驗證
- 晶圓廠化學品進料檢驗（IQC）與供應商變更評估
- 新配方、新供應商導入時的批次比對
- 濾心、管閥件與包材的潔淨度驗證
產線上對產品晶圓做的線上（in-line）全片缺陷監控，仍是 SP7 這類線上機台的工作。量產晶圓廠的線上複檢需求，UNISERS 另有 Explorer 系統。
現階段主推中國大陸市場
大陸濕電子化學品正在往先進產線推進，晶圓級的顆粒數據是認證時繞不過去的一關。Lab Suite 讓這份數據在自己廠內就拿得到。