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摺疊濾心

摺疊濾心

Pleated Cartridge Filters

大面積摺疊結構濾心,涵蓋 PES、PTFE、PVDF、PP、Nylon66、UPE 等主流材質,適用於半導體濕製程、製藥及精密化工終端過濾。

摺疊濾心(Pleated Cartridge Filter)採用大面積摺疊結構,將濾膜以 V 型或星型摺疊方式包覆於支撐結構上,相較於同尺寸熔噴或繞線濾心,可提供 5~10 倍的有效過濾面積,顯著降低初始壓差並延長使用壽命。浚淵科技摺疊濾心涵蓋 PES、PTFE、PVDF、PP、Nylon66、UPE、Polysulfone、Glass Fiber 等主流材質,過濾精度自 0.03μm 奈米級至 10μm 全範圍可選。

材質選型依目標流體決定:親水性 PES/PVDF 適用於水系與一般化學品終端過濾,疏水性 PTFE 為氣體無菌過濾與強腐蝕性化學品首選,UPE 與 Nylon66 為半導體濕蝕刻、CMP、光阻過濾的標準解決方案。所有半導體等級(Semi-Grade)濾心皆於 Class 100 無塵環境組裝,並通過完整的萃取、金屬離子釋出(ICP-MS)與顆粒釋放測試。

典型應用:半導體濕製程(SC-1/SC-2、TMAH、HF、IPA)、製藥無菌過濾(除菌 0.2μm/0.22μm)、生技 mAb/疫苗終端過濾、化工溶劑澄清、食品飲料無菌灌裝前過濾、UPW 與 DI Water 系統 POU。

常見問題

半導體濕製程要選 PES 還是 UPE 摺疊濾心?
PES 親水性佳、流量高、價格適中,適用於 SC-1/SC-2 與一般化學品;UPE 對 HF、TMAH、SPM 等強腐蝕性化學品具最高化學相容性,是先進製程光阻、CMP 漿料 POU 的標準選擇。建議依目標化學品 pH、氟離子濃度與溫度確認材質。
0.2μm 與 0.22μm 摺疊濾心差別在哪?
兩者皆為「除菌級」標準孔徑。0.22μm 為製藥業 USP / EP 規範用語,依 ASTM F838 通過 Brevundimonas diminuta 挑戰測試;0.2μm 在半導體與化工業常見,本質上是同一規格。製藥級驗證需採 0.22μm 並附完整性測試報告。
摺疊濾心多久該換一次?
以壓差為主要判斷依據:當壓差達初始值的 2~3 倍(一般 1.0~2.0 bar)即建議更換。若同時觀察到流量衰減、產品品質指標異常或運轉時間達 3~6 個月也應檢視。建議裝設前後壓差錶並定期記錄。
Semi-Grade 半導體等級濾心和工業級差在哪?
Semi-Grade 在 Class 100 環境組裝、低 TOC 萃取(< 50 ppb)、低金屬離子釋出(ICP-MS 35 元素)、超低顆粒釋放,並附完整批次驗證文件。工業級價格僅約半導體級的 30~50%,但無法符合 UPW、CMP、光阻等高純度應用要求。

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