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半導體級 HDPE 薄膜式濾心

半導體級 HDPE 薄膜式濾心

產品編號: semiconductor-hdpe-membrane-filter-cartridge|HDPE 薄膜

專為常溫超純水、稀酸稀鹼與大宗化學品過濾設計的 HDPE 薄膜式濾心。與 PP、UPE 薄膜式濾心採用同一成膜平台與濾心結構,以聚乙烯主鏈較低的熱氧化敏感性為特點,提供水系製程的薄膜式精密過濾選擇。

  • HDPE 微孔薄膜:以線性聚乙烯鏈為主,三級碳氫鍵比例遠低於 PP,熱氧化敏感性較低
  • 分子鏈不含可水解官能基,耐非氧化性酸與鹼
  • 與 PP、UPE 薄膜式濾心採用同一成膜平台與濾心結構
  • 外形與接口規格與同系列相同,可沿用既有濾殼
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常溫超純水(UPW)過濾
稀酸、稀鹼製程
大宗化學品供應系統
半導體水系製程精密過濾
項目規格 / 選項
濾膜材質HDPE(高密度聚乙烯)微孔薄膜
骨架與支撐層HDPE
過濾精度10 nm、20 nm、50 nm、0.1 µm
型式222 Flat Cartridge|10"、20"
直徑68 mm、82 mm
O-ringFFKM、EPDM、TEV
膜面積68 mm type:1.3 m²
流量壓差依規格洽詢
Bubble Point依規格洽詢
最高使用溫度40 °C
適用化學品超純水(UPW)、稀酸、稀鹼
樣品狀態可洽詢送樣與測試條件

註:實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響,建議以實際製程條件進行樣品驗證。

製程定位

半導體級 HDPE 薄膜式濾心適用於常溫超純水、稀酸、稀鹼與大宗化學品供應系統,為水系製程的薄膜式精密過濾選擇。

核心產品特色

三級碳氫鍵比例低的聚乙烯主鏈

HDPE 以線性聚乙烯鏈為主。相較於 PP,其三級碳上的碳-氫鍵比例遠低,一般具有較低的熱氧化敏感性。此為樹脂的一般性質,不代表本產品適用於強氧化性藥液。

無可水解官能基

分子鏈僅由碳-碳鍵與碳-氫鍵構成,不含酯基、醯胺基等可水解官能基,耐非氧化性酸與鹼。

與 PP、UPE 款相同的成膜平台

採用與同系列相同的成膜平台與濾心結構;外形與接口規格相同,可沿用既有濾殼。

同平台三種膜材的選型

浚淵薄膜式濾心系列採用同一成膜平台與濾心結構,提供 PP、HDPE、UPE 三種聚烯烴膜材。三款的主要差異來自樹脂本身的熱性質、分子量與分子鏈結構;選型時依藥液種類、操作溫度與製程段決定膜材。三款的外形與接口規格相同,可沿用既有濾殼;替換前請核對長度、密封件材質與濾殼的額定操作條件。

項目PP 薄膜式濾心HDPE 薄膜式濾心(本頁)UPE 薄膜式濾心
樹脂聚丙烯(PP);熔點約 160~170 °C高密度聚乙烯(HDPE);以線性鏈為主,三級碳氫鍵比例遠低於 PP超高分子量聚乙烯(UPE);分子量達百萬級
樹脂性質重點三款中熔點最高熱氧化敏感性較 PP 低長鏈纏結,樹脂韌性高
建議製程溫熱稀酸鹼、顯影液、有機溶劑;PP 或 HDPE 骨架 PTFE 濾心的替代評估常溫超純水、稀酸鹼、大宗化學品供應黃光光阻、稀釋劑與溶劑終端過濾
過濾精度10 nm、20 nm、50 nm、0.1 µm10 nm、20 nm、50 nm、0.1 µm2 nm ~ 0.2 µm
最高使用溫度80 °C40 °C40 °C
骨架與支撐層PPHDPEHDPE
產品頁查看規格本頁查看規格

樹脂性質為材料的一般特性,不等同於濾心的性能保證;各款的額定條件以規格表為準。本系列以同一套方法評估截留效率(金奈米粒子挑戰)與析出物(ICP-MS、NVR、TOC);PP 款 5 nm 規格已取得工研院第三方數據,HDPE、UPE 款的測試數據請洽詢。

選型要點

操作溫度以 40 °C 為上限。溫熱藥液或有機溶劑比例較高的製程,建議評估 PP 薄膜式濾心;黃光光阻與溶劑的終端過濾,建議評估 UPE 薄膜式濾心。強氧化性藥液(SPM、濃硝酸、臭氧水)不在適用範圍內,須另行評估全氟濾心。

使用與更換

未改質的 HDPE 膜具疏水性。用於水系製程前,請依出貨狀態(乾式或預潤濕)確認潤濕與沖洗程序;乾式濾心一般以異丙醇等低表面張力溶劑預潤濕,再以超純水置換至出水水質符合製程要求,預潤濕液須符合製程的殘留要求。更換時機依壓差上升幅度與下游顆粒監測結果判定。

HDPE、PP、UPE 三款薄膜式濾心怎麼選?
三款採用同一成膜平台,主要差異來自樹脂性質。常溫超純水與稀酸鹼可評估 HDPE;溫熱稀酸鹼、顯影液與有機溶劑可評估 PP;黃光光阻與溶劑的終端過濾可評估 UPE。各款的額定條件以規格表為準。
HDPE 薄膜式濾心可以用在強氧化性藥液嗎?
不適用。SPM、濃硝酸、臭氧水等強氧化性藥液不在聚烯烴濾膜的適用範圍內,須另行評估全氟濾心。
用於超純水前需要預潤濕嗎?
未改質的 HDPE 膜具疏水性。乾式濾心用於水系製程前需預潤濕,一般使用異丙醇等低表面張力溶劑,再以超純水置換;預潤濕液須符合製程的殘留要求。實際程序依出貨狀態確認。
如何取得規格與樣品?
請來信 service@jyfiltec.com,提供藥液、操作溫度、流量、壓差與目前使用的濾心規格,我們將確認適用的精度與樣品安排。