製程定位
半導體級 HDPE 薄膜式濾心適用於常溫超純水、稀酸、稀鹼與大宗化學品供應系統,為水系製程的薄膜式精密過濾選擇。
核心產品特色
三級碳氫鍵比例低的聚乙烯主鏈
HDPE 以線性聚乙烯鏈為主。相較於 PP,其三級碳上的碳-氫鍵比例遠低,一般具有較低的熱氧化敏感性。此為樹脂的一般性質,不代表本產品適用於強氧化性藥液。
無可水解官能基
分子鏈僅由碳-碳鍵與碳-氫鍵構成,不含酯基、醯胺基等可水解官能基,耐非氧化性酸與鹼。
與 PP、UPE 款相同的成膜平台
採用與同系列相同的成膜平台與濾心結構;外形與接口規格相同,可沿用既有濾殼。
同平台三種膜材的選型
浚淵薄膜式濾心系列採用同一成膜平台與濾心結構,提供 PP、HDPE、UPE 三種聚烯烴膜材。三款的主要差異來自樹脂本身的熱性質、分子量與分子鏈結構;選型時依藥液種類、操作溫度與製程段決定膜材。三款的外形與接口規格相同,可沿用既有濾殼;替換前請核對長度、密封件材質與濾殼的額定操作條件。
| 項目 | PP 薄膜式濾心 | HDPE 薄膜式濾心(本頁) | UPE 薄膜式濾心 |
| 樹脂 | 聚丙烯(PP);熔點約 160~170 °C | 高密度聚乙烯(HDPE);以線性鏈為主,三級碳氫鍵比例遠低於 PP | 超高分子量聚乙烯(UPE);分子量達百萬級 |
| 樹脂性質重點 | 三款中熔點最高 | 熱氧化敏感性較 PP 低 | 長鏈纏結,樹脂韌性高 |
| 建議製程 | 溫熱稀酸鹼、顯影液、有機溶劑;PP 或 HDPE 骨架 PTFE 濾心的替代評估 | 常溫超純水、稀酸鹼、大宗化學品供應 | 黃光光阻、稀釋劑與溶劑終端過濾 |
| 過濾精度 | 10 nm、20 nm、50 nm、0.1 µm | 10 nm、20 nm、50 nm、0.1 µm | 2 nm ~ 0.2 µm |
| 最高使用溫度 | 80 °C | 40 °C | 40 °C |
| 骨架與支撐層 | PP | HDPE | HDPE |
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樹脂性質為材料的一般特性,不等同於濾心的性能保證;各款的額定條件以規格表為準。本系列以同一套方法評估截留效率(金奈米粒子挑戰)與析出物(ICP-MS、NVR、TOC);PP 款 5 nm 規格已取得工研院第三方數據,HDPE、UPE 款的測試數據請洽詢。
選型要點
操作溫度以 40 °C 為上限。溫熱藥液或有機溶劑比例較高的製程,建議評估 PP 薄膜式濾心;黃光光阻與溶劑的終端過濾,建議評估 UPE 薄膜式濾心。強氧化性藥液(SPM、濃硝酸、臭氧水)不在適用範圍內,須另行評估全氟濾心。
使用與更換
未改質的 HDPE 膜具疏水性。用於水系製程前,請依出貨狀態(乾式或預潤濕)確認潤濕與沖洗程序;乾式濾心一般以異丙醇等低表面張力溶劑預潤濕,再以超純水置換至出水水質符合製程要求,預潤濕液須符合製程的殘留要求。更換時機依壓差上升幅度與下游顆粒監測結果判定。