專為先進半導體濕製程與高潔淨化學品過濾設計的 PP 薄膜式濾心。以專有 PP 薄膜微結構控制平台打造高孔隙率、高孔隙均勻度與穩定截留表現，協助客戶在 UPW、TMAH、NH4OH、d-HCl、IPA、PR、PGMEA、PGME 等製程中取得更低汙染風險、更快清洗至 production ready，以及更可預期的量產過濾表現。提供 10nm、20nm、50nm、0.1µm 等精度，222 Flat Cartridge 規格，樣品 ready。
| 項目 | 規格 / 選項 |
|---|---|
| 過濾精度 | 10nm、20nm、50nm、0.1µm 及其他規格 |
| 型式 | 222 Flat Cartridge｜10"、20" 及其他規格 |
| 直徑 | 68mm、82mm |
| O-ring | FFKM、EPDM、TEV 及其他材質 |
| 膜面積 | 68mm type：1.3 m² |
| 流量壓差 | 68mm type：0.5 kg/cm² @ 1 LPM；低壓差（高流量）選項可洽詢 |
| Bubble Point | ≥ 240 kPa |
| 適用化學品（純水 / 稀酸鹼） | UPW、TMAH、NH4OH、d-HCl |
| 適用化學品（有機溶劑） | 光阻（PR）、IPA、NBA、環己酮、OK73、PGMEA、PGME |
| 樣品狀態 | 樣品 ready，可洽詢送樣與測試條件 |
註：實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響，建議以實際製程條件進行樣品驗證。
不同於一般深層式纖維攔截，透過高階聚合物薄膜微結構工程，建立更可控的孔徑分布、孔隙連通性與流體通道一致性，讓濾心在奈米級截留、低壓差、清洗速度與批次穩定性之間取得更佳平衡。
以 PP 材質結合薄膜式微孔結構，兼具 PP 對多種半導體濕製程化學品的實用性，以及薄膜式濾材對精密過濾所需的孔徑控制能力。
更薄、更精密的 PP 薄膜微結構，厚度僅 <30nm，有助於降低不必要的殘留與沖洗負擔，使濾心更快清洗至 production ready，縮短導入與換線等待時間。
高孔隙率設計最高可至 60%，提供更多有效流體通道，兼顧奈米級截留與可用流量、降低高精度濾心常見的高壓差痛點；穩定且均勻的微孔結構同時降低局部流速差異與過早堵塞風險，使過濾表現更可預期。
在先進半導體濕製程中，化學品中的奈米級污染物、微量金屬與有機殘留，都可能影響良率、缺陷密度與製程穩定性。傳統 PP 濾心雖具備良好化學相容性與成本優勢，但在 10nm、20nm 等奈米級過濾需求下，孔徑均勻性、壓差、沖洗時間與溶出控制會成為更關鍵的導入指標。
浚淵科技半導體級 PP 薄膜式濾心，將 PP 材質的製程適用性與薄膜式微孔結構的精密控制結合，提供更高孔隙率、更均勻孔徑與更穩定的奈米級過濾表現，協助客戶縮短驗證週期並降低量產導入風險。
| 比較項目 | 一般 PP 摺疊濾心 | 半導體級 PP 薄膜式濾心 |
|---|---|---|
| 產品定位 | 一般液體、預過濾或工業過濾 | 半導體濕製程與高潔淨化學品過濾 |
| 濾材邏輯 | 以纖維式深層攔截為主 | 以 PP 薄膜微結構與精密孔徑控制為核心 |
| 過濾精度 | 多為 0.1µm 以上應用 | 10nm、20nm、50nm、0.1µm 及其他選項 |
| 潔淨需求 | 適合一般製程 | 低 NVR、低 Metal，適合高潔淨製程 |
| 導入方式 | 依規格購買 | 可送樣、依製程條件協助選型 |
