半導體級 全氟 PTFE 濾芯

濾材 / 濾膜

PTFE 微孔膜（高流速型），濾層本身即為氟聚合物

支撐層 / 導流層

PFA 支撐層與導流層；與濾膜同屬氟聚合物，流道中沒有異種材料界面

外殼・中心杆・端蓋

PFA 外殼、中心杆與端蓋；熱熔接合，不使用黏著劑，全結構無金屬件

密封件 / O-ring

TEV 改質乙丙橡膠或 FFKM 全氟橡膠 O-ring（222 型）

過濾精度

10 nm / 15 nm / 20 nm / 30 nm / 50 nm / 0.1 µm / 0.2 µm / 0.45 µm / 0.5 µm / 1 µm / 3 µm / 5 µm / 10 µm

有效過濾面積

Ø68 mm：1.2 m²／10"；Ø83 mm：1.8 / 2.2 / 2.8 m²／10"

標稱外徑

Ø68 mm / Ø83 mm

長度規格

3" / 4" / 10" / 20" / 30"

端蓋 / 接口型式

222 平頭；222 附鎖扣（Lock-key）

最高操作溫度

筒式 100 °C；一體拋棄式 180 °C

最大正向壓差

0.5 MPa（72 psi）@ 25 °C；0.2 MPa（29 psi）@ 100 °C

最大反向壓差

0.35 MPa（50 psi）@ 25 °C

潤濕與沖洗

疏水膜，出廠可選乾式或超純水預潤濕；預潤濕型號可省下上線前的潤濕與沖洗工時

萃出物與潔淨度

可選 < 3 / < 10 / < 25 µg/device 金屬潔淨度等級；全氟結構的溶出物與可污染製程的成分濃度極低

完整性測試

每支濾心出廠前 100% 完整性測試

包裝方式

乾式包裝；超純水預潤濕包裝

註：實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響，建議以實際製程條件進行樣品驗證。