PFA(鐵氟龍)內襯閥門管件,是把 316L 不鏽鋼的機械強度和 PFA 的化學惰性放進同一支零件:外層金屬承受管線應力與壓力,接液面是一層連續的高純 PFA,強酸、強鹼、溶劑與超純水只碰得到全氟材料。它同時解決兩個問題——金屬閥件會被腐蝕、會析出金屬離子;全塑膠閥件又撐不住溫度、壓力與管線外力。
這個類別有 14 個系列:半導體級的法蘭隔膜閥、球閥、單向閥與法蘭管件(HG/T 20592 法蘭,尺寸同 EN 1092-1 PN16);依 BPE 標準設計的卡盤(Tri-Clamp)隔膜閥、T 型閥、罐底閥、取樣閥、球閥,以及三通、彎頭、異徑、視鏡等內襯管件;另有 PFA 內襯軟管、軟管接頭、濾殼與呼吸器、儲槽與攪拌槳、射出成形 PFA 管件。每個系列都有浚淵料號,口徑、接口、操作方式一組就是可下單的型號。
適用場景:半導體廠 CDS(化學品供應系統)的藥液輸送、濕製程的超純流體管路、面板與太陽能濕製程產線,以及製藥、精細化工的腐蝕性介質管路。多數系列的設計溫度可到 +150 °C(球閥 +120 °C、軟管 +100 °C),壓力為真空至 1.0 MPa(20 °C)。PFA 原料可依潔淨度需求指定國際一線品牌超純等級或高性價比高純等級,並提供材質證明。
常見問題
PFA 內襯閥和整支 PFA 射出成形的閥件差在哪?
法蘭系列和卡盤(Tri-Clamp)系列怎麼選?
溫度和壓力上限怎麼看?
可以提供哪些文件?
規格表沒有的口徑或形狀可以做嗎?
本類別技術文章
選型前先看懂原理與規格判讀,比較不會買錯。
化學品該選哪種濾心材質?相容性與選型指南
酸、鹼、氧化劑、有機溶劑──哪種材質扛得住?本篇提供完整相容性矩陣(化學品 × 7 種材質),涵蓋半導體與製藥業常見化學品,搭配 O-ring 配套建議。
濾心金屬溶出物怎麼測?ICP-MS 如何評估濾心潔淨度
ICP-MS 偵測極限到 ppt 等級,是濾心金屬萃出測試的黃金標準。本篇講解 ICP-MS / ICP-OES / AAS 差異、測試流程、PP 到 UPE 的金屬萃出實測對比,以及採購時必盯的 5 個元素。
熱磷酸與 SPM 濾心怎麼選?高溫強氧化藥液為什麼要用全氟濾心
熱磷酸蝕刻氮化矽、SPM 去除光阻,是濕製程裡條件最嚴苛的兩種藥液。濾膜是 PTFE 還不夠——骨架、端蓋、O-ring 任一個不耐,整支濾心就跟著失效。本文用化學相容表與全氟濾心的實際額定值,說明高溫下的壓差降額、冷機黏度、SPM 氣泡造成的脫濕,以及選型時該逐項確認的清單。
液體濾心 O-ring 材質怎麼選?FFKM、EPDM、Viton 等相容性與應用解析
一個 O-ring 失效,整支濾心歸零。本篇對比 NBR、EPDM、Viton (FKM)、Silicone、FFKM 五大材質的耐溫、化學相容性、認證等級(USP Class VI / FDA),以及成本(NBR USD 2 vs FFKM USD 200)。














