PFAライニングバルブ・継手は、SUS316L の機械的強度と PFA の化学的不活性を一つの部品にまとめたものです。外側の金属が配管応力と圧力を受け持ち、接液面は連続した高純度 PFA 層なので、強酸・強アルカリ・溶剤・超純水が触れるのはフッ素樹脂だけです。金属バルブの腐食と金属イオン溶出、樹脂バルブの耐熱・耐圧・配管荷重不足という二つの問題を同時に解決します。
このカテゴリーは 14 シリーズで構成されます。半導体グレードのフランジ形ダイヤフラム弁・ボール弁・逆止弁とフランジ継手（HG/T 20592 フランジ、寸法は EN 1092-1 PN16 と同じ）、BPE 規格に基づいて設計されたヘルール（Tri-Clamp）形のダイヤフラム弁・T 形弁・タンク底弁・サンプリング弁・ボール弁と、チーズ・エルボ・レデューサー・サイトグラスなどのライニング継手、さらに PFAライニングホース、ホースアダプター、フィルターハウジングとベントブリーザー、容器と攪拌翼、PFA 射出成形継手です。すべてのシリーズに浚淵の型番体系があり、呼び径・接続・操作方式を選ぶだけで発注可能な型番になります。
主な用途：半導体工場の CDS（薬液供給システム）での薬液搬送、ウェットプロセスの超純流体配管、ディスプレイ・太陽電池のウェットライン、医薬・ファインケミカルの腐食性流体配管。多くのシリーズは +150 °C まで使用でき（ボール弁は +120 °C、ホースは +100 °C）、圧力は真空 ～ 1.0 MPa（20 °C）です。PFA 原料は清浄度要求に応じて、海外大手メーカーの超高純度グレード、またはコストパフォーマンスに優れた高純度グレードを指定でき、材質証明書を提供します。
射出成形PFA継手
PFAライニング・ヘルール式フィルターハウジング／ベントブリーザー
PFAライニング フランジ式ボールバルブ（ツーピース）
PFAライニング フランジ式逆止弁（チャッキバルブ）
PFAライニング フランジ式ダイヤフラムバルブ（手動／空気作動）
PFAライニングフランジチーズ・レデューサー
PFAライニングホースアダプター
PFAライニングホース（ゴムホース・サイトグラスホース）
PFAライニング・ヘルール式サンプリングバルブ
PFAライニングT型・タンク底ダイヤフラムバルブ
PFAライニング・ハステロイC製ヘルール式ボールバルブ
PFAライニング ヘルール（Tri-Clamp）ダイヤフラムバルブ
PFAライニングヘルール（Tri-Clamp）継手
PFAライニングタンク・撹拌翼
よくあるご質問
PFAライニングバルブと PFA 一体射出成形品の違いは？
フランジ形とヘルール（Tri-Clamp）形はどう選べばよいですか？
温度・圧力の上限はどう見ればよいですか？
どのような書類を提供できますか？
仕様表にない呼び径や形状も製作できますか？
このカテゴリーの技術コラム
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