サービス内容
フィルター捕捉性能評価
お客様のプロセス条件と材料特性に基づき、粒子チャレンジ試験と捕捉率評価を実施します。
金属清浄度分析
ICP-MSでフィルターからの金属溶出を測定し、半導体グレードの清浄度報告書をご提供します。
有機物清浄度分析
抽出物試験とTOC測定を行い、対象溶剤に対するフィルターの適合性を定量化します。
カスタマイズ評価プラン
お客様の特殊な薬液やプロセス条件に合わせて、試験フローと報告書形式を設計します。
PTFEフィルター再生
PTFEフィルターの洗浄・再生と清浄度評価を行い、寿命を延ばしてコストを削減します。
PTFEフィルターの再生・回収
工業技術研究院（ITRI）と共同で、PTFEフィルターの再生・回収と特殊なフィルター再生プロセス（特許出願中）を開発しました。
- ろ過精度
- 2nm～0.1μm
- 材質
- PTFEメンブレン / PFA材料
- 形式
- ディスポーザブル（Disposable）、カートリッジ（Cartridge）
- 清浄度
- Total metals < 2μg/device (10")；NVR < 18mg/device
- 用途
- 高グレードPTFEフィルターのダウングレード転用、プレフィルターとしての使用、直列フィルターの追加設置、価格重視の非PTFEプロセスの代替
- その他
- 工業技術研究院（ITRI）と共同開発した特殊フィルター再生プロセス（特許出願中）
化学反応と分子間相互作用により、汚染物質をエッチング・溶解・分解し、付着力を断ち切ります
低粘度・高拡散性の液体で、より微細な細孔の奥まで浸透させます
外部からエネルギーを与えて不純物を剥離させ、脱着のエネルギー障壁を越えさせます
フィルター再生洗浄フロー
汚染物の種類ごとに段階的に処理します：Conditioning／Pre-wet → 有機物 → 金属 → Silica → 最終水相置換。
- 共通UPW置換
- 1 L · one-pass · Gigasonic · endpoint = pH / conductivity
- 材質Gate
- HF／強酸化性酸に耐えるろ材に限定、ステンレス部品を含むものは別recipeで処理
10nm PTFEフィルター再生の実測データ
新品フィルターと再生フィルターを並べて比較しました。捕捉性能、清浄度ともに新品同等の水準に達しています。
| 評価項目 | 単位 / 規格値 | 新品フィルター | 再生フィルター |
|---|---|---|---|
| 有機汚染（長鎖炭化水素）C12–C30 LHC | mg/device | <0.5 ppm | <0.5 ppm |
| 有機汚染（不揮発性有機物）NVR | mg/device10nm 規格値 = 18 | 3.5 | 1.8 |
| 金属汚染 23 Metals extraction | ppt (ng/device)10nm 規格値 = 3500 ppt | 330.5 | 353.2 |
| 捕捉性能 GNP 5nm Retention | % | 99.4% | 99.3% |
総合的な微量汚染コンサルティングサービス
アプリケーションエンジニアリング、ラボ受託試験から技術移転まで、お客様の微量汚染管理を万全にするためのサポートを行います。
アプリケーションエンジニアリング
- 各種酸・アルカリ・有機溶剤中でのフィルターの金属・有機物・パーティクル除去効率試験
- お客様のろ過・精製プロセス全体を最適化し、汚染・欠陥を低減
- ウェットエッチング・洗浄・フォトレジスト工程の薬液における各種フィルター適合性のコスト評価
ラボ分析・受託試験
- 新品・使用済みフィルターおよびプロセス部材（配管材、包装材）などの抽出試験、捕捉性能試験
- 汚染物検出サービス、各種ラボ受託試験サービス
技術移転サービス
- 定性・定量分析法の開発と移管
- ラボにおける革新的な測定技術の開発支援
- 微量汚染測定における4M1E（人・機械・材料・方法・環境）の最適化を支援し、測定の信頼性を向上
- 微量汚染管理の講座、トレーニング、コンサルティングサービス
ラボ分析・受託試験の流れ
浚淵科技は安心してご依頼いただけるラボ分析フローをご提供します。フィルター・メンブレンの試験から各種微量汚染分析まで対応します。
フィルター・メンブレン評価
浚淵科技は、フィルター・メンブレンの総合的な試験プラットフォームをご提供します。
試験・分析設備
ラボ分析項目一覧
浚淵科技は自社ラボに加え、台湾国内の主要分析ラボと連携し、各種分析項目を網羅的にご提供します。
フィルターの評価試験・再生の検討をご希望ですか？
ご使用の薬液、プロセス条件、現在お使いのフィルター仕様をお知らせください。技術チームが実施可能な試験プランとスケジュールをご提案します。
技術チームに相談する