液体ろ過製品ラインナップ
プレフィルターからナノレベルのファイナルフィルターまで、浚淵科技は9カテゴリーの液体ろ過製品と評価試験サービスをご提供します。
ガラス繊維微多孔プリーツフィルターカートリッジ
親水性ナノグレードPTFEプリーツフィルターカートリッジ
親水性PTFE微多孔プリーツフィルターカートリッジ
半導体グレードPTFEメンブレンフィルターカートリッジ
疎水性PTFE微多孔プリーツフィルターカートリッジ
半導体グレードオールフッ素樹脂プリーツフィルターカートリッジ（All-Fluoropolymer PTFE/PFA Filter）
除菌グレード疎水性PTFEプリーツフィルターカートリッジ（GMP/FDA基準適合）
除菌グレード高流量PESプリーツフィルターカートリッジ（0.1 µm / 0.2 µm / 0.45 µm）
PES微多孔プリーツフィルターカートリッジ
ステンレス織金網プリーツフィルターカートリッジ
PS微多孔プリーツフィルターカートリッジ
PP微多孔プリーツフィルターカートリッジ
PVDF微多孔膜プリーツフィルターカートリッジ
半導体グレードオールフッ素樹脂PTFEフィルターカートリッジ
半導体グレードNylon 66プリーツフィルターカートリッジ
半導体グレードPESプリーツフィルターカートリッジ
半導体グレードPES/PPプリーツフィルターカートリッジ
半導体グレードPTFE／HDPEハイブリッドフィルターカートリッジ
半導体グレードPTFE/PPプリーツフィルターカートリッジ
半導体グレードUPEプリーツフィルターカートリッジ
半導体グレードPPメンブレンフィルターカートリッジ
フィルターカートリッジ製品ライン
浚淵科技は充実したフィルターカートリッジ製品ラインを取り揃えています。技術チームが初期段階からご相談に応じ、最適な製品の選定をサポートします。
PTFEフィルターカートリッジ
- ろ材
- 親水性PTFEおよび疎水性PTFE
- ろ過精度
- 10nm、20nm、30nm、50nm（ナノグレード）／0.1μm、0.2μm（サブミクロングレード）
- サイズ
- 10inch、20inch、30inch、40inch、その他
- カートリッジ外径
- Ø68mm、Ø83mm、その他
- エンドキャップ
- 2-222 フラット、その他
- Oリング
- TEV、FFKM、Viton、その他
強酸・強アルカリおよび各種ウェットエッチング液
UPW、H₂SO₄、H₃PO₄、HNO₃、HCl、フッ化アンモニウム（NH₄F）、H₂O₂、TMAH、NH₄OH、DIO3など
溶剤系プロセス薬液
イソプロピルアルコール（IPA）、ブタノール（NBA）、シクロヘキサノン、OK73、PGMEA、PGME、および溶剤含有率の高いBEOL剥離液
PPフィルターカートリッジ
- ろ材
- PP
- ろ過精度
- 1nm、3nm、5nm、10nm、20nm、50nm（ナノグレード）／0.1μm、0.2μm（サブミクロングレード）
- サイズ
- 10inch、20inch、30inch、40inch、その他
- カートリッジ外径
- Ø68mm、Ø83mm、その他
- エンドキャップ
- 2-222 フラット、その他
- Oリング
- EPDM、TEV、FFKM、Viton、その他
純水および各種希酸／希アルカリ
UPW、TMAH、NH₄OH、d-HCl
有機溶剤系プロセス薬液（アルコール・エーテル類、エステル類、アルデヒド・ケトン類）
フォトレジスト（PR）、イソプロピルアルコール（IPA）、ブタノール（NBA）、シクロヘキサノン、OK73、PGMEA、PGME
その他のフィルターカートリッジ
- ろ材
- PTFE、PP、PS、PES、Nylon
- ろ過精度
- 30nm～<0.1μm（ナノグレード）／0.1μm～1.2μm（サブミクロン・ミクロングレード）
- サイズ
- 10inch、20inch、30inch、40inch、その他
- カートリッジ外径
- Ø68mm、Ø83mm、その他
- エンドキャップ
- 2-222 フラット、その他
- Oリング
- EPDM、TEV、FFKM、Viton、その他
各種薬液プロセス
浚淵科技の営業担当までお問い合わせください。
メンブレン耐薬品性選定表
耐薬品性の参考表は以下のとおりです。実際の使用条件やその他の薬液については、浚淵科技の営業担当までご相談ください。
| 膜材 | DI／UPW | 弱酸 HCl、HF < 1% | 強酸／酸化性混酸 SPM、HNO₃ | アルカリ NH₄OH、KOH、TMAH | 有機溶剤 IPA、PGMEA、NMP | > 100 °C |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PTFE | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| PP | ◎ | ○ | △ | ○ | ○ | ✕ |
| HDPE / UPE | ◎ | ○ | △ | ○ | △ | ✕ |
| PVDF | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ | ○ |
| PS／PES | ◎ | ○ | △ | ○ | ○ | ○ |
| PI | ◎ | ○ | △ | △ | ○ | ◎ |
← 左右滑動可看完整欄位
- ◎ ＝ 長期使用に適合、そのまま選定可能
- ○ ＝ 一般的に適合、濃度／温度に注意
- △ ＝ 限定的または条件付きで適合、事前に浸漬試験（soak test）が必要
- ✕ ＝ 明らかに不適合、または機械的強度を喪失