プロセス上の位置づけ
本フィルターは、超純水と強腐食性薬液のナノレベルのファイナルフィルターとして使用します。20 / 30 / 50 nmの3種類のろ過精度は、すでにナノスケールに達した残留微粒子を捕捉するためのものです。このレベルになると、目標を達成できるかどうかはメンブレンそのものよりも、フィルター交換後にシステムがどれだけ早くベースラインに戻るかで決まることが多くなります。
主な特長
設計上の要点は、出荷時に超純水でプレウェットしていることです。PTFEは本来疎水性のため、通常はイソプロピルアルコールでメンブレンを湿潤させてから通水する必要があり、交換後にはアルコールを完全にフラッシングしなければなりません。プレウェット状態で出荷することでこの工程を丸ごと省略でき、交換後はフラッシングするだけで立ち上げられます。
ハードウェア、サポート層、エンドキャップはすべてHDPE製で、金属イオン溶出量は3 µg/deviceです。製造はClass 1,000のクリーンルームで行い、オプションでClass 100レベルの洗浄・包装も選択できます。さらに、すべてのフィルターについて出荷前に100%完全性試験を実施しています。
選定のポイント
3種類のPTFEフィルターは使用可能な範囲が大きく異なります。まず温度とろ過精度を確認してください。
| 項目 | 親水性PTFEナノ（本製品） | 半導体グレードPTFEメンブレン | 親水性PTFEプリーツ |
|---|---|---|---|
| 濡れ性 | プレウェット済み、アルコール不要 | 本来疎水性、水系では湿潤処理が必要 | 親水化処理済み、アルコール不要 |
| ハードウェア | HDPE | PP | PP |
| ろ過精度 | 20 / 30 / 50 nm | 10 nm – 0.1 µm | 0.05 – 10 µm |
| 耐熱温度 | 40 °C | 70 °C | — |
使用と交換
最大正方向差圧0.4 MPa、逆方向差圧0.3 MPa、耐熱温度の上限は40 °Cです。
プレウェット品の包装内には超純水が入っています。開封後はできるだけ早く装着し、湿潤状態を保ってください。フィルターが一度乾燥するとメンブレンの細孔は湿潤状態を失い、流量を回復させるには再度の湿潤処理が必要になります。そうなると、本来省略したかったアルコールによる湿潤工程を結局行うことになります。