プロセス上の位置づけ
なぜ半導体プロセスにはPTFEメンブレンフィルターカートリッジが必要なのでしょうか？SPM、SC1、SC2、TMAH、HCl、HNO3、リン酸、PAN、混酸エッチング液などの強腐食性プロセスでは、フィルターカートリッジが薬液そのものに耐えられるだけでなく、ナノレベルの汚染物質の捕捉、低金属溶出、低有機物溶出、差圧、フラッシング時間のバランスを取る必要があります。
半導体グレードPTFEメンブレンフィルターカートリッジは、均一性の高いメンブレンの微細孔ネットワークにより、安定したナノレベルの捕捉性能と予測しやすい流路特性を発揮します。高い清浄度と耐薬品性が求められ、production readyまで早期に立ち上げたいウェットプロセス薬液のろ過に特に適しています。
主な特長
独自のフッ素樹脂メンブレン微細構造制御プラットフォーム
中核となる製品特長。一般的な繊維系デプスろ材とは異なり、本製品は高度なフッ素樹脂メンブレン微細構造エンジニアリングを核として、より均一で連通性が高く、制御しやすいナノレベルの孔ネットワークを形成しています。
業界でもユニークなメンブレン型PTFEフィルターカートリッジ
PTFE材質とメンブレン型の微細孔構造を組み合わせることで、強酸・強アルカリ・強腐食性プロセス薬液への耐性と、メンブレンろ材ならではの高精度な捕捉における安定した性能を両立しています。
業界でも数少ない極薄PTFEメンブレン微細構造
より薄く精密なPTFEメンブレン微細構造（<35µm）により、フラッシングの負担と初期溶出のリスクを抑え、フィルターをより早くproduction readyの状態まで洗浄できます。導入、ライン切り替え、量産までの待ち時間の短縮につながります。
非常に高い空孔率と孔の均一性
高空孔率設計により有効な流路を多く確保し、ナノレベルの捕捉と実用的な流量を両立して、高精度フィルターにありがちな高差圧の課題を軽減します。均一で連続した微細孔ネットワークは、局所的な流速のばらつき、バイパス流、早期目詰まりのリスクを抑え、ろ過性能をより安定した予測しやすいものにします。
選定のポイント
一般的なPTFEプリーツフィルターカートリッジとの違い。
| 比較項目 | 一般的なPTFEプリーツフィルターカートリッジ | 半導体グレードPTFEメンブレンフィルターカートリッジ |
|---|---|---|
| 製品の位置づけ | 一般的な気体・液体、または強腐食性の用途 | 半導体の強腐食性ウェットプロセスと高清浄薬液のろ過 |
| 技術的な訴求点 | PTFEの耐薬品性と疎水性を重視 | フッ素樹脂メンブレンの微細構造、ナノレベルの孔の均一性、低溶出を重視 |
| ろ過精度 | 0.1µm以上や気体の除菌などの用途が一般的 | 10nm、20nm、30nm、50nm、0.1µmおよびその他のオプション |
| 導入時の指標 | 仕様と耐薬品性で選定 | 捕捉性能、差圧、NVR、Metal、production readyまでの時間をあわせて重視 |
| 用途 | 一般産業、気体、バイオ、腐食性液体 | SPM、SC1、SC2、TMAH、HCl、HNO3、PAN、混酸エッチング液 |