プロセス上の位置づけ
親水性PTFEプリーツフィルターカートリッジは、腐食性の高い水系溶液向けに設計されています。対象は、エッチング液、剥離液、現像液、洗浄剤など、一般的な高分子メンブレンを侵す一方で水系でもある薬液です。半導体用薬液の供給、医薬品プロセス、超純水システムのいずれでも使われており、共通点は「薬液は過酷だが、ろ過するのは水相である」ことです。
主な特長
PTFEは本来疎水性のため、水相をろ過するにはまずアルコールでぬらす必要があります。本製品は出荷前に親水化処理を済ませているので、装着時のアルコール浸漬が不要で、その後アルコールを洗い流す工数や残留のリスクもありません──交換頻度の高いラインでは、交換のたびに発生する停止時間を削減できます。
メンブレンは二軸延伸による高空孔率構造で、孔径分布が均一です。外径はØ68からØ208までの4種類で、Ø208は1本あたりのメンブレン面積が ≥ 3.3 m² と、Ø68（≥ 0.74 m²）の4倍以上です。大流量の用途では大口径カートリッジ1本に切り替えることで、圧力損失とシール箇所の数を同時に減らせます。
選定のポイント
いずれも耐薬品性に優れた3製品の違いは、ぬれ性とハードウェア材質にあります。
| フィルター | ぬれ性 | ハードウェア | ろ過精度範囲 |
|---|---|---|---|
| 親水性PTFEプリーツ（本製品） | 親水化処理済み、アルコール不要 | PP | 0.05 – 10 µm |
| 疎水性PTFEプリーツ | 疎水性、水系ではぬらしが必要 | PP | 0.05 – 5 µm |
| PVDFプリーツ | 親水性・疎水性から選択可 | オールPVDFハードウェア | 0.1 – 1 µm |
使用と交換
アルコールによるプレウェットは不要です。装着後、プロセス液または純水を順方向に流してフラッシングし、内部に残った空気を排出すれば使用できます。差圧が清浄時の初期値の3～5倍に上昇するか、0.24 MPa（35 psi）に達したら交換をお勧めします。
最大順方向差圧はØ68で5.2 bar、Ø83以上で4.2 bar、逆方向はそれぞれ2.1 barと1.7 barです。大口径タイプは耐圧値が低いため、大口径に切り替える際はシステムの圧力上限もあわせて確認してください。