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親水性 PTFE 奈米摺疊式濾芯

親水性 PTFE 奈米摺疊式濾芯

產品編號: hydrophilic-ptfe-nano-filter|PTFE 奈米級

專為半導體先進製程與高階化學品設計的親水性 PTFE 奈米濾芯。出廠即具備親水特性,免除繁瑣的酒精預潤濕步驟,隨插即用。提供 20nm、30nm、50nm 超高精密過濾,具備極低的金屬離子溶出量 (3μg/device)。全系列於 Class 1,000 無塵室生產,並可選配 Class 100 等級高階清洗與包裝。是兼顧極致純淨度與操作便利性的超純水與高腐蝕性藥液過濾首選。

  • 出廠即具備親水特性,免酒精預潤濕隨插即用
  • 提供 20nm、30nm、50nm 超高精密過濾
  • 極低金屬離子溶出量,僅 3μg/device
  • Class 1,000 無塵室生產
  • 可選配 Class 100 等級高階清洗與包裝
  • 兼顧極致純淨度與操作便利性
過濾精度
20 nm / 30 nm / 50 nm
最高操作溫度
40 °C
有效過濾面積
Ø68 mm:1.2 m²/10"
長度規格
4" / 10" / 20"
半導體先進製程過濾
超純水過濾
高腐蝕性藥液過濾
高階化學品過濾
濾材 / 濾膜
PTFE 微孔膜,出廠以超純水預潤濕;上線不必再做酒精潤濕,換心後可直接沖洗導入
支撐層 / 導流層
HDPE 支撐層與導流層
外殼・中心杆・端蓋
HDPE 外殼、中心杆與端蓋
密封件 / O-ring
EPDM 或 TEV 改質乙丙橡膠 O-ring(222 型)
過濾精度
20 nm / 30 nm / 50 nm
有效過濾面積
Ø68 mm:1.2 m²/10";Ø83 mm:1.8 / 2.2 / 2.8 m²/10"
標稱外徑
Ø68 mm / Ø83 mm
長度規格
4" / 10" / 20"
端蓋 / 接口型式
222 平頭(單開口)
最高操作溫度
40 °C
最大正向壓差
0.4 MPa(58 psi)@ 25 °C
最大反向壓差
0.3 MPa(43 psi)@ 25 °C
潤濕與沖洗
預潤濕包裝內含超純水,開封後應盡快上線並保持濕潤;一旦乾燥需重新潤濕才能恢復流量
萃出物與潔淨度
金屬離子溶出量 3 µg/device;Class 1,000 無塵室生產,可選配 Class 100 等級清洗與包裝
完整性測試
每支濾心出廠前 100% 完整性測試
包裝方式
乾式包裝;超純水預潤濕包裝
型號外徑膜面積(10")
SXØ68 mm1.2 m²
MXØ83 mm1.8 m²
MYØ83 mm2.2 m²
MZØ83 mm2.8 m²

註:實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響,建議以實際製程條件進行樣品驗證。

料號範例
JY
-WE27
-83
-R30
-10
-V3W
JY
浚淵科技
WE27
PTFE 微孔膜出廠即以超純水潤濕、HDPE 骨架,換心後可直接沖洗導入
83
Ø83 mm
R30
30 nm
10
10"
V3W
TEV O-ring|潔淨 3 級(3 µg/device)|UPW 預濕
逐段可選規格
01

外徑

代碼規格
68Ø68 mm
83Ø83 mm
02

過濾精度

代碼規格
R2020 nm
R3030 nm
R5050 nm
03

長度

代碼規格
044"
1010"
2020"
04

O-ring 材質

代碼規格
EEPDM
VTEV(乙丙橡膠改質)
05

潔淨等級

代碼規格
3< 3 µg/device

金屬離子溶出量 3 µg/device(代碼 3)為本系列固定值;另可選配 Class 100 等級清洗與包裝。

06

包裝方式

代碼規格
WUPW 預濕包裝
D乾式包裝

本系列的賣點就是預潤濕(W);選 D 乾式出貨者,上線前必須自行完成潤濕才會有標示流量。

並非所有組合皆為常備品,罕見組合為訂製交期。下單前請與浚淵業務確認。

單開口 222 平頭
單開口 222 平頭圖示為代表型號,實際外徑與長度以下方尺寸表為準。
外徑 / 標稱長度ABC
Ø68 mm 4"131.5 ± 2 mm117.0 ± 2 mm115.0 ± 2 mm
Ø68 mm 10"249.5 ± 2 mm235.0 ± 2 mm233.0 ± 2 mm
Ø68 mm 20"488.5 ± 2 mm474.0 ± 2 mm472.0 ± 2 mm
Ø83 mm 4"118.0 ± 2 mm103.0 ± 2 mm101.0 ± 2 mm
Ø83 mm 10"238.0 ± 2 mm223.0 ± 2 mm221.0 ± 2 mm
Ø83 mm 20"460.0 ± 2 mm445.0 ± 2 mm443.0 ± 2 mm

A = 總長;B = 端蓋密封面間距;C = 有效濾材長度。

20 nm30 nm50 nm02.004.006.008.0010.0GPM010.020.030.0LPM010.020.030.040.0kPa02.004.00psi

超純水 25 °C、Ø83 mm 單支 10" 濾心(2.8 m²)、乾淨初始壓差 右軸為同一數值的 psi 讀數。

此為膜面積最大的 2.8 m² 款;同精度換成 1.2 m² 的 Ø68 mm 款,壓降約提高一倍。

查看數據表
GPM / LPM20 nm30 nm50 nm
2.00 / 7.577.937.284.41
4.00 / 15.115.914.68.81
6.00 / 22.723.821.813.2
8.00 / 30.331.729.117.6
10.0 / 37.939.736.422.0
化學品PTFEEPDM
— 酸 —
冰醋酸RR
濃鹽酸RNR
鹽酸 6NRNR
濃硝酸RNR
硝酸 6NRNR
濃磷酸RR
濃硫酸RNR
氫氟酸 6NRNR
— 鹼 —
氫氧化銨 1NRR
氫氧化銨 3NRLR
氫氧化鉀 3NRR
氫氧化鈉 3NRR
氫氧化鈉 6NRR
— 醇類 —
戊醇RR
苯甲醇RR
丁醇RR
異丙醇(IPA)RR
甲醇RR
— 酮類 —
丙酮RR
環己酮RNR
甲基乙基酮(MEK)RR
甲基異丁基酮(MIBK)RR
— 油類 —
棉籽油RR
潤滑油RR
花生油RR
芝麻油RR
— 芳香烴 —
RNR
甲苯RNR
二甲苯RNR
— 鹵代烴 —
四氯化碳RNR
三氯甲烷RNR
二氯乙烷RNR
氟利昂 TFRNR
氟利昂 TMCRNR
二氯甲烷RNR
全氯乙烯RNR
三氯乙烯RNR
— 二醇類 —
乙二醇RR
甘油RR
丙二醇RR
— 醚類 —
乙醚RNR
異丙醚RNR
二噁烷RNR
四氫呋喃(THF)RNR
— 酯類 —
醋酸戊酯RR
醋酸丁酯RR
醋酸溶纖劑酯RR
醋酸乙酯RR
醋酸甲酯RR
醋酸異丙酯RR
— 其他 —
苯胺RR
二甲基甲醯胺(DMF)RR
甲醛 37%RR
汽油LRR
己烷(無水)LRNR
煤油RNR
苯酚RNR
吡啶RR
RR
乙腈RR
  • R = 可耐受
  • LR = 有限度耐受,建議實測
  • NR = 不可耐受
  • — = 無資料

本表為材質層級的通則性建議,非保證值。實際濃度、溫度、暴露時間與機械應力都會影響結果,導入前請以實際製程條件送樣驗證。

製程定位

這支濾心用在超純水與高腐蝕性藥液的奈米級終端過濾。20 / 30 / 50 nm 三檔精度是為了攔下已經進入奈米尺度的殘留微粒 —— 到了這個等級,能不能達標往往不是取決於膜,而是取決於換心之後系統多久才回到基線。

核心特色

關鍵設計是出廠即以超純水預潤濕。PTFE 天生疏水,一般要靠異丙醇把膜潤濕才能過水,換心後還得把酒精完全沖乾淨;預潤濕出貨等於把這段流程整個省掉,換心後直接沖洗導入即可。

骨架、支撐層與端蓋全部採 HDPE,金屬離子溶出量 3 µg/device。生產在 Class 1,000 無塵室完成,另可選配 Class 100 等級的清洗與包裝,並且每支濾心出廠前都做 100% 完整性測試。

選型要點

三支 PTFE 濾心的可用範圍差很多,先看溫度與精度:

項目親水 PTFE 奈米(本款)半導體級 PTFE 薄膜式親水 PTFE 摺疊式
潤濕性預潤濕,免酒精天然疏水,水系需潤濕親水處理,免酒精
骨架HDPEPPPP
精度20 / 30 / 50 nm10 nm – 0.1 µm0.05 – 10 µm
耐溫40 °C70 °C

使用與更換

最大正向壓差 0.4 MPa、反向 0.3 MPa,耐溫上限 40 °C。

!
預潤濕包裝內含超純水,開封後應盡快上線並保持濕潤。濾心一旦乾燥,膜孔會失去潤濕狀態,必須重新潤濕才能恢復流量 —— 屆時就等於要做一次原本想省掉的酒精潤濕程序。
為什麼說它隨插即用?
本奈米濾芯出廠即具備親水特性,水性藥液可直接潤濕通過,免除繁瑣的酒精預潤濕步驟,可隨插即用。這縮短上機準備時間、減少酒精與廢液處理,對先進製程的稼動率與潔淨度都有幫助。
金屬潔淨度表現如何?
具備極低的金屬離子溶出量,僅 3μg/device,並於 Class 1,000 無塵室生產、可選配 Class 100 等級高階清洗與包裝,能有效降低製程金屬汙染風險,適合半導體先進製程的超純水與高腐蝕性藥液過濾。
提供哪些奈米級精度?
提供 20nm、30nm、50nm 三種超高精密過濾精度,可依製程節點與微粒控制需求選擇。較細精度提供更嚴格的微粒攔截,建議搭配上游預過濾以維持流量與壽命。