フィルター再生・回収サービス

サービス範囲

PTFEメンブレン／PFA材質フィルターの再生・リサイクルです。ろ過精度 2 nm～0.1 µm、ディスポーザブル型・カートリッジ型のいずれも受け付けます。代表的な活用方法は、高グレードPTFEフィルターのグレードを下げての継続使用、プレフィルターへの転用、直列フィルターとしての追加設置、またはコストに敏感な非PTFEプロセスでの置き換えで、消耗品コストと廃棄コストを直接削減できます。

試験方法 / 規格

4モジュール・9ステップの再生洗浄プロセス（4 Modules / 9 Steps）で、汚染物の種類ごとに段階的に処理します。① 前処理とプレウェット ―― UPWプレ洗浄、IPAプレウェット30分、UPW置換。② 有機物除去 ―― 1% SPMで10分洗浄後、UPWリンス。③ 金属除去 ―― 5%王水蒸気 100 mLで10分処理後、UPWリンス。④ シリカ除去と仕上げ ―― 1% HF + 1% HNO₃で10分処理し、最後にpH／導電率が終点に達するまでUPWで置換。これに3つの自社技術を組み合わせています：ReactoClean（化学反応による汚染物の分解）、PeneClean（低粘度・高拡散性の液体による微細孔への浸透）、SonaClean（外部エネルギーの付与による脱着エネルギー障壁の克服）。

使用機器

再生後の検証にはラボの既存プラットフォームを使用します。誘導結合プラズマ質量分析計（ICP-MS / ICP-QQQ、検出限界 1 ppt）で金属の抽出量を、ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MS）でC12–C30長鎖有機化合物を測定し、不揮発性残渣（NVR）とパーティクルカウントで清浄度を評価します。捕捉性能は金ナノ粒子（GNP 5 nm）チャレンジで検証し、完全性試験装置（自社構築システム、各サイズ・各形状に対応）で構造に損傷がないことを確認します。

サンプル要件

使用済みのPTFE / PFAフィルター。使用していた薬液、使用期間、公称ろ過精度をご提供ください。ろ材はHFと強酸化性酸に耐えるものに限ります。ステンレス部品を含む場合は分岐レシピに切り替えるため、事前にお知らせください。上記の薬液に耐えられないろ材は本プロセスの対象外です。

報告書内容

再生前後を比較した検証報告書：Total metals、NVR、パーティクルカウント、GNP 5 nm捕捉性能に再生プロセスのパラメーター記録を添付し、データのトレーサビリティを確保。

標準納期

フィルターの数量、材質、汚染度に応じて、お見積もり時にご案内します。標準フロー：サンプル評価（材質と耐薬品性の確認）→ お見積もり → 再生プロセス → 清浄度と捕捉性能の検証 → 報告書の提出。現在、無料トライアルのご予約を受け付けています。

規制適合・認証

再生プロセスは工業技術研究院（ITRI）との共同開発で、特許出願中です。再生品の金属清浄度基準は Total metals < 2 µg/device（10"）です。有機物清浄度（NVR）と捕捉性能は当該フィルターの元型番の仕様を受入基準とし、ロットごとに再生前後の比較検証報告書を添付します。

注：実際の耐薬品性および寿命は、薬液濃度、温度、流量、差圧、上流側の汚染負荷、ハウジング設計によって変動します。実際のプロセス条件でのサンプル評価をお勧めします。