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濾心再生與回收

濾心再生與回收

產品編號: filter-reclaim-regeneration-recycle-services|再生服務

提供 PTFE / PFA 濾心再生與精密檢測(Total metals、NVR、顆粒計數),減少耗材成本並提供驗證報告。與工研院技術合作先進濾心驗證與清洗技術。立即預約免費體驗。

  • 提供 PTFE / PFA 濾心再生與回收
  • 精密檢測涵蓋 Total metals、NVR 與顆粒計數
  • 再生後附驗證報告,數據可追溯
  • 有效減少耗材成本
  • 與工研院技術合作先進濾心驗證與清洗技術
  • 提供免費體驗預約
PTFE / PFA 濾心再生與回收
半導體高價濾心耗材降本
再生濾心潔淨度驗證
Total metals / NVR / 顆粒計數檢測
濾心清洗效果確認
服務範圍
PTFE 濾膜 / PFA 材料濾心的再生與回收,精度 2 nm 至 0.1 µm,拋棄式與筒式皆可受理。典型用法:高規 PTFE 濾心降規後續用、改作前置濾心、額外增設串聯濾心,或用於取代價格敏感的非 PTFE 製程,直接降低耗材與廢棄成本。
檢測方法 / 標準
四模組九步驟再生清洗製程(4 Modules / 9 Steps),依污染物類型逐段處理:① 前處理與預潤濕 —— UPW 預洗、IPA 預潤濕 30 分鐘、UPW 置換;② 有機物去除 —— 1% SPM 清洗 10 分鐘後 UPW 沖洗;③ 金屬去除 —— 5% 王水蒸氣 100 mL 處理 10 分鐘後 UPW 沖洗;④ Silica 去除與收尾 —— 1% HF + 1% HNO₃ 處理 10 分鐘,最終 UPW 置換至 pH/導電度到達終點。搭配三項自有技術:ReactoClean(化學反應裂解汙染物)、PeneClean(低黏度高擴散液體深入小孔)、SonaClean(外加能量克服脫附能障)。
使用儀器
再生後的驗證沿用實驗室既有平台:感應耦合電漿質譜(ICP-MS / ICP-QQQ,偵測極限 1 ppt)測金屬萃出;氣相層析質譜(GC-MS)測 C12–C30 長碳鏈有機物;非揮發性殘留物(NVR)與顆粒計數量測潔淨度;濾效以金奈米粒子(GNP 5 nm)挑戰驗證;完整性測試儀(自組系統,各尺寸、各形式適用)確認結構完好。
樣品需求
使用過的 PTFE / PFA 濾心。請提供原使用化學品、使用時間與標稱過濾精度;濾材須耐 HF 與強氧化酸,含不鏽鋼零件者請事先告知,將改採分流 recipe。不耐上述化學品的濾材不適用本製程。
報告內容
再生前後對照的驗證報告:Total metals、NVR、顆粒計數與 GNP 5 nm 濾效,並附再生製程參數紀錄,數據可追溯。
標準交期
依濾心數量、材質與污染程度於報價時確認。標準流程:樣品評估(材質與化學相容性確認)→ 報價 → 再生製程 → 潔淨度與濾效驗證 → 報告交付。目前提供免費體驗預約。
法規與驗證
再生製程與工業技術研究院(ITRI)合作開發,專利申請中。再生品金屬潔淨度基準為 Total metals < 2 µg/device(10");有機潔淨度(NVR)與濾效以該濾心原型號規格為驗收基準,每批附再生前後對照驗證報告。
檢測項目規格值新濾心再生濾心
C12–C30 LHC< 0.5 ppm< 0.5 ppm
NVR (mg/device)183.51.8
23 metals (ng/device)3500330.5353.2
GNP 5 nm retention99.4 %99.3 %

10 nm PTFE 濾心實測,新品與再生品並列對照;規格值欄為 10 nm 品項的潔淨度規格上限。實際數據依濾心型式、原使用化學品與污染程度而異。

註:實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響,建議以實際製程條件進行樣品驗證。

製程定位

這是六項服務裡唯一不是檢測的一項。對象是使用過的 PTFE 濾膜/PFA 材料濾心,拋棄式與筒式皆可受理。再生後的典型用法有四種:高規濾心降規後續用、改作前置濾心、額外增設串聯濾心,或用於取代價格敏感的非 PTFE 製程 —— 耗材成本與廢棄處理成本一起降。

核心特色

再生走的是四模組九步驟的清洗製程,順序不是隨便排的:先做前處理與預潤濕讓清洗液進得去孔道,接著依序處理有機物、金屬、silica 三類汙染 —— 因為它們要用的化學條件互相衝突,混在一起洗等於互相抵消。

每個模組之間都插一段超純水置換回到水相,終點以 pH 與導電度判定。這一步常被低估:不同酸鹼直接接續,殘留的前一段藥液會在濾材裡跟下一段反應,留下新的沉澱物,等於用清洗製造汙染。

再生後的驗收沿用實驗室既有平台,不另外定一套寬鬆標準:金屬萃出以感應耦合電漿質譜(ICP-MS/ICP-QQQ)測定、長碳鏈有機物以氣相層析質譜(GC-MS)測定,另加非揮發性殘留物與顆粒計數,濾效以 5 nm 金奈米粒子挑戰驗證,結構完好與否由完整性測試儀確認。

選型要點

哪些濾心適合送再生,哪些不適合:

情況建議
PTFE 濾膜/PFA 材料、精度落在受理範圍內適用;請提供原使用化學品、使用時間與標稱精度
濾材不耐 HF 與強氧化酸不適用本製程 —— 材質 Gate 過不了,勉強送洗只會毀掉濾心
濾心含不鏽鋼零件可受理,但請事先告知,會改採分流 recipe
只想知道現有濾心還能不能用該送的是濾心濾效測試或潔淨度測試,不是再生

使用與更換

送樣須知:提供使用過的 PTFE/PFA 濾心,並附上原使用化學品、使用時間與標稱過濾精度。流程是樣品評估(材質與化學相容性確認)→ 報價 → 再生製程 → 潔淨度與濾效驗證 → 報告交付;交期依濾心數量、材質與污染程度於報價時確認。目前提供免費體驗預約。

每批都附再生前後對照的驗證報告(實測數據見上方規格表)。先用一小批做免費體驗、拿實際數據回去比對自家的驗收基準,比看規格書決定要不要導入務實得多。
哪些濾心可以再生回收?
本服務針對 PTFE / PFA 材質濾心提供再生與回收。透過先進清洗技術讓濾心恢復可用狀態,協助減少耗材採購與廢棄成本,提升整體使用效益。
再生後如何確認潔淨度?
再生後提供精密檢測,涵蓋 Total metals、NVR 與顆粒計數,並附上驗證報告,讓您在重新上機前掌握濾心潔淨度數據,使用更安心。
清洗與驗證技術來源為何?
本服務與工研院技術合作,導入先進的濾心驗證與清洗技術,確保再生品質與檢測數據的可靠性。目前並提供免費體驗,歡迎立即預約。