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委託測試服務 - 濾心潔淨度測試

委託測試服務 - 濾心潔淨度測試

產品編號: analytical-service-filter-testing-cleanliness-extraction|分析服務

針對半導體與高純度化學製程濾心提供的專業潔淨度分析服務。涵蓋 IPA 浸泡測試 (GC-MS/NVR) 以評估有機析出,以及 HCl 酸萃取測試 (ICP-MS) 以檢測微量金屬溶出。可依據實際應用化學品 (如光阻、酸鹼、溶劑) 進行客製化溶出實驗,提供 PPT 等級的檢測報告,協助排除製程汙染源。

  • IPA 浸泡測試以 GC-MS/NVR 評估有機析出
  • HCl 酸萃取以 ICP-MS 檢測微量金屬溶出
  • 可依光阻、酸鹼、溶劑客製化溶出實驗
  • 提供 PPT 等級的微量檢測報告
  • 專為半導體與高純度化學製程濾心設計
  • 協助精準排除製程汙染源
半導體高純度製程濾心潔淨度查核
有機析出物 (GC-MS/NVR) 評估
微量金屬溶出 (ICP-MS) 檢測
光阻/酸鹼/溶劑客製溶出實驗
製程汙染源排除與確效
服務範圍
濾心潔淨度的量化驗收:一次涵蓋有機溶出、金屬溶出與顆粒落出三個面向,數據以每支濾心(device)為單位輸出,可直接與原廠潔淨度規格或進料驗收基準比對。新品與使用後濾心可並列送測,作為劣化與汙染源排查依據。
檢測方法 / 標準
潔淨度三面向並行:IPA 浸泡測試以 GC-MS 與 NVR 評估有機析出;HCl 酸萃取測試以 ICP-MS 檢測微量金屬溶出;顆粒落出以粒子計數量測。可依光阻、酸鹼、溶劑等實際應用藥液客製化溶出條件,使結果貼近真實製程。
使用儀器
感應耦合電漿質譜(ICP-MS / ICP-QQQ,偵測極限 1 ppt;常見 30 種金屬,並可測矽、硼、硫、磷);氣相層析質譜(GC-MS,偵測極限 1 ppb – 100 ppb);非揮發性殘留物(NVR);微分電移動度分析儀-凝結粒子計數器(DMA-CPC,偵測極限 ≥ 100 particles/mL,視化學品而定)量測顆粒落出。
樣品需求
待測濾心實體;建議未使用(新品)與使用後濾心成對送測以利比較。請註明濾心尺寸與標稱長度(如 10"),報告以 device 為單位換算時需要;並提供實際製程藥液以決定是否客製萃取條件。
報告內容
有機溶出、金屬溶出與顆粒落出三組潔淨度數據,以 µg/device、mg/device、ng/device 等每支濾心單位表示,並附萃取條件與偵測極限;新舊濾心並列時提供對照欄位。
標準交期
依委測項目與樣品數量於報價時確認。標準流程:接收需求 → 接收樣品 → 雙方討論 → 報價 → 案件開始 → 實驗室測試 → 測試報告與結果說明 → 客戶反饋 → 額外檢查與說明 → 結案;樣品於結案後保留一個月再行棄置。
法規與驗證
潔淨度數據以 device 為單位輸出,可直接與濾心原廠規格或進料驗收基準比對。部分延伸項目由自有實驗室與全國各大分析實驗室協同執行,執行單位於報告中揭露。

註:實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響,建議以實際製程條件進行樣品驗證。

製程定位

這一項是濾心潔淨度的量化驗收:進料檢驗要一個可以跟原廠規格對比的數字,或是良率出問題要排查濾心是不是汙染源時,送這一項。一次涵蓋有機溶出、金屬溶出與顆粒落出三個面向 —— 三者缺一,排查就會留下沒查過的死角。

核心特色

三個面向並行執行:異丙醇(IPA)浸泡測試以氣相層析質譜(GC-MS)與非揮發性殘留物(NVR)評估有機析出;鹽酸酸萃取測試以感應耦合電漿質譜(ICP-MS/ICP-QQQ,偵測極限 1 ppt 等級,涵蓋常見 30 種金屬並可測矽、硼、硫、磷)檢測微量金屬;顆粒落出則以微分電移動度分析儀-凝結粒子計數器(DMA-CPC)量測。

數據以每支濾心(device)為單位輸出,而不是只給濃度。這個差別很關鍵:同樣的 ppb 濃度,10" 與 20" 濾心放出來的絕對量差一倍,只看濃度會比錯 —— 換成 device 單位才能直接與原廠潔淨度規格或進料驗收基準對照。

溶出條件可依光阻、酸鹼、溶劑等實際應用藥液客製,讓結果貼近真實製程而不是實驗室的標準條件。

選型要點

與相鄰兩項的差別,在於問的是「乾不乾淨」還是「擋不擋得住」:

服務問的問題輸出單位
濾心潔淨度測試(本項)這支濾心會放出多少東西?以每支濾心(device)為單位
溶出物/析出物檢測這個材料在我的藥液裡會放出「什麼」?各溶出物種的鑑定與定量
濾心濾效測試這支濾心擋得住什麼、能撐多久?截留效率、LRV 與納汙量

使用與更換

送樣須知:提供待測濾心實體,建議未使用的新品與使用後濾心成對送測,比較才有意義。請註明濾心尺寸與標稱長度(例如 10")—— 報告換算成 device 單位時需要這個資訊;並提供實際製程藥液,以決定是否客製萃取條件。交期依委測項目與樣品數量於報價時確認;樣品於結案後保留一個月再行棄置。

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部分延伸項目由自有實驗室與全國各大分析實驗室協同執行,執行單位會在報告中揭露,方便您在內部稽核或供應商稽核時追溯到實際的量測來源。
潔淨度測試包含哪些項目?
包含兩大方向:IPA 浸泡測試以 GC-MS/NVR 評估有機析出物,以及 HCl 酸萃取測試以 ICP-MS 檢測微量金屬溶出,分別涵蓋有機與金屬兩種潔淨度面向。
可以依我的實際藥液客製測試嗎?
可以。本服務能依您實際應用的化學品(如光阻、酸鹼、溶劑)進行客製化溶出實驗,使檢測條件貼近真實製程環境,結果更具參考價值。
報告的偵測等級如何?
提供 PPT (兆分之一) 等級的微量檢測報告,能揭露極微量的金屬與有機析出,協助您在高純度製程中精準排除濾心相關的汙染源。