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奈米級濾心攔截效率測試服務 (Filter Efficiency Challenge Test) - 金奈米/PSL/SiO2 標準粒子驗證

奈米級濾心攔截效率測試服務 (Filter Efficiency Challenge Test) - 金奈米/PSL/SiO2 標準粒子驗證

產品編號: filter-testing-particle-retention-tests|濾效驗證

專業的濾心過濾效能驗證服務。提供 5nm 至 60nm 等級的金奈米粒子 (AuNP)、聚苯乙烯微球 (PSL) 與二氧化矽 (SiO2) 挑戰測試。透過高靈敏度偵測技術,精準計算濾心截留效率 (Retention Efficiency) 與 Log Reduction Value (LRV),協助半導體與濾材廠定義真實過濾等級。

  • 提供 5nm 至 60nm 等級金奈米粒子 (AuNP) 挑戰測試
  • 支援聚苯乙烯微球 (PSL) 與二氧化矽 (SiO2) 標準粒子
  • 高靈敏度偵測技術精準量化上下游粒子濃度
  • 計算截留效率 (Retention Efficiency) 與 LRV
  • 協助定義濾心真實過濾等級而非標稱值
  • 適用半導體與濾材廠的客觀第三方驗證
半導體濕製程濾心過濾等級驗證
濾材廠新品開發與規格確認
奈米級截留效率與 LRV 比對
金奈米/PSL/SiO2 挑戰測試委託
超純水與化學品濾心效能查核
服務範圍
奈米粒徑段的截留效率驗證:以 5 nm 至 60 nm 等級的金奈米粒子(AuNP)、聚苯乙烯微球(PSL)與二氧化矽(SiO₂)標準粒子挑戰濾心,界定其真實過濾等級而非標稱值。主要服務半導體濕製程使用單位的選型查核,以及濾材廠新品開發的第三方效能數據。
檢測方法 / 標準
標準粒子挑戰法。於客戶指定的化學基質與流量下通入標準粒子,濾心上下游各取三瓶取樣,計算截留效率(Retention Efficiency)與 Log Reduction Value(LRV),並一併報出平均值與標準差。挑戰濃度依製程條件約定(自有實測案例為通入系統金離子濃度 500 ppt)。未指定測試標準時,依實際製程條件設計測試矩陣。
使用儀器
微分電移動度分析儀-凝結粒子計數器(DMA-CPC,偵測極限 ≥ 100 particles/mL,視化學品而定;可用溶劑 UPW / IPA / OK73 及其他);金奈米粒子以感應耦合電漿質譜(ICP-MS / ICP-QQQ,偵測極限 1 ppt)定量上下游金濃度。
樣品需求
待測濾心本體,拋棄式或筒式皆可。請一併提供標稱過濾精度、實際使用的製程化學品與目標流量,作為挑戰粒子種類、粒徑與測試條件的選擇依據。
報告內容
上下游粒子(或金離子)濃度、截留效率百分比與 LRV,含三重複取樣的平均值與標準差,以及挑戰粒子規格、化學基質、流量等完整測試條件。
標準交期
依委測項目與樣品數量於報價時確認。標準流程:接收需求 → 接收樣品 → 雙方討論 → 報價 → 案件開始 → 實驗室測試 → 測試報告與結果說明 → 客戶反饋 → 額外檢查與說明 → 結案;樣品於結案後保留一個月再行棄置。
法規與驗證
本服務以客戶指定或雙方確認的製程條件執行;報告完整揭露挑戰粒子種類與粒徑、化學基質、流量與取樣方式,數據可追溯。

註:實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響,建議以實際製程條件進行樣品驗證。

製程定位

什麼時候需要送這一項:手上的濾心標稱精度與實際製程表現對不上、要導入新供應商但只拿得到型錄數字、或是濾材廠開發新品需要客觀的第三方效能數據。這項服務只回答一個問題 —— 在奈米粒徑段,這支濾心到底攔得住多少。

核心特色

挑戰粒子有三類:金奈米粒子(AuNP)、聚苯乙烯微球(PSL)與二氧化矽(SiO₂),粒徑落在 5 nm 至 60 nm 等級。粒徑選擇依濾心的標稱精度與目標製程決定,而不是拿一個固定條件套所有案子。

測試在客戶指定的化學基質與流量下進行,不用純水代打 —— 同一支濾心在超純水與在製程藥液裡的表現本來就不一樣。上下游各取三瓶取樣,報告同時給平均值與標準差;奈米段的單點數據可信度不足,這是刻意的設計。

量測用微分電移動度分析儀-凝結粒子計數器(DMA-CPC);金奈米粒子則以感應耦合電漿質譜(ICP-MS/ICP-QQQ,偵測極限 1 ppt 等級)定量上下游的金濃度。

選型要點

這四項最常被客戶混為一談,分工其實很清楚:

服務回答的問題對象
奈米級攔截效率測試(本項)在奈米粒徑段攔得住多少?待測濾心本體
濾心濾效測試截留、完整性、流量、納汙量全套表現如何?同型號新品或使用過的濾心
濾心潔淨度測試這支濾心自己會放出多少東西?新舊濾心(建議成對)
溶出物/析出物檢測這個材料在我的藥液裡會放出什麼?濾心、管材、包材等製程元件

使用與更換

送樣須知:提供待測濾心本體,拋棄式或筒式皆可。請一併說明標稱過濾精度、實際使用的製程化學品與目標流量 —— 這三項是挑戰粒子種類、粒徑與測試條件的選擇依據,缺一項就只能用假設條件測。交期依委測項目與樣品數量於報價時確認;樣品於結案後保留一個月再行棄置。

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報告會完整揭露挑戰粒子的種類與粒徑、化學基質、流量與取樣方式。條件揭露完整,數據才能被追溯與複現 —— 一份只寫「截留率 99.9%」而沒有條件的報告,在跨供應商比較時等於沒有數據。
可以測試哪些挑戰粒子?
本服務提供 5nm 至 60nm 等級的金奈米粒子 (AuNP)、聚苯乙烯微球 (PSL) 與二氧化矽 (SiO2) 三大類標準粒子。可依您的濾心標稱孔徑與目標製程選擇合適粒徑,以對應真實的攔截需求。
報告會提供哪些數據?
報告以高靈敏度偵測技術量測濾心上下游粒子濃度,計算出截留效率 (Retention Efficiency) 與 Log Reduction Value (LRV),協助您客觀判斷濾心真實過濾等級,作為規格定義與選型依據。
這項測試適合哪些客戶?
主要服務半導體濕製程使用單位與濾材製造廠。半導體廠可驗證濾心是否符合製程要求,濾材廠則可用於新品開發與規格確認,取得客觀的第三方效能數據。