受託試験サービス - フィルター清浄度試験

サービス範囲

フィルター清浄度の定量的な受入評価です。有機物溶出、金属溶出、パーティクル脱落の3つの観点を一括で評価し、データはフィルター1本（device）あたりの単位で出力するため、メーカーの清浄度仕様や受入検査基準と直接比較できます。新品と使用後のフィルターを並べて試験することもでき、劣化や汚染源の調査に役立ちます。

試験方法 / 規格

清浄度の3つの観点を並行して評価。IPA浸漬試験ではGC-MSとNVRで有機物の溶出を、HCl酸抽出試験ではICP-MSで微量金属の溶出を評価し、パーティクル脱落はパーティクルカウントで測定します。フォトレジスト、酸・アルカリ、溶剤など実際に使用する薬液に合わせて溶出条件をカスタマイズでき、実プロセスに近い結果が得られます。

使用機器

誘導結合プラズマ質量分析計（ICP-MS / ICP-QQQ、検出限界 1 ppt、一般的な30種の金属に加えケイ素・ホウ素・硫黄・リンも測定可能）。ガスクロマトグラフ質量分析計（GC-MS、検出限界 1 ppb – 100 ppb）。不揮発性残渣（NVR）。パーティクル脱落は微分型電気移動度分析器－凝縮粒子カウンター（DMA-CPC、検出限界 ≥ 100 particles/mL・薬液により異なる）で測定。

サンプル要件

試験対象のフィルター現物。比較しやすいよう、未使用品（新品）と使用後のフィルターをペアでご提出いただくことをお勧めします。報告書でdevice単位に換算する際に必要となるため、フィルターのサイズと公称長さ（例：10"）をご記入ください。また、抽出条件をカスタマイズするかどうかを判断するため、実際のプロセス薬液の情報もご提供ください。

報告書内容

有機物溶出、金属溶出、パーティクル脱落の3種類の清浄度データを、µg/device、mg/device、ng/deviceなどフィルター1本あたりの単位で表示し、抽出条件と検出限界を添付します。新品と使用済みのフィルターを並べて試験する場合は対照欄を設けます。

標準納期

試験項目とサンプル数に応じて、お見積もり時にご案内します。標準フロー：ご要望の受付 → サンプル受領 → 双方での協議 → お見積もり → 案件開始 → ラボ試験 → 試験報告書と結果説明 → お客様からのフィードバック → 追加確認と説明 → 完了。サンプルは完了後1か月間保管した後に廃棄します。

規制適合・認証

清浄度データはdevice単位で出力するため、フィルターメーカーの仕様や受入検査基準と直接比較できます。一部の追加項目は、自社ラボと台湾各地の主要分析ラボが共同で実施し、実施機関は報告書に明記します。

注：実際の耐薬品性および寿命は、薬液濃度、温度、流量、差圧、上流側の汚染負荷、ハウジング設計によって変動します。実際のプロセス条件でのサンプル評価をお勧めします。