プロセス上の位置づけ
本シリーズは2種類のハウジングで構成されます。液体配管に取り付けるシングルカートリッジ用フィルターハウジングと、タンク上部の通気口に取り付けるベントブリーザーです。いずれもSUS316Lに高純度PFAをライニングし、PFA製ガスケット、ヘルール(Tri-Clamp)接続を備えます。接液面はすべてフッ素樹脂で、外殻はステンレス鋼の機械的強度を保っています。
フィルターハウジングは薬液移送や製薬プロセスの液体配管に取り付けます。ベントブリーザーが扱うのはタンクの「呼吸」です。タンク内の液面が上下すると通気口から空気が出入りし、ろ過しなければ外気中の微粒子もタンク内に入り込みます。半導体の薬液供給システム(CDS)、ウェットプロセスの超純流体、ディスプレイ(FPD)・太陽電池のウェットプロセス、製薬プロセスに適しています。
主な特長
- 内側はPFA、外殻はステンレス:SUS316Lに高純度PFAをライニングし、ハウジングの接液面はすべてフッ素樹脂です。ガスケットもPFA製です。
- ヘルール接続:入口・出口はヘルール(Tri-Clamp)で、製薬や薬液タンクで一般的なサニタリー配管にそのまま接続できます。
- 2つの用途、同じ材質:フィルターハウジングは5"・10"・20"のカートリッジ1本、ベントブリーザーは5"に対応し、両者は同じ材質構成のため、予備品や点検方法を共通化できます。
- 使用範囲:酸・アルカリ、各種薬液、蒸気に耐え、-30 ~ +150 °C、真空 ~ 1.0 MPa(20 °C)。PFA原料は清浄度の要求に応じて、国際的な大手ブランドの超高純度グレード、またはコストパフォーマンスに優れた高純度グレードを指定でき、材質証明書を提供できます。
選定のポイント
当サイトには接液面がフッ素樹脂のハウジングが2種類あり、違いは本体の構造と接続方式です。
| 比較項目 | 本製品(JY-HSC2) | オールPFAハウジング(JY-HSC1) |
|---|---|---|
| 本体 | SUS316Lに高純度PFAをライニング | 全体が射出成形PFA |
| 接続 | ヘルール(Tri-Clamp) | 半導体向けフッ素樹脂継手 |
| 適した用途 | 製薬プロセス、薬液タンク・移送配管 | 半導体ウェットプロセスの薬液・超純水配管 |
| 選ぶ理由 | 金属外殻の機械的強度とサニタリー接続が必要 | 本体にも金属を使いたくない |
オールPFA版についてはPFA製高純度オールフッ素樹脂フィルターハウジングをご覧ください。カートリッジは別売で、本ハウジングのカートリッジ接続形状はお見積もり依頼時にご確認ください。液体ろ過には、薬液とろ過精度に応じて材質を選んだ浚淵科技のカートリッジを組み合わせられます(材質選定の考え方は薬液に応じたフィルター材質の選定ガイドを参照)。ベントブリーザーには通常、疎水性PTFEプリーツカートリッジを組み合わせます。疎水性メンブレンは気体を通しながら、液体や結露水で濡れて目詰まりすることがありません。
使用と交換
ハウジングの設計圧力は本体が耐えられる圧力であり、カートリッジの耐差圧ではありません。カートリッジには独自の耐差圧と耐熱温度があり、ハウジングより低いことも多いため、全体の使用条件は両者のうち低いほうに合わせます。
カートリッジ交換時は、まず圧力を抜いて排液し、それからクランプを外してハウジングを開けます。PFA製ガスケットに圧痕や変形がないかを確認し、変形したガスケットは再使用せずに交換してください。組み戻す際はガスケットを中心に合わせ、クランプを均等に締め付けます。ベントブリーザーはタンク上部にあるため、液はねでカートリッジが濡れていないかを定期的に確認してください。疎水性カートリッジが液体で目詰まりすると、タンクの吸排気が妨げられます。


