製程定位
這個系列是兩種殼體:裝在液體管路上的單芯濾殼,與裝在儲槽頂部通氣口的呼吸器。兩者都是 316L 不鏽鋼內襯高純 PFA、PFA 墊片、卡盤(Tri-Clamp)接口,接液面全氟,外殼保有不鏽鋼的機械強度。
濾殼裝在化學品輸送或製藥製程的液體管路上;呼吸器處理的是儲槽的「呼吸」—— 槽內液位升降時,空氣會從通氣口進出,沒有過濾的話,外部空氣裡的微粒就跟著進到槽裡。適用於半導體化學品供應系統(CDS)、濕製程超純流體、面板與太陽能濕製程,以及製藥製程。
核心特色
- 內襯 PFA、外殼不鏽鋼:316L 不鏽鋼內襯高純 PFA,殼體接液面全氟;墊片為 PFA,密封件也是氟樹脂。
- 卡盤接口:進出口為卡盤(Tri-Clamp),可以直接接上製藥與化學品儲槽常用的衛生級管路。
- 兩種用途、同一材質:濾殼對應 5"、10"、20" 單芯濾心,呼吸器為 5";兩者同材質,備品與檢查方式可以一致。
- 耐受範圍:耐酸鹼、耐化學品、耐蒸汽,-30 ~ +150 °C,真空 ~ 1.0 MPa(20 °C)。PFA 原料可依潔淨度需求,指定國際一線品牌超純等級,或高性價比的高純等級;可提供材質證明。
選型要點
站上有兩種全氟接液的濾殼,差別在殼體做法與接口:
| 比較項目 | 本款(JY-HSC2) | 全 PFA 濾殼(JY-HSC1) |
|---|---|---|
| 殼體 | 316L 不鏽鋼內襯高純 PFA | 整支射出成形 PFA |
| 接口 | 卡盤(Tri-Clamp) | 半導體全氟接頭 |
| 適合場合 | 製藥製程、化學品儲槽與輸送管路 | 半導體濕製程藥液與超純水管路 |
| 選它的理由 | 需要金屬外殼的機械強度與衛生級接口 | 殼體本身也不要有金屬 |
全 PFA 濾殼請見PFA 高純度全氟過濾器濾殼。濾心需另購,濾殼的濾心接口型式請在詢價時確認。液體過濾可搭配浚淵的濾心,依藥液與精度需求選材(選材觀念見化學品濾心材質相容性指南);呼吸器一般搭配疏水性 PTFE 摺疊濾心,疏水膜讓氣體通過,又不會被液體或冷凝水潤濕堵住。
使用與更換
濾殼的設計壓力是殼體能承受的壓力,不是濾心的耐壓差。濾心有自己的耐壓差與耐溫上限,常常比殼體低,整套的操作條件要以兩者中較低的為準。
更換濾心時先洩壓、排空,再拆卡盤夾開殼;檢查 PFA 墊片有無壓痕或變形,變形的墊片要換新,不要重複使用。裝回時墊片置中、卡盤夾平均鎖緊。呼吸器裝在儲槽頂部,要定期確認濾心沒有被液體噴濺潤濕 —— 疏水濾心一旦被液體堵住,槽體進排氣就會受阻。


