製程定位
這支全 PFA 濾殼裝在半導體濕製程的藥液管路與超純水管路上,收單支通用規格的 222 平頭濾心。它要解決的問題是不鏽鋼濾殼解決不了的:接液面只要有金屬,金屬析出就是製程的背景值,先進節點吃不下這個背景。
核心特色
本體是射出成形的 PFA,內壁沒有焊道也沒有死角,所以根本不需要機械拋光 —— 不鏽鋼濾殼要靠拋光把表面積壓下來,PFA 從成形那一刻就沒有這個問題。接液流道只看得到 PFA 與 O-ring,鎖緊環、聯結螺母與 8 支緊固螺栓全部在流道之外。
鎖環式防呆開合是操作面的設計:濾心先鎖進筒體,之後筒體與濾心整組拆裝。換心的人不會碰到濾心本體,也不可能把濾心裝反 —— 少了「接觸」與「裝錯」這兩個變因,換心造成的微污染跟著少一大截。
選型要點
站上兩支濾殼服務的是完全不同的兩件事:
| 項目 | PFA 全氟單芯濾殼(本款) | 不鏽鋼多濾袋式過濾器 |
|---|---|---|
| 本體材質 | 射出成形 PFA,接液面無金屬 | 304 或 316L 不鏽鋼 |
| 容納量 | 單支濾心,5" / 10" / 20" / 30" | 2 ~ 24 只濾袋(1 號或 2 號) |
| 接口 | 1" 或 3/4",半導體通用全氟接頭 | DN80 ~ DN250 法蘭 |
| 設計壓力/溫度 | 0.75 MPa @ 25 °C/100 °C | 1.0 MPa/150 °C |
| 選它的時機 | 高純度藥液與超純水,金屬潔淨度優先 | 大流量連續過濾,換耗材速度優先 |
使用與更換
換心時筒體與濾心一起拆下,接液面不會在現場被打開。222 平頭接口可以搭配通用規格濾心,不必綁單一型號。O-ring 有兩種氟系彈性體可選,強氧化性或高溫藥液請於詢價時說明實際化學品。頂部排氣口與底部排液口的接頭型式與進出口同系。


