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PFA 高純度全氟過濾器濾殼

PFA 高純度全氟過濾器濾殼

產品編號: pfa-filter-housing-fool-proof-lock|PFA

專為半導體先進製程設計的全 PFA 高純度濾殼。接液件全為全氟材質,達 PPT(兆分之一)等級潔淨度,金屬離子與有機物溶出極低。防呆鎖定結構讓濾心與筒體一體拆裝,換心時濾心不離開筒體,達成「零接觸」更換,大幅降低人員接觸化學品的風險與換心過程的微污染。筒體結構緊湊,可有效節省機台配置空間。

  • AfsLock PFA 濾殼,專為半導體先進製程設計
  • PPT (Parts Per Trillion) 等級潔淨度
  • 專利防呆鎖定設計
  • 濾心與筒體一體化拆裝,實現零接觸濾心更換
  • 降低化學品接觸風險與微汙染,並節省機台空間
容納濾心數 × 長度
單支濾心,5" / 10" / 20" / 30" 四種長度
設計壓力
0.75 MPa(108 psi)@ 25 °C
設計溫度
100 °C (212 °F)
進出口口徑與型式
進出口 1" 或 3/4"
半導體先進製程化學品過濾
高潔淨度濕製程
零接觸濾心更換作業
機台空間受限的安裝
本體材質
上蓋(底座)與筒體皆為射出成形 PFA;筒體外徑 Ø135 mm
接液件材質
接液流道只接觸 PFA 與 O-ring 彈性體。鎖緊環(PVDF / PP / ECTFE)、聯結螺母(PVDF 或 PFA 包覆)與 8 支 M8 緊固螺栓全部位於流道之外,屬非接液件
密封件 / O-ring
殼體 O-ring 為 E-FKM 或 FFKM;濾心以 2 道 222 型 O-ring 對接
容納濾心數 × 長度
單支濾心,5" / 10" / 20" / 30" 四種長度;222 平頭接口,可搭配通用規格濾心
進出口口徑與型式
進出口 1" 或 3/4";接頭型式可選喇叭型面密封(Flaretek)、Super Pillar 或 S300 三種半導體通用規格
開合方式
鎖環式防呆開合:濾心先鎖進筒體,筒體與濾心整組拆裝,更換時人員不會接觸到濾心本體,也不會誤裝反向;上蓋由 8 支 M8 螺栓與聯結螺母鎖固
設計壓力
0.75 MPa(108 psi)@ 25 °C;0.3 MPa(43 psi)@ 100 °C
設計溫度
100 °C (212 °F)
表面處理
本體為射出成形 PFA,內壁沒有焊道與死角,不需要機械拋光;出廠前以超純水沖洗,金屬析出量以 ppt 等級管控
排氣 / 排液口
頂部排氣口與底部排液口各一,1/2" 或 1/4",接頭型式與進出口同系
法規與驗證
接液面完全不含金屬,適用於高純度化學品與超純水管路;可提供材質證明與金屬萃出物報告供製程驗證

註:實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響,建議以實際製程條件進行樣品驗證。

料號範例
JY
-HSC1
-10
-F10
-KN
JY
浚淵科技
HSC1
射出成形全 PFA 本體、鎖環式防呆開合,接液面無金屬
10
單支 10" 濾心(222 平頭接口)
F10
1" Flaretek
KN
FFKM O-ring|射出成形不拋光
逐段可選規格
01

容納量

代碼規格
05單支 5" 濾心
10單支 10" 濾心
20單支 20" 濾心
30單支 30" 濾心
02

進出口

代碼規格
F073/4" 喇叭型面密封(flare)
F101" 喇叭型面密封(flare)
P073/4" Super Pillar
P101" Super Pillar
S073/4" S300
S101" S300
03

O-ring 材質

代碼規格
XE-FKM(高純度氟橡膠)
KFFKM 全氟橡膠
04

表面處理

代碼規格
N射出成形,不需拋光

濾殼與濾心分開下單。選型前請確認濾心端蓋型式與濾殼接口相容。

05

排氣/排液口(選配段)

代碼規格
V21/2"
V41/4"

頂部排氣口與底部排液口各一,接頭型式與進出口同系,不另標示型式。此段接在表面處理之後,例:JY-HSC1-10-F10-KN-V2。規格表的尺寸表只列有公佈外形尺寸的接頭組合,未列出的組合為訂製交期。

並非所有組合皆為常備品,罕見組合為訂製交期。下單前請與浚淵業務確認。

多芯濾殼
多芯濾殼圖示為代表型號,實際外徑與長度以下方尺寸表為準。
進 / 出口排氣 / 排液口A (5")A (10")A (20")A (30")B
1" Flaretek1/2" Flaretek351 mm481 mm710 mm957 mm202 mm
1" Flaretek1/4" Flaretek351 mm481 mm710 mm957 mm202 mm
3/4" Flaretek1/2" Flaretek351 mm481 mm710 mm957 mm192 mm
3/4" Flaretek1/4" Flaretek351 mm481 mm710 mm957 mm192 mm
1" S3001/2" S300328 mm458 mm687 mm934 mm182 mm
3/4" S3001/2" S300435 mm677 mm170 mm
3/4" Super Pillar1/2" Super Pillar351 mm481 mm710 mm957 mm180 mm

A = 含接頭的總長,依濾心長度而異;B = 兩個進出口接頭的外緣跨距。筒體外徑 Ø135 mm,上蓋以 8 支 M8 螺栓鎖固。「—」表示該接頭配置不提供此長度。

化學品PTFEFKM / Viton
— 酸 —
冰醋酸RNR
濃鹽酸RNR
鹽酸 6NRR
濃硝酸RR
硝酸 6NRR
濃磷酸RR
濃硫酸RR
氫氟酸 6NR
— 鹼 —
氫氧化銨 1NRR
氫氧化銨 3NRLR
氫氧化鉀 3NRR
氫氧化鈉 3NRR
氫氧化鈉 6NRR
— 醇類 —
戊醇RR
苯甲醇RR
丁醇RLR
異丙醇(IPA)RR
甲醇RNR
— 酮類 —
丙酮RNR
環己酮RNR
甲基乙基酮(MEK)RNR
甲基異丁基酮(MIBK)RNR
— 油類 —
棉籽油RR
潤滑油RR
花生油RR
芝麻油RR
— 芳香烴 —
RR
甲苯RR
二甲苯RR
— 鹵代烴 —
四氯化碳RR
三氯甲烷RR
二氯乙烷RLR
氟利昂 TFRR
氟利昂 TMCRLR
二氯甲烷RLR
全氯乙烯RR
三氯乙烯RR
— 二醇類 —
乙二醇RR
甘油RR
丙二醇RR
— 醚類 —
乙醚RNR
異丙醚RNR
二噁烷RNR
四氫呋喃(THF)RNR
— 酯類 —
醋酸戊酯RNR
醋酸丁酯RR
醋酸溶纖劑酯RNR
醋酸乙酯RR
醋酸甲酯RR
醋酸異丙酯RNR
— 其他 —
苯胺RR
二甲基甲醯胺(DMF)RNR
甲醛 37%RNR
汽油LRR
己烷(無水)LRR
煤油RR
苯酚RR
吡啶RNR
RR
乙腈RNR
  • R = 可耐受
  • LR = 有限度耐受,建議實測
  • NR = 不可耐受
  • — = 無資料

本表為材質層級的通則性建議,非保證值。實際濃度、溫度、暴露時間與機械應力都會影響結果,導入前請以實際製程條件送樣驗證。

製程定位

這支全 PFA 濾殼裝在半導體濕製程的藥液管路與超純水管路上,收單支通用規格的 222 平頭濾心。它要解決的問題是不鏽鋼濾殼解決不了的:接液面只要有金屬,金屬析出就是製程的背景值,先進節點吃不下這個背景。

核心特色

本體是射出成形的 PFA,內壁沒有焊道也沒有死角,所以根本不需要機械拋光 —— 不鏽鋼濾殼要靠拋光把表面積壓下來,PFA 從成形那一刻就沒有這個問題。接液流道只看得到 PFA 與 O-ring,鎖緊環、聯結螺母與 8 支緊固螺栓全部在流道之外。

鎖環式防呆開合是操作面的設計:濾心先鎖進筒體,之後筒體與濾心整組拆裝。換心的人不會碰到濾心本體,也不可能把濾心裝反 —— 少了「接觸」與「裝錯」這兩個變因,換心造成的微污染跟著少一大截。

選型要點

站上兩支濾殼服務的是完全不同的兩件事:

項目PFA 全氟單芯濾殼(本款)不鏽鋼多濾袋式過濾器
本體材質射出成形 PFA,接液面無金屬304 或 316L 不鏽鋼
容納量單支濾心,5" / 10" / 20" / 30"2 ~ 24 只濾袋(1 號或 2 號)
接口1" 或 3/4",半導體通用全氟接頭DN80 ~ DN250 法蘭
設計壓力/溫度0.75 MPa @ 25 °C/100 °C1.0 MPa/150 °C
選它的時機高純度藥液與超純水,金屬潔淨度優先大流量連續過濾,換耗材速度優先

使用與更換

換心時筒體與濾心一起拆下,接液面不會在現場被打開。222 平頭接口可以搭配通用規格濾心,不必綁單一型號。O-ring 有兩種氟系彈性體可選,強氧化性或高溫藥液請於詢價時說明實際化學品。頂部排氣口與底部排液口的接頭型式與進出口同系。

!
塑膠殼體的耐壓會隨溫度大幅降額。常溫的設計壓力到了 100 °C 只剩不到一半,熱藥液或熱超純水沖洗的管路必須以高溫那一組數字重新驗算,不能拿常溫值放行。
什麼是「零接觸」濾心更換?
專利鎖定設計允許濾心與筒體一體化拆裝,更換時操作人員無需直接接觸濾心,大幅降低化學品接觸風險與微汙染。
為何適合半導體先進製程?
採用 PFA 材質並具備 PPT (Parts Per Trillion) 等級潔淨度,能維持製程化學品的極致純淨,是半導體先進製程的理想濾殼。
對機台空間有幫助嗎?
有。一體化拆裝的防呆鎖定設計簡化更換流程並節省寶貴的機台空間,適合空間受限的安裝環境。