專為半導體先進製程設計的 AfsLock PFA 濾殼。具備 PPT (Parts Per Trillion) 等級潔淨度與專利鎖定設計,允許濾心與筒體一體化拆裝,實現「零接觸」濾心更換。大幅降低化學品接觸風險與微汙染,同時節省寶貴的機台空間。