プロセス上の位置づけ
このオールPFAハウジングは、半導体ウェットプロセスの薬液配管や超純水配管に設置し、汎用規格の222フラットカートリッジを1本装着します。ステンレス製ハウジングでは解決できない課題に応えるための製品です。接液面にわずかでも金属があれば、その金属溶出がプロセスのバックグラウンド値となり、先端ノードではそのバックグラウンドを許容できません。
主な特長
本体は射出成形のPFAで、内壁に溶接ビードもデッドスペースもないため、機械研磨はそもそも必要ありません。ステンレス製ハウジングは研磨によって表面積を抑える必要がありますが、PFAは成形した時点からこの問題がありません。接液流路に露出するのはPFAとOリングだけで、ロックリング、ユニオンナット、8本の締結ボルトはすべて流路の外にあります。
ロックリング式の誤装着防止開閉機構は、操作性を考えた設計です。まずカートリッジをボウルにロックし、以降はボウルとカートリッジを一体で着脱します。交換作業者がカートリッジ本体に触れることはなく、カートリッジを逆向きに装着することもありません。「接触」と「誤装着」という2つの変動要因がなくなることで、交換に起因する微小汚染も大きく減少します。
選定のポイント
当サイトの2種類のハウジングは、まったく異なる用途を担っています。
| 項目 | PFAオールフッ素樹脂シングルカートリッジハウジング（本製品） | ステンレス製マルチバッグハウジング |
|---|---|---|
| 本体材質 | 射出成形PFA、接液面に金属なし | ステンレス鋼（SUS304またはSUS316L） |
| 装着数 | カートリッジ1本、5" / 10" / 20" / 30" | フィルターバッグ2～24枚（1号または2号） |
| 接続形状 | 1" または 3/4"、半導体汎用フッ素樹脂継手 | DN80～DN250フランジ |
| 設計圧力／温度 | 0.75 MPa @ 25 °C／100 °C | 1.0 MPa／150 °C |
| 選ぶべきケース | 高純度薬液と超純水、金属清浄度を最優先 | 大流量の連続ろ過、消耗品の交換スピードを優先 |
使用と交換
交換時はボウルとカートリッジを一緒に取り外すため、現場で接液面が開放されることはありません。222フラット接続は汎用規格のカートリッジと組み合わせられるため、特定の型番に縛られません。Oリングは2種類のフッ素系エラストマーから選択できます。強酸化性または高温の薬液でご使用の場合は、お見積もり依頼時に実際の薬品名をお知らせください。上部のベント口と下部のドレン口の継手形状は、入口・出口と同系列です。
樹脂製ハウジングの耐圧は、温度上昇に伴い大きく低下します。常温での設計圧力は100 °Cでは半分以下になります。熱薬液や熱超純水でフラッシングする配管は、高温時の数値で改めて検証する必要があり、常温の数値で使用可と判断してはいけません。