プロセス上の位置づけ
一般的なストレート形ダイヤフラムバルブは配管の途中に取り付け、前後とも配管につながります。本シリーズの2種類のバルブが対象とするのは、配管上の扱いにくい2か所、つまり分岐点とタンクの底部です。これらを「T字継手（チーズ）＋短管＋ストレート形バルブ」で組むと、継手とバルブの間の短管が流れの届かないデッドレッグになります。薬液がそこに滞留し、洗浄しても流しきれず、薬液の切り替え時には次のロットに混入します。
T型バルブはT字継手そのものにバルブを一体化したもので、主管 × 分岐はDN25 × DN40とDN25 × DN25の2種類です。タンク底弁はタンク底部の開口に取り付けるDN50のバルブで、タンクとバルブの間のデッドレッグをできるだけ短くするためのものです。いずれも接液面は高純度PFAで、半導体工場の薬液供給システム（CDS）、ウェットプロセスの超純流体配管、ディスプレイ（FPD）・太陽電池のウェットプロセスライン、さらにBPE規格に準拠して設計された製薬配管に使用されます。
主な特長
- バルブと分岐の一体化：T型バルブはT字継手とバルブの間の短管をなくすため、分岐点のデッドレッグも短くなります。これが「ストレート形バルブ＋T字継手」との根本的な違いです。
- PTFE／EPDM複合ダイヤフラム：PTFE面が流体に接し、裏側のEPDMが復元力を担います。ダイヤフラムが流体と上部の操作部を隔てるため、ステムやねじ部が流体に触れることはありません。
- 内側はPFA、外側は金属：流路は高純度PFAライニングで、接液面はすべてフッ素樹脂です。外層のSUS316L（T型はSUS316L／PES）が配管荷重を受け持ち、手動操作部はSUS316L鋳造品です。
- 使用範囲：酸・アルカリ、各種薬液、蒸気に耐え、-30 ～ +150 °C、真空 ～ 1.0 MPa（20 °C）。PFA原料は清浄度の要求に応じて、国際的な大手ブランドの超高純度グレード、またはコストパフォーマンスに優れた高純度グレードを指定でき、材質証明書を提供できます。
選定のポイント
まず取り付け位置を確認し、それから形式を選びます。
| 取り付け位置 | 推奨形式 | 呼び径・接続 |
|---|---|---|
| 配管の分岐点（取り出し、分流、戻りライン） | T型（JY-VLC5T） | DN25 × DN40、DN25 × DN25；ヘルール |
| タンク底部の排液・払い出し | タンク底弁（JY-VLC5B） | DN50；ヘルールまたはフランジ |
| 一般的な直管部 | ストレート形ヘルールダイヤフラムバルブ | PFAライニング・ヘルール式ダイヤフラムバルブ（空気作動式もあり） |
T型の呼び径は「主管 × 分岐」で表記します。DN25 × DN40は主管DN25、分岐DN40を意味します。主管と分岐を取り違えると取り付けられないため、ご発注前に配管図で向きをご確認ください。本シリーズは手動式のみです。自動制御が必要な箇所では、直管部にはノーマルオープン／ノーマルクローズの空気作動式があるヘルール式ダイヤフラムバルブを使用できます。T型やタンク底弁の自動化については、事前に営業担当までご相談ください。
使用と交換
ヘルール接続のシールはガスケットとクランプで成り立ちます。取り付け時はガスケットのサイズがヘルール規格に合っていること、ガスケットが中心からずれていないことを確認し、クランプは均等な力で締め付けてください。締め付けすぎるとガスケットが流路側へはみ出し、かえって新たなくぼみができます。タンク底弁をフランジ仕様で選ぶ場合は、フランジ規格をタンク底部のノズルに合わせる必要があるため、お見積もり依頼時にあわせてお知らせください。
ダイヤフラムはこの種のバルブの主な消耗部品です。漏れの有無、ハンドルが重くなっていないか、完全に閉まるかを定期的に点検してください。ダイヤフラムを交換する前には、残液に作業者が触れないよう、バルブ内を排液してフラッシングします。温度が高いほどPFAライニングとダイヤフラムが耐えられる圧力は下がるため、高温かつ高圧の条件では事前に営業担当までご確認ください。