受託試験サービス－フィルター捕捉性能試験

サービス範囲

フィルター性能の総合評価プラットフォームです。捕捉効率、完全性、流量、汚れ保持容量を一括で評価します。高単分散性の標準粒子で半導体グレードのフィルターにチャレンジし、7nm / 5nm / 3nmノードで求められる微粒子管理に対応して、フィルターの仕様と交換周期を精密に定義するお手伝いをします。新品・使用済みいずれのフィルターも試験可能です。

試験方法 / 規格

粒子チャレンジ法とフィルター性能試験の組み合わせ。SiO₂（50 / 100 nm）、Gold（5 / 10 / 20 / 30 nm）、Fe₂O₃（15 nm）の標準粒子でチャレンジして捕捉効率とLRVを算出し、さらに完全性試験、流量試験、汚れ保持容量（Loading Capacity）で寿命特性を評価します。孔径分布と細孔形態も、公称ろ過精度と同時に比較できます。

使用機器

微分型電気移動度分析器－凝縮粒子カウンター（DMA-CPC）と誘導結合プラズマ質量分析計（ICP-MS / ICP-QQQ）による上流側・下流側の粒子濃度測定。完全性試験装置（自社構築システム、各サイズ・各形状に対応、空気圧は30 psi標準またはお客様のご要望に応じて設定）。細孔径分布測定装置（Porometer、孔径 2 nm ~ 500 µm、毛細管流動法または液－液置換法）。電子顕微鏡（SEM、分解能 < 2 nm、表面・断面いずれの画像も撮影可能）。

サンプル要件

同一型番のフィルター（新品・使用済みいずれも可）。汚れ保持容量を評価する場合は、同一ロットのフィルターを別途ご用意いただくことをお勧めします。公称ろ過精度、エンドキャップ形状、使用流量範囲をご提供いただき、実際に接触するプロセス薬液もご記入ください。

報告書内容

捕捉効率とLRV、完全性試験結果、流量－差圧データ、汚れ保持容量評価をまとめた総合報告書。裏付けとして孔径分布曲線とSEMの表面／断面画像を添付可能。

標準納期

試験項目とサンプル数に応じて、お見積もり時にご案内します。標準フロー：ご要望の受付 → サンプル受領 → 双方での協議 → お見積もり → 案件開始 → ラボ試験 → 試験報告書と結果説明 → お客様からのフィードバック → 追加確認と説明 → 完了。サンプルは完了後1か月間保管した後に廃棄します。

規制適合・認証

完全性試験の空気圧は30 psi標準、またはお客様指定の条件で実施します。同一ロットのフィルターを同じチャレンジ条件で比較するため、結果をそのまま仕様定義と選定の根拠としてご活用いただけます。

注：実際の耐薬品性および寿命は、薬液濃度、温度、流量、差圧、上流側の汚染負荷、ハウジング設計によって変動します。実際のプロセス条件でのサンプル評価をお勧めします。