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委託測試服務 - 濾心濾效測試

委託測試服務 - 濾心濾效測試

產品編號: filter-testing-retention-test-particle-challenge|微粒挑戰

專業的濾心過濾效能驗證服務。提供 SiO2 (50/100nm)、Gold (5/10/20/30nm) 與 Fe2O3 (15nm) 等高單分散性標準粒子作為挑戰物 (Challenge Particles)。針對半導體級濾芯進行截留效率 (Retention Efficiency)、LRV 計算與納汙量評估,協助客戶精確定義濾芯規格,滿足 7nm/5nm/3nm 製程需求。

  • SiO2 (50/100nm) 二氧化矽標準粒子挑戰
  • Gold (5/10/20/30nm) 金奈米粒子挑戰
  • Fe2O3 (15nm) 氧化鐵標準粒子挑戰
  • 高單分散性粒子確保挑戰結果可重現
  • 提供截留效率、LRV 與納汙量綜合評估
  • 對應 7nm/5nm/3nm 製程濾芯規格定義
半導體級濾芯截留效率驗證
7nm/5nm/3nm 先進製程濾心選型
濾芯規格精確定義與比對
納汙量 (壽命) 評估
高單分散標準粒子挑戰委託
服務範圍
濾心性能的完整驗證平台:截留效率、完整性、流量與納汙量一次做完。以高單分散性標準粒子挑戰半導體級濾芯,協助精確定義濾芯規格與更換週期,對應 7nm / 5nm / 3nm 節點對微粒控制的要求。新品與使用過的濾心皆可送測。
檢測方法 / 標準
微粒挑戰法搭配濾心性能測試:以 SiO₂(50 / 100 nm)、Gold(5 / 10 / 20 / 30 nm)與 Fe₂O₃(15 nm)標準粒子挑戰,計算截留效率與 LRV;另以完整性測試、流量測試與納汙量(Loading Capacity)評估壽命表現。孔徑分佈與孔洞形貌可同步比對標稱精度。
使用儀器
微分電移動度分析儀-凝結粒子計數器(DMA-CPC)與感應耦合電漿質譜(ICP-MS / ICP-QQQ)量測上下游粒子濃度;完整性測試儀(自組系統,各尺寸、各形式適用,空氣壓力依 30 psi 標準或依客戶要求);孔徑分佈儀(Porometer,孔徑 2 nm ~ 500 µm,毛細流或液-液孔徑法);電子顯微鏡(SEM,解析度 < 2 nm,俯視與橫切面影像皆可拍攝)。
樣品需求
同型號濾心,新品或使用過皆可;納汙量評估建議另備同批濾心。請提供標稱過濾精度、端蓋型式與操作流量範圍,並註明實際接觸的製程化學品。
報告內容
截留效率與 LRV、完整性測試結果、流量對壓差數據與納汙量評估的綜合報告;可附孔徑分佈曲線與 SEM 俯視/橫切面影像作為佐證。
標準交期
依委測項目與樣品數量於報價時確認。標準流程:接收需求 → 接收樣品 → 雙方討論 → 報價 → 案件開始 → 實驗室測試 → 測試報告與結果說明 → 客戶反饋 → 額外檢查與說明 → 結案;樣品於結案後保留一個月再行棄置。
法規與驗證
完整性測試的空氣壓力採 30 psi 標準,或依客戶指定條件執行;同批濾心在相同挑戰條件下比對,結果可直接作為規格定義與選型依據。
挑戰粒子可選粒徑
SiO₂50 / 100 nm
Gold (Au)5 / 10 / 20 / 30 nm
Fe₂O₃15 nm

皆為高單分散性標準粒子,確保挑戰結果可重現;量測方式依粒子種類選用 DMA-CPC 或 ICP-MS / ICP-QQQ。

註:實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響,建議以實際製程條件進行樣品驗證。

製程定位

當問題不只是「擋不擋得住」,還包括「能撐多久」「結構有沒有完好」「壓降合不合理」的時候,需要的是這一項。它是濾心性能的完整驗證平台,一次把截留效率、完整性、流量與納汙量做完,用來精確定義濾心規格與更換週期。新品與使用過的濾心都可以送測。

核心特色

挑戰粒子採高單分散性標準粒子 —— SiO₂、金(Au)與 Fe₂O₃ 三類,各自可選的粒徑見上方規格表。單分散性是可重現性的前提:粒徑分布本身如果就很寬,測出來的截留曲線分不清是濾心的特性還是粒子的特性。

同一支濾心可以在同一輪裡把孔徑分佈與孔洞形貌一起比對回標稱精度。孔徑分佈儀(Porometer)量得到 2 nm 至 500 µm 的孔徑,電子顯微鏡(SEM,解析度小於 2 nm)則能拍俯視與橫切面影像 —— 當截留數據與標稱值對不上時,橫切面往往直接看得出原因。

完整性測試以自組系統執行,各尺寸、各形式皆適用,空氣壓力採 30 psi 標準或依客戶指定條件。同批濾心在相同挑戰條件下比對,結果才能直接拿來當規格定義與選型依據。

選型要點

與相鄰的兩項檢測,差別在測的是「濾心的能力」還是「濾心的乾淨程度」:

服務測什麼典型使用時機
濾心濾效測試(本項)截留 + 完整性 + 流量 + 納汙量定義規格與更換週期,先進節點選型
奈米級攔截效率測試只做奈米粒徑段的截留效率曲線單純要確認真實過濾等級
濾心潔淨度測試有機溶出、金屬溶出、顆粒落出進料驗收與汙染源排查

使用與更換

送樣須知:同型號濾心,新品或使用過皆可;要評估納汙量建議另備同批濾心,因為納汙量測試會把濾心用到底。請提供標稱過濾精度、端蓋型式與操作流量範圍,並註明實際接觸的製程化學品。交期依委測項目與樣品數量於報價時確認;樣品於結案後保留一個月再行棄置。

新品與使用過的濾心一起送最有價值:同一組條件下比對,才分得出「規格本來就這樣」與「用了之後劣化」。只送使用過的那支,拿到的數據沒有基準可比。
有哪些標準挑戰粒子與尺寸?
提供三類高單分散性標準粒子:SiO2 (50/100nm)、Gold (5/10/20/30nm) 與 Fe2O3 (15nm)。可依濾芯標稱精度與目標製程選擇粒徑,模擬實際微粒挑戰並確保結果可重現。
測試能評估濾芯壽命嗎?
可以。除了計算截留效率與 LRV,本服務同時進行納汙量評估,協助您了解濾芯在實際使用下的容污能力與壽命表現,作為更換週期與成本規劃的參考。
如何協助先進製程選型?
針對半導體級濾芯進行客觀截留效率與 LRV 量測,協助您精確定義濾芯規格,確認是否能滿足 7nm/5nm/3nm 製程對微粒控制的嚴苛需求,降低選型風險。