プロセス上の位置づけ
このカートリッジは、ウェットエッチング・洗浄プロセスにおける薬液の最終段で使用します。対象はSC1、SC2、49%フッ化水素酸、硝酸、レジスト剥離液、N-メチルピロリドンなど、強腐食性・強酸化性の薬液です。この工程のフィルターは長期間薬液に浸されるため、選定の最初の関門は捕捉性能ではなく、「カートリッジ全体がこの薬液に耐えられるかどうか」です。
主な特長
全体をオールフッ素樹脂構造としています。PTFEメンブレンに、PFA製のサポート層、ドレナージ層、アウターケージ、コア、エンドキャップを組み合わせ、接着剤も金属部品も使用していません。この設計の理由は単純です。ハードウェアの耐薬品性をメンブレンと同等にすれば、ハードウェアが使用可能な薬液の範囲を制限する要因になることはなく、接着剤が溶出汚染源になることもありません。
Oリングは薬液に応じて改質エチレンプロピレンゴムまたはパーフルオロエラストマーから選択でき、強酸化性や高温の薬液にはパーフルオロエラストマーをお勧めします。金属清浄度は< 3 / < 10 / < 25 µg/deviceから選択でき、電子グレード仕様もご用意しています。全数を出荷前に100%完全性試験しています。
選定のポイント
同じPTFEメンブレンでも、ハードウェアの材質によって使用温度と1本あたりのコストが決まります。
| ハードウェア | 耐熱温度 | ろ過精度範囲 | 選ぶべきケース |
|---|---|---|---|
| PFAオールフッ素樹脂（本製品） | カートリッジ型 100 °C／ディスポーザブル型 180 °C | 10 nm – 0.2 µm | 強酸・強アルカリ、高温の薬液で、ハードウェアを弱点にしたくない場合 |
| PP | 70 °C | 20 nm – 1 µm | 常温のウェットプロセスで、コストも考慮したい場合 |
| HDPE | 40 °C | 20 nm – 1 µm | 低温で、コストに最も敏感な工程 |
使用と交換
超純水でプレウェットした状態での出荷も選択できます。最大正方向差圧は0.5 MPa @ 25 °C（100 °Cでは0.2 MPaに低下）、逆方向は0.35 MPaです。
同じハウジングを複数の薬液で共用する場合は、プロセスのSOPに従ってフラッシングと置換を行ってから使用してください。オールフッ素樹脂構造が薬液に耐えられるからといって、残留した前の薬液が次の薬液と反応しないとは限りません。交差汚染のリスクは材質ではなく、手順から生じます。