製程定位
這支濾心服務的是濕蝕刻與清洗製程的藥液終端：SC1、SC2、49% 氫氟酸、硝酸、光阻剝離液與 N-甲基吡咯烷酮等強腐蝕、強氧化的藥液。這一段的濾心會被藥液長期浸泡，選型的第一道門檻不是濾效，而是「整支濾心在這個藥液裡撐不撐得住」。
核心特色
整支採全氟結構：PTFE 濾膜搭配 PFA 支撐層、導流層、外殼、中心杆與端蓋，無黏著劑、無金屬件。這樣設計的理由很單純 —— 骨架的化學耐受性與濾膜一致，骨架就永遠不會是限制可用藥液範圍的那一環，也不會有黏著劑成為溶出污染源。
O-ring 依藥液選配改質乙丙橡膠或全氟橡膠，強氧化性與高溫藥液建議選全氟橡膠。金屬潔淨度可選 < 3 / < 10 / < 25 µg/device，另有電子級規格；每支出廠前 100% 完整性測試。
選型要點
同樣是 PTFE 膜，骨架材質決定可用溫度與單支成本：
| 骨架 | 耐溫 | 精度範圍 | 選它的時機 |
|---|---|---|---|
| PFA 全氟（本款） | 筒式 100 °C／拋棄式 180 °C | 10 nm – 0.2 µm | 強酸強鹼、高溫藥液，骨架不能成為短板 |
| PP | 70 °C | 20 nm – 1 µm | 常溫濕製程，要兼顧成本 |
| HDPE | 40 °C | 20 nm – 1 µm | 低溫、成本最敏感的段別 |
使用與更換
可選超純水預潤濕出貨。最大正向壓差 0.5 MPa @ 25 °C（100 °C 時降到 0.2 MPa）、反向 0.35 MPa。
同一組濾殼要跨藥液共用時，請依製程 SOP 先做沖洗置換再上線。全氟結構耐得住藥液，不代表殘留的前一種藥液不會與下一種反應 —— 交叉污染的風險來自流程，不是材質。