プロセス上の位置づけ
薬液や超純流体の品質は、結局のところサンプリングと分析で証明されます。受け入れ検査、タンク内の薬液濃度の追跡、配管の微粒子・金属バックグラウンドの監視などです。ところがサンプリング箇所そのものは小さな部品として扱われがちで、手近な小型ボールバルブで済まされることも少なくありません。その結果、サンプリングバルブ自体の接液材質、すき間、残液が、測りたいサンプルに混入してしまいます。
本製品は2口式のサンプリングバルブで、流路は高純度PFAライニング、シールはPTFEです。前後のPFA配管と同じ材質クラスのため、サンプリング箇所が独自の金属接触面を持ち込むことはありません。半導体工場の薬液供給システム（CDS）、ウェットプロセスの超純流体配管、ディスプレイ（FPD）・太陽電池のウェットプロセス、BPE規格に準拠して設計された製薬配管に適しています。測定側の考え方はICP-MSによる金属溶出の評価方法をご参照ください。
主な特長
- 2口式レイアウト：左右に斜めのヘルール取出し口を2本、底部にヘルール接続口を備えます。斜めの取出し口によりサンプルボトルやホースを扱うスペースが確保でき、2本あることでサンプリングとフラッシングを別経路にできます。
- 接液面はすべてフッ素樹脂：流路は高純度PFAライニング、シールはPTFEです。外層はSUS316、手動操作部はSUS316鋳造品で、上部の黒いハンドルで操作します。
- サニタリー接続：すべての接続口がヘルール（Tri-Clamp）で、BPE規格に準拠した設計、FDA適合です。サンプリング箇所ごと取り外して洗浄できます。
- 使用範囲：酸・アルカリ、各種薬液、蒸気に耐え、-30 ～ +150 °C、真空 ～ 1.0 MPa（20 °C）。PFA原料は清浄度の要求に応じて、国際的な大手ブランドの超高純度グレード、またはコストパフォーマンスに優れた高純度グレードを指定でき、材質証明書を提供できます。
選定のポイント
サンプリング箇所の選択を誤った場合の代償は、バルブの故障ではなく、データが信頼できなくなることです。一般的な方法を比べると次のとおりです。
| サンプリング方法 | 利点 | 注意点 |
|---|---|---|
| 本製品の2口式サンプリングバルブ（JY-VLC6） | 接液面はPFA／PTFE、2本の取出し口でサンプリングとフラッシングを分けられる | 手動式のみ；DN25、DN40 |
| 配管に小口径ボールバルブを取り付けてサンプリング | 部品を入手しやすい | ボール室に残液が残りやすく、接液材質も別途確認が必要 |
| タンク底弁から直接サンプリング | サンプリング用ノズルを別に設ける必要がない | 採取されるのはタンク底部の液で、タンク全体を代表するとは限らず、底部の沈殿物も一緒に採取される |
DN25とDN40は本製品の呼び径です。底部接続口と2本の取出し口それぞれの口径の組み合わせについては、お見積もり依頼時に取り付け箇所の配管径をお知らせいただければ、営業担当が確認いたします。サンプリング箇所をタンクに設ける場合は、PFAライニングタンクとあわせてノズル位置を計画できます。
使用と交換
サンプリングの前に少量を排出して取出し経路内に滞留している流体を除き、その後サンプルボトルに採取します。採取後は経路をフラッシングし、残液が次回に持ち越されないようにします。2口式の一般的な使い方は、一方をサンプリング用、もう一方をフラッシング流体用とするものです。実際の接続方法はサンプリング手順に合わせて、お見積もり依頼時に営業担当とご確認ください。
取り付け時はヘルールのガスケットを中心に合わせ、クランプを均等に締め付けてください。ハンドルの操作が滑らかか、閉止後に取出し口から滴下がないかを定期的に点検します。PTFEシールは高温下で長期間使用すると徐々にコールドフローで変形し、温度が高いほど許容圧力は下がるため、高温・高圧の条件では事前に営業担当までご確認ください。