製程定位
化學品與超純流體的品質,終究要靠取樣送驗來證明:進料驗收、槽內藥液濃度追蹤、管路的顆粒與金屬背景監測。取樣點本身卻常被當成小零件處理,隨手接一顆小球閥了事 —— 結果取樣閥自己的接液材質、死角與殘液,就混進了你要量的那份樣品裡。
這支雙口取樣閥的流道為高純 PFA 內襯、密封為 PTFE,跟上下游的 PFA 管路同一個材質等級,取樣點不會自己帶進金屬接觸面。適用於半導體廠化學品供應系統(CDS)、濕製程超純流體管路、面板與太陽能濕製程,以及依 BPE 標準設計的製藥管路。量測端的做法可參考ICP-MS 評估金屬溶出的做法。
核心特色
- 雙口設計:左右兩支斜向卡盤出口加上底部卡盤接口。斜向出口讓取樣瓶或接管有操作空間,兩支出口也讓取樣與沖洗可以分開走。
- 接液面全氟:流道為高純 PFA 內襯,密封件為 PTFE;外層為 316 不鏽鋼,手動執行機構為 316 不鏽鋼鑄造,由上方的黑色手輪操作。
- 衛生級接口:全部接口為卡盤(Tri-Clamp),依 BPE 標準設計、符合 FDA,取樣點可以整顆拆下清洗。
- 耐受範圍:耐酸鹼、耐化學品、耐蒸汽,-30 ~ +150 °C,真空 ~ 1.0 MPa(20 °C)。PFA 原料可依潔淨度需求,指定國際一線品牌超純等級,或高性價比的高純等級;可提供材質證明。
選型要點
取樣點選錯,代價不是閥壞掉,而是數據不可信。幾種常見做法的取捨:
| 取樣做法 | 優點 | 要注意的地方 |
|---|---|---|
| 本款雙口取樣閥(JY-VLC6) | 接液面 PFA/PTFE,兩支出口可分開取樣與沖洗 | 只有手動款;DN25、DN40 |
| 在管路上接小口徑球閥取樣 | 零件容易取得 | 球閥腔體容易留存殘液,接液材質也要另外確認 |
| 從儲槽底閥直接取樣 | 不必另開取樣口 | 取到的是槽底的液體,未必代表槽內整體;底部沉積物也會一起被取出 |
DN25 與 DN40 是這支取樣閥的公稱口徑;底部接口與兩支取樣出口各自的口徑組合,請在詢價時提供安裝位置的管徑,由業務確認。取樣點設在儲槽上時,可以和PFA 內襯儲槽一起規劃接口位置。
使用與更換
取樣前先少量排放,把取樣通道內停留的流體排掉,再接取樣瓶;取樣後把通道沖洗乾淨,避免殘液留到下一次。雙口的常見接法是一口取樣、另一口接沖洗流體,實際接法請依你的取樣程序,在詢價時與業務確認。
安裝時注意卡盤墊片置中、卡盤夾平均鎖緊。定期檢查手輪操作是否順暢、關閉後出口有無滴漏;PTFE 密封長期在高溫下使用會逐漸冷流變形,溫度越高、可承受的壓力越低,高溫高壓工況請先與業務確認。

