半導体グレードPPデプスフィルターカートリッジ

ろ材 / メンブレン

特許取得の3D複合グラジエントデプス型ポリプロピレンろ材。外層（上流側）は連続メルトブローのマイクロファイバー、内層（下流側）はナノファイバーのワインド層で、両層の間で孔径が連続的に小さくなり、大きな勾配をもつ段階ろ過構造を形成します。

サポート層 / ドレナージ層

ポリプロピレン製サポート層、全工程で界面活性剤・バインダー不使用（有機物の溶出を防止）

ケージ・コア・エンドキャップ

ポリプロピレン製コアおよびエンドキャップ（オールPP構造、金属部品なし）

シール / Oリング

EPDM O-ring

ろ過精度

50 nm / 70 nm / 0.1 µm / 0.2 µm / 0.3 µm / 0.5 µm / 0.7 µm / 1 µm / 3 µm / 5 µm / 10 µm / 25 µm / 40 µm / 150 µm

除去効率

極細繊維の内層が欠陥の原因となる大粒子を高い捕捉率で除去し、必要な砥粒は通過させます。大きな勾配をもつ設計により、ろ過効率と寿命を二者択一ではなく同時に最適化しています。

公称外径

Ø64 mm / Ø70 mm

長さ

10" / 20"

エンドキャップ / 接続形状

222フラット（コードN）、両端開放・フラットガスケット（コードF）

最高使用温度

80 °C (176 °F)

最大順方向差圧

0.52 MPa（75 psi）@ 25 °C、0.19 MPa（27 psi）@ 82 °C

最大逆方向差圧

0.21 MPa（30 psi）@ 25 °C

湿潤・フラッシング

疎水性PPろ材のため、使用開始前にプロセス液または超純水でフラッシングとエア抜きが必要です。超純水プレウェット包装を指定すれば、そのまま装置に装着できます。

溶出物・清浄度

電子グレード（コードE）の清浄度を指定可能。クリーンルーム内で製造・包装し、導電率が回復するまで超純水でリンスします。

包装形態

ドライ包装、超純水プレウェット包装

規制適合・認証

クリーンルーム内で製造・検査・包装

注：実際の耐薬品性および寿命は、薬液濃度、温度、流量、差圧、上流側の汚染負荷、ハウジング設計によって変動します。実際のプロセス条件でのサンプル評価をお勧めします。