半導体グレードオールフッ素樹脂PTFEフィルターカートリッジ

ろ材 / メンブレン

PTFE微多孔膜（高流速タイプ）、ろ過層そのものがフッ素樹脂

サポート層 / ドレナージ層

PFA製サポート層・ドレナージ層。メンブレンと同じフッ素樹脂のため、流路に異種材料の界面なし

ケージ・コア・エンドキャップ

PFA製アウターケージ・コア・エンドキャップ。熱溶着で接合し、接着剤不使用、構造全体に金属部品なし

シール / Oリング

TEV（変性EPDM）またはFFKM（パーフルオロエラストマー）製Oリング（222型）

ろ過精度

10 nm / 15 nm / 20 nm / 30 nm / 50 nm / 0.1 µm / 0.2 µm / 0.45 µm / 0.5 µm / 1 µm / 3 µm / 5 µm / 10 µm

有効ろ過面積

Ø68 mm：1.2 m²／10"、Ø83 mm：1.8 / 2.2 / 2.8 m²／10"

公称外径

Ø68 mm / Ø83 mm

長さ

3" / 4" / 10" / 20" / 30"

エンドキャップ / 接続形状

222フラット、222ロックキー付き（Lock-key）

最高使用温度

カートリッジ型100 °C、一体型ディスポーザブル180 °C

最大順方向差圧

0.5 MPa（72 psi）@ 25 °C、0.2 MPa（29 psi）@ 100 °C

最大逆方向差圧

0.35 MPa（50 psi）@ 25 °C

湿潤・フラッシング

疎水性メンブレン。出荷時にドライまたは超純水プレウェットを選択可能。プレウェット品なら立ち上げ前の湿潤・フラッシング工数を削減できます

溶出物・清浄度

金属清浄度グレード < 3 / < 10 / < 25 µg/deviceから選択可能。オールフッ素樹脂構造のため、溶出物およびプロセスを汚染し得る成分の濃度は極めて低水準

完全性試験

出荷前に全カートリッジ100%完全性試験を実施

包装形態

ドライ包装、超純水プレウェット包装

注：実際の耐薬品性および寿命は、薬液濃度、温度、流量、差圧、上流側の汚染負荷、ハウジング設計によって変動します。実際のプロセス条件でのサンプル評価をお勧めします。