製程定位
這支閥裝在半導體廠 CDS（化學品供應系統）的輸送管路、濕製程的超純流體管路，以及面板與太陽能濕製程產線上，負責開關與隔離。它要解決的問題很直接：管路裡流的是強酸、強鹼與高純化學品，接液面只要有金屬，金屬離子就會慢慢溶進流體，變成下游製程的背景污染；整支塑膠閥又扛不住長期的法蘭鎖緊力與管線應力。PFA 內襯的作法是讓不鏽鋼外殼負責強度、PFA 負責接液，各做各擅長的事。
手動款涵蓋 DN15 到 DN100，適合主管與分支的隔離點；氣動常閉款有 DN20、25、40、50，用在需要遠端或自動控制的供液點。
核心特色
隔膜閥的價值在於流體被關在閥體裡，接觸不到閥桿與執行機構。這個系列的設計重點如下：
- 接液面全氟：閥體接液部位為高純 PFA 內襯，隔膜接液面為 PTFE，流體接觸不到金屬；析出物極低、流體相容範圍廣，耐酸鹼、耐化學品、耐蒸汽。
- 一片隔膜同時負責關斷與密封：PTFE／EPDM 複合隔膜由 PTFE 層接液、EPDM 層提供回彈；閥桿不接觸流體，也就沒有閥桿填料這條洩漏路徑。對超純流體提供良好隔離，任何操作狀態下都能可靠關斷。
- 氣動款流道直通：直通式流道設計減少死區、消除介質滯留，降低污染風險；不鏽鋼氣動執行器為常閉型，可選配限位開關與抗靜電。
- 原料等級可指定：PFA 原料可依潔淨度需求，指定國際一線品牌超純等級，或高性價比的高純等級；可提供材質證明，氣動款另可提供 FDA 與離子析出檢測報告。
選型要點
先決定閥種，再決定手動或氣動。隔膜閥與球閥都能做開關，但流道結構不同，適合的介質也不同：
| 比較項目 | 法蘭隔膜閥（本系列） | 法蘭球閥 |
|---|---|---|
| 流道與滯留 | 隔膜壓向閥座關斷，流道內沒有藏液的腔室；氣動款為直通式流道 | 全開時接近直管、壓損低；閥球與閥體之間有腔室，關閉時會留住流體 |
| 含顆粒介質 | 適合，隔膜面不怕顆粒卡住 | 顆粒可能卡在閥球與閥座之間，造成刮傷與內漏 |
| 操作 | 手輪多圈開關，可做粗略的流量調整；或氣動常閉 | 扳手 90° 快速開關，不建議半開節流 |
| 口徑與溫度 | DN15 – DN100；-20 ～ +150 °C | DN25 – DN100；-20 ～ +120 °C |
手動與氣動的取捨在控制方式：要接進自動化控制、或要求斷氣時自動關閉，選氣動常閉（NC）。這個系列沒有常開款；需要常開，或管路是卡盤（Tri-Clamp）接口，請看PFA 內襯卡盤隔膜閥。大口徑隔離點要低壓損與快速開關，請看PFA 內襯法蘭球閥。
使用與更換
安裝前先確認法蘭標準：本系列法蘭依 HG/T 20592（尺寸同 EN 1092-1 PN16），與 JIS 等其他法蘭標準的螺栓孔位不一定相同，不能混接。PFA 密封面在搬運與安裝時避免碰撞或刮傷；鎖螺栓時對角分次均勻鎖緊，不要一次鎖到底。氟樹脂受壓後會慢慢潛變，首次升溫運轉後建議再鎖緊一次。
上線前以超純水沖洗，直到下游的潔淨度達標。設計壓力是 20 °C 的值，溫度越高、內襯可承受的壓力越低；高溫、真空與熱循環同時出現的工況，請把介質、溫度與壓力提供給業務確認。隔膜是消耗件，壽命取決於開關頻率、溫度與介質，請定期檢查閥蓋處是否滲漏、隔膜是否變形，更換時使用同規格的 PTFE／EPDM 複合隔膜。